烧结炉培训材料13695.docx

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1、烧结炉培培训材料料一、 功能及用用途此烧结炉炉用于烘烘干硅片片上的浆浆料、去去除浆料料中的有有质成分分、完成成铝背场场及珊线线烧结。硅片在在炉中，上上、下两两面能同同时烧结结，烧结结过程如如下：l 对第三道道丝印后后硅片表表面浆料料进行烘烘干；l 去除浆料料中的有有质粘结结剂；l 铝背场及及珊线烧烧结二、 烧结炉结结构炉体分为为三个部部分：l 烘干区烘干区包包括四个个加热区区：ZOONE 1、 ZONNE 22、 ZZONEE 3、 ZOONE 4，其其中ZOONE 4 为为对流加加热区，位位于其它它三个温温区上部部，每个个加热区区温度单单独可调调、加热热元件为为电热丝丝，ZOONE11至ZO

2、ONE 3（1115vv 8330w）。ZONNE 44（2330v,7000w）。加热温温度可设设置到5500摄摄氏度，但但过程温温度不应应超过3300摄摄氏度。l 烧结区烧结区包包括六个个加热区区：ZOONE 1、ZZONEE 2、ZONNE 33、ZOONE 4、ZZONEE 5、ZONNE 66，ZOONE 144 为预预烧结区区，ZOONE 5 和和 ZOONE 6 为为主烧结结区，加加热元件件为近红红外线加加热管，其其中14区加加热管功功率为116000W，55、6区区加热管管功率为为27000W，每每个温区区温度单单独可调调，14温区区温度可可设置到到7000摄氏度度，5、6温区

3、区可设置置到摄氏氏10550度。l 冷却区冷却区采采用水冷冷，给水水温度大大约在220225摄氏氏度范围围内。烘干区与与烧结区区之间、烧结区区与冷却却区之间间各有一一个隔离离炉膛，通通过风帘帘隔离，隔隔离炉膛膛防止相相邻区域域中的过过程气体体相互混混合。除了上述述三个主主要部分分外，在在炉体头头部有上上料区，在在尾部有有下料区区，外加加一个单单独的冷冷凝器，冷冷凝媒介介为冷却却水。三、 CAN控控制系统统构成l 传动电机机调速系统统传动电机机采用三三相异步步电机，速速度调节节是采用用闭环变频频调速，控控制框图图如下：l 温度控系系统温度控制制采用PPID控控制，系系统构成成控制框框图如下下：l

4、 冷却系统统l 排风系统统冷却系统统和排风风系统很很简单，都都采用开开环系统统。四、 操作l 开机步骤骤i. 慢速开启启冷却水水主给水水阀，给烧烧结炉供供水。通通常各管管道给水水阀和流流量已设设定好，勿勿需调节节。ii. 慢速开启启压缩空空气主阀阀，炉子子提供过过程气体体，同时时给各气气缸提供供压缩空空。 通常各各管道流流量已设设定好，勿勿需调节节。iii. 将主电源源开关拨拨到“1”，开启启主电源源。iv. 启动PCC，等待待机器完完成自检检和监控控程序装装入。v. 将“Drrivee Onn”拨到“1”，“Driive PC/Mannuall”拨到“0”，将“Heaatinng FFF”拨

5、到“ON”，将“HEAATINNG HHTO”拨到“ON”。vi. 点击启屏屏幕上“Driive on/offf” 收音音开关，并并按确认认收音键键，启动动传送带带。vii. 如果有设设置好的的升温程程序，顺顺序装入入，使炉炉子逐步步升温到到过程温温度。如如果没有有，则手手动设置置，每2200度度为一阶阶，逐步步升温到到过程温温度。第第一次装装入后，需点击加热收音开关，开始加热。viii. 根据工艺艺要求调调整工艺艺参数，只只需调整整各温区区温度和和带速设设定值。当过程程值达到到设定值值后，机机便处于于就绪状状态。l 关机步骤骤关机步骤骤则与关关机步骤骤相反，需需注意：当炉温温降到1100度度

6、左右时时，方可可将传送送带停下下。五、 预防性保保养l 定期清洗洗主给水水过滤器器。l 定期吹洗洗HTOO空气过过滤器。l 定期清洗洗传送带带。l 定期清洗洗气体流流量计。l 定期检查查并调整整传送带带长度。l 定期检查查并清洗洗文丘利利喷嘴。六、 故障诊断断与修复复监控程序序几乎可可以定位位所有故故障，当当故障发发生时，报报警系统统会发出出声光报报警，并并可能停停炉。可可打开“Alaarm” 标签签，察看看报警信信息，判判断故障障位置，分分析故障障原因，并并排除故故障。常见的故故障报警警及处理理：l 空气流量量过小或或过大，空空气压力力不稳。提请设设施部作作解决。l 压缩空气气中有大大量水份份和油份份，加大大流量，排排除积累累在流量量计中的的水份，同同时提请请设施部部设法滤滤去压缩缩空气中中的水份份和油份份。l 冷凝器排排风量过过小，开开大风门门，同时时提请设设施部加加大抽风风量。l 冷却水温温度过高高，提请请设施降降低水温温。l HTO过过滤器堵堵塞，用用风枪吹吹洗过滤滤器。l 传送带过过长，调调整链带带长度。l 温度超出出设定充充许范围围，检查查设定值值是否合合适，并并件适当当调整。l 加热管烧烧断，更更换加热热管。l 固态继电电器，更更换继电电器。