全玻璃真空太阳集热管工艺操作规程22185.docx
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1、全玻璃真真空太阳阳集热管管工艺操操作规程程1. 适用范围围本规程规规定了全全玻璃真真空太阳阳集热管管生产的的技术要要求及操操作步骤骤、技术术安全守守则、工工序检验验、主要要设备、定定岗定员员和材料料、能源源的消耗耗定额等等。本规程适适用于全全玻璃真真空太阳阳集热管管生产的的全部过过程。 2. 技术要要求符合GBB/T1170449-119977全玻璃璃真空太太阳集热热管、全玻璃真空太阳集热管 检验规规程。4. 原材料标标准见全玻玻璃真空空太阳集集热管原原材料检检验规程程5. 工艺流程程图集热管生生产过程程的工艺艺流程如如下:清洗烘烘干镀膜封口排气退火烤消包装其中,镀镀膜工序序为特殊殊过程。6.
2、技术术要求及及操作步步骤5.1 清洗6.1.1准备备往第一水水槽内注注入一次次水, 按1:100000(VV/V)的的配比配配制洗洁洁净溶液液。往第第二、第第三水槽槽内注满满去离子子水。6.1.2内管管清洗 6.1.2.11将内管管水平放放置在周周转小车车上,打打开一次次水阀门门,对玻玻璃管进进行充分分浸 润。6.1.2.22开启清清洗机,用用绸子布布蘸配比比为1:1000(V/V)的的洗洁净净溶液擦擦拭内管管,要求求所有表表面均要要擦到;然后把把擦好的的管子插插入清洗洗机的旋旋转杆冲冲洗5秒秒,再逐逐支依次次放入第第二、第第三水槽槽内进行行涮洗,最最后将洗洗净的管管子管口口向下逐逐支插在在内
3、管烘烘干车上上。 *不使用用清洗机机操作的的,执行行以下操操作步骤骤:a. 用绸子布布蘸配比比为1:1000(V/V)的的洗洁净净溶液擦擦拭内管管,要求求所有表表面必须擦擦到,擦擦洗过程程中内管管的外表表面必须须见到洗洗洁净白白沫。b. 把把擦洗好好的内管管逐支放放入第一一水槽内内,用绸绸子布在在水中均均匀擦洗洗一遍。c. 然然后再逐逐支放入入第二水水槽内涮涮洗干净净,最后后将洗净净的管子子管口向向下逐支支插在内内管烘干干车上。6.1.2.3在清洗洗过程中中,若发发现内管管的内壁壁有泥土土、油污污或其它它污渍存存在,则则用专用用工具逐逐支刷净净,然后后再重复复6.11.1.2的操操作。6.1.
4、2.44打开去去离子水水阀门,对对放置在在烘干车车上的内内管进行行反复冲冲洗,让让水流由由上而下均均匀流过过每支管管子,要要求每个个地方都都充分冲冲洗到。6.1.2.55控水至至无明显显水珠后后,戴上上细纱手手套,外外面戴无无损的一一次性手手套,把把内管管口向向上逐支支插在内内管烘干干车上。6.1.3 外管清清洗6.1.3.11将外管管平放在在周转车车上,打打开一次次水阀门门,浸润润玻璃管管的内、外外壁,然然后利用用专用工工具逐支支将外管管的内壁壁擦洗干干净。用用绸子布布将外管管的外壁壁擦洗干干净,再再将外管管逐支插插在外管管烘干车车上。6.1.3.22对插放放在烘干干车上的的外管,用用一次水
5、水进行多多次冲洗洗后再用用去离子子水冲洗洗外管的的内、外外壁,要要求外管管的内、外外壁都要要充分冲冲洗到,然然后控水水至无明明显水珠珠。6.1.4换水水 清洗洗机水槽槽内的水水每六小小时更换换一次;第二、第第三水槽槽内的去去离子水水每 四小小时更换换一次。6.1.5烘干干6.1.5.11技术要要求 烘箱烘烘干温度度控制为为120010。6.1.5.2准备备检查设备备、供电电正常后后将烘箱箱内清理理干净。6.1.5.3操作作步骤a. 将已控好好水的内内、外管管分别推推进烘箱箱,每台台烘箱内内放置33辆小车车。b. 关闭烘箱箱门,开开启电源源(风机机开关随随即打开开),仪仪表盘上上绿色指指标灯亮亮
6、,风机机正常运运转。c. 打开快速速加热开开关和加加热保温温开关,烘烘箱开始始全功率率加热;当烘干干室温度度达到仪仪表的设设定温度度时,红红色指示示灯亮,此此时关闭闭快速加加热开关关,烘箱箱进入自自动保温温状态。d. 当烘箱保保温200分钟后后,断开开保温加加热开关关,烘干干室开始始降温。当当温度自自然降温温至800以下后后,关闭闭电源。在在烘干的的过程中中,应按按要求填填写烘烘 干操操作记录录。6.1.6产品品经自检检合格后后转下工工序。6.2 JJT-8800型型镀膜机机镀膜6.2.1技术术要求6.2.1.11铝靶的的直径58mmm;6.2.1.22压缩空空气的压压强应达达到0.400.6
7、MMpa;6.2.1.3镀膜膜操作室室的室温温小于335,相对对湿度小小于700%RHH;6.2.1.4操作作工每班班应用吸吸尘器对对镀室清清理一次次。6.2.2操作作步骤6.2.2.11准备a. 打开压缩缩空气阀阀门,检检查空气气压强是是否达到到0.440.6Mppa。b. 打开冷却却循环水水阀门,同同时检查查通水状状况是否否良好,各各水管的的接头和和阀门有有无泄漏漏。c. 检查氩气气、氮气气、乙炔炔三种气气体的联联接状况况,看接接头是否否有泄漏漏。d. 分别打开开氩气、氮氮气、乙乙炔三个个气瓶的的总阀,检检查气瓶瓶内压力力。若氩氩气、氮氮气的高高压表的的显示值值低于00.5MMPa ,乙炔
8、炔高压表表的显示示值低于于0.33MPaa,则需需更换新新气瓶。6.2.2.22开机a. 开开启本机机电源。b. 开机械泵泵同时压压差电磁磁阀开、前前级阀开开,等22分钟以以后,开开复合压压强控制制仪电源源,当电电离计显显示数值值低于77Pa后开开扩散泵泵,并记记录扩散散泵的加加热时间间。c. 分别缓慢慢调节氩氩气、氮氮气、乙乙炔三个个气瓶上上的减压压阀,使使得氩气气、氮气气 的低压压表读数数控制在在0.110.2MPPa之间间,不得得超过00.2MMPa;乙炔低低压表读读数控制在在0.00500.1MPaa之间。d. 打开质量量流量计计显示器器电源开开关,进进行预热热约5分分钟。e. 打开计
9、算算机电源源,输入入工艺卡卡片中规规定的工工艺参数数。f. 扩扩散泵加加热超过过60分分钟后,将将阀档拨拨至“放气”位置,放放气后将将阀档由由“放气”档拨至至“停”位置,然然后打开开镀室门门,然后后用吸尘尘器清理理镀室。6.2.2.3 装装管a. 打开转架架电源开开关,将将电压调调至80010VV之间,将将合格内内管插入入转架插插杆。装装管时,预预先戴好好干净的的细纱手手套,外外层再戴戴上无损损的未使使用过的的一次性性手套,戴戴好之后后不许触触摸其他他物品,如如门、车车把、桌桌椅等。b. 玻璃管全全部插满满插杆后后,观察察每支管管子的自自转状态态,确定定玻璃管管间无碰碰撞后,关关闭转架架电源开
10、开关,关关闭镀室室门。6.2.2.4粗抽真真空 将阀阀档转换换开关由由“停”拨至“粗抽”位置,22分钟后后开复合合压强控控制仪电电源,同同时将电电离计开开关拨至至“自动”。热偶偶计开始始显示读读数。6.2.2.5精抽真真空 当热热偶计显显示值达达到7PPa后,将将阀档转转换开关关由“粗抽”经“停拨至至“精抽”位置置,每档档转换间间隔应停停顿100秒钟左左右,使使阀门充充分关闭闭。6.2.2.6清靶a. 当电离计计显示值值达到11.010-22Pa后,将将阀档转转换开关关拨至“精抽”档,同同时将复复合压强强控制仪仪上压强强开关由由“测量”拨至“控制”。b. 开启转架架电源开开关,将将电压调调至8
11、0010VV之间。c. 开启磁控控靶电源源,如启启动时过过流报警警,可反反复启动动“报警位位”和“启动位”按扭扭,直至至正常放放电;然然后调节节电流旋旋钮,直直至放电电电压达达4000V以上上。6.2.2.7溅射射镀膜a. 启动计算算机,按按下“运行”键,同同时把质质量流量量计开关关拨至“阀控”位置。b. 当镀膜机机处于溅溅射工作作状态时时,操作作员不得得离开控控制柜,要要随时观观察设备备的运行行状态,注注意各仪仪器仪表表显示的的数值变变化,严严格按要要求填写写镀膜膜操作记记录。6.2.2.8装配配支架a. 在镀膜机机抽真空空的过程程中,操操作工应应完成装装填支架架的准备备工作。b. 装填支架
12、架前,检检查支架架清洗是是否干净净,焊接接是否牢牢固。c. 支架装填填到外管管的圆头头部,装装填时应应避免支支架划伤伤外管的的内壁。装装填支架架必需使使用专用用工具并并配戴一一次性手手套,不不得用手手直接接接触支架架以免造造成污染染。支架架装填完完毕后,在在外管管管口部位位装上护护套,以以备出炉炉时装管管使用。装装填护套套时,操操作工应应戴一次次性手套套或细纱纱手套。6.2.2.9 终终止溅射射镀膜当计算机机显示层层数为最最末一层层的21分钟钟时,执执行如下下操作:a. 按下靶电电源“停止”键,然然后把激激磁电流流调至“0”值。b. 按下计算算机“复位”键。c. 将氮气、乙乙炔计量量流量计计开
13、关由由“阀控”拨至“关闭”。 d. 将复合压压强控制制仪由“控制”拨至“测量”,将阀阀档转换换开关由由“精抽”档拨拨至“精抽”档。e. 当镀室内内真空度度达到99.010-33Pa以上上后,将将阀档转转换开关关由“精抽”档拨拨至“停”,关复复合压强强控制仪仪电源,停停顿100秒钟后后将阀档档转换开开关由“停”拨至“放气”,当无无气流嘶嘶响声后后打开镀镀室门,再再将阀档档转换开关拨拨至“停”。6.2.2.10出出管a. 取管:手手握已镀镀膜管下下部垂直直往上提提,使管管口脱离离转架轴轴,将镀镀膜管移移出镀室室。b. 内外管装装配:手手握已镀镀膜内管管,管口口向上,管管身竖直直放入已已装好护护套的
14、外外管中;放入时时应注意意避免内内管的圆圆头划伤伤外管内内壁,使使其轻缓缓下落,直直至接触触到支架架。内管管装入外外管后,按按住内管管端口往往下轻压压,使支支架包住住圆头,装装配完毕毕后,取取下护套套。c. 注意:凡凡将镀膜膜管装入入外管或或从外管管内取出出时,都都必须使使用护套套。如因因外管缩缩口确实实装不进进护套时时,则必必需用手手护着镀镀膜管,慢慢慢进出出,确保保膜层无无划伤。6.2.2.11连连续工作作时重复复6.2.2.36.2.2.10的的操作步步骤。6.2.2.12产品品经自检检合格后后,由操操作工在在内管管管口部位位印上工工号,转转下工序序。6.2.4关机6.2.4.1在镀镀膜
15、机停停止工作作前,先先关镀室室门,开开“粗抽”阀,将将镀室的的真空度度抽到77Pa以下。6.2.4.2关“粗抽”阀,关关“扩散泵泵”(即“扩散泵泵”开关拨拨至“机械泵泵”)6.2.4.3关闭三三气总阀阀(高压压、低压压).6.2.4.4在扩散散泵停止止加热660分钟钟后,关关机械泵泵(阀档档转换开开关拨至至“停”)。6.2.4.5关循循环水,关关电源总总开关。6.2.4.6设备备关机后后长期停停放,则则需放净净水套及及盘管内内的循环环水,并并用高压压空气吹吹干。6.3 JJT-8850型型镀膜机机镀膜6.3.1技术术要求同6.22.1的的规定6.3.2操作作步骤6.3.2.11准备 同同6.2
16、2.2.1的规规定6.3.2.22开机a. 开启本机机电源。b. 将机箱控控制面板板上的电电源开关关置于“开”的位置置,屏幕幕出现系系统自检检过程,直直到控制制系统的的第一个个画面。按按下“维持泵泵”按钮,延延时1分分钟后,“维持阀”开,按下“机械泵”按钮,然后再按下“粗抽阀”按钮,当电离计显示数值低于7Pa时,开扩散泵,记录扩散泵加热时间。扩散泵加热超过90分钟后,方可进行正常的操作。c. 分别缓慢慢调节氩氩气、氮氮气、乙乙炔三个个气瓶上上的减压压阀,使使得氩气气、氮气气的低压压表读数数控制在在0.110.2MPPa之间间,不得得超过00.2MMPa;乙炔低低压表读读数控制制在0.050.1
17、1MPaa之间。d. 打开质量量流量计计显示器器电源开开关,进进行预热热约5分分钟。e. 打开计算算机电源源,输入入工艺卡卡片中规规定的工工艺参数数。f. 按下“放放气”按钮,放放气后按按下“停”,然后后打开镀镀室门,用用吸尘器器清理镀镀室。6.3.2.3 装管 同6.2.22.3条的的规定6.3.2.4粗抽抽真空 选选择“自动”状态,系系统首先先进入“粗抽”,2分分钟后开开压强控控制仪电电源,热热偶计开开始显示示读数。6.3.2.55 精抽抽真空 当当热偶计计显示值值小于77Pa时,自自动进入入“精抽”,同同时打开开电离计计。6.3.2.6 清靶靶a. 当当高真空空达到00 .8810-22
18、Pa(电电离计显显示值)后后,自动动进入“精抽”。b.转架架旋转电电源开关关自动打打开,检检查电压压是否在在6010VV之间,不不符合则则用手动动调整。c.等复复合压强强控制仪仪稳定后后,手动动起靶,直直至放电电正常,然然后调节节电流旋旋钮,直至至电压达达4000V以上上。6.3.2.77 溅射射镀膜a. 启动计算算机,按按下“运行”键。b. 按下机箱箱控制面面板上的的“镀膜”按钮。c. 当镀膜机机处于溅溅射工作作状态时时,操作作工不得得离开控控制柜,随随时观察察设备的运行行状态,注注意各仪仪器仪表表显示的的数值变变化,严严格按要要求填写写 镀镀膜操作作记录。6.3.2.88 装配配支架 同6
19、.2.22.8的的规定6.3.2.9 终终止溅射射镀膜 计算算机运行行完前221秒秒,执行行如下操操作:a. 按下靶电电源“停止”键,然然后把激激磁电流流调至“0”值。b. 按下计算算机“复位”键。c. 按下“镀镀膜完成成”画面上上的“返回”按钮,放放气完毕毕后,按按下“停”按钮。d. 当镀室内内真空度度达到99.010-33Pa以上上后,高高阀自动动关闭,关关复合压压强控制制仪电源源,选择择“手动”状态,按按下“放气”按钮,放放气完毕毕后,按按下“停”按钮。6.3.2.10出出管同66.3.2.10的的规定6.3.2.11连连续工作作时重复复6.3.2.36.3.2.10的的操作步步骤。6.
20、3.2.12产品品经自检检合格后后,由操操作工在在内管管管口部位位印上工工号,转转下工序序。6.3.3关机6.3.3.11 当镀镀膜机要要停止工工作时,执执行如下下机程序序6.3.3.22 在镀镀膜机停停止工作作前,先先关镀室室门,按按下“粗抽”按钮,将将镀室真真空度抽抽到7PPa以下。6.3.3.33 按“停”按钮,按按“扩散泵泵”按钮停停扩散泵泵。6.3.3.4关三气气总阀(高高压、低低压).6.3.3.55 在扩扩散泵停停止加热热90后后,按下下“维持泵泵”按钮停停维持泵泵。6.3.3.66 关循循环水,关关电源总总开关。6.3.3.7 若设备备关机后后长期停停放,则则需放净净水套及及盘
21、管内内的循环环水,并并用高压压空气吹吹干。6.4 封封口。6.4.1 技技术要求求封口时不不应有黑黑烟燎到到内管的的表面或或外管内内壁。6.4.2 操操作步骤骤6.4.2.11开启电电源开关关,检查查车床各各部位的的运转情情况、支支撑杆的的同心度度和弹簧簧卡 片的的固定情情况等,保保证车床床处于完完好状态态。6.4.2.22检查上上工序转转来的管管子支架架装配是是否端正正,管子子是否完完好,确确定合格格后,印印上封口口工号。6.4.2.33将管子子装夹到到车床上上,接上上活三通通空气管管后,点点燃车床床灯,点点燃时先先开液化化气后开开氧气。 6.4.2.44先用软软火对准准封接部部位进行行预热
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