ESD培训教材.ppt

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1、LTTL13142008/09/012021/9/2611、概述2、静电的基本概念3、静电产生原因4、静电特点5、静电存在形式6、静电损伤情况7、为什么要进行ESD控制8、ESD基本认识9、静电学材料的基本认识10、我司主要防静电措施11、ESD控制方法12、防静电标识2021/9/262微电子工业制造技术目前对微电子工业制造技术目前对ESDESD控制要求如控制要求如下：下：1、0.150.25mm制造工艺CMOS和GaAs制作器件，其耐击穿电压下限通常只有50V100V。2、高集成度的超高速、高频IC器件，采用了特殊的制造工艺，如薄膜技术、浅PN结、微小封装等，其对ESD、电浪涌、机械应力、

2、热应力等更为敏感，如：个别VMOS器件耐压只有30V。以上技术对静电敏感器件产品制造过程提出了更严格的静电防护要求。2021/9/263什么是静电？静电就是物体表面过剩或不足的相对静止电荷，它是电能的一种表现形式。2021/9/264产生原因：产生原因：1、电子受到外力（能源）影响脱离轨道造成正负电子转移，致使正负电荷在局部范围内失去平衡；2、不平衡的电荷，产生电场（称为静电场），它能影响一定距离内的其它物体，使之感应带电；注：1、外力：摩擦、接触（传导）、分离、感应、冲流、辐射、压电、温 差、电解等；2、能源如：动能、位能（势能）、热能、化学能等等；3、静电感应影响距离远近与其电量的多少有关

3、；2021/9/265静电的特点：静电的特点：高电位：高电位：可达数万至数十万伏，作业过程可到数百和数千伏（人通常对3.5KV以下静电不易感觉到）；低电量：低电量：静电流多为微安级（尖端放电例外）作用时间短：作用时间短：微秒级受环境影响大：受环境影响大：特别是湿度，湿度上升则静电积累减少，静电压下降，如：附件1；2021/9/266防静电工艺培训附件附件1 1：日常行为产生静电统计如下：日常行为产生静电统计如下：2021/9/267防静电工艺培训静电存在形式：静电存在形式：1、固体；2、液体；3、粉末流体；2021/9/268防静电工艺培训静电损伤：静电损伤：1 1、电子工业领域统计：静电所造

4、成平均产品损失大约在833%之间（附件2）；2 2、静电损伤二种形式：11、硬硬损损伤伤：又称“突发性完全失效”、“一次性损坏”，约 占10%；22、软软损损伤伤：又称“潜在性缓慢失效”、“多次损伤累积后 失效，约占90%；2021/9/269防静电工艺培训防静电工艺培训防静电工艺培训防静电工艺培训2021/9/2610日常生活中的静电现象：日常生活中的静电现象：1、气候干燥的冬季脱化纤面料衣服时，听到“咝咝”的响声，并拌有火花，有时人体能感受到轻微电击；3、当穿着化纤面料的衣裤在灰尘较多的地方行走时，衣裤会吸附一层尘埃，并且抖而不掉；4、电视和电脑荧光屏，会吸附很多灰尘；5、利用静电“异性相

5、吸，同性相斥”特性用于：静电成像、复印、喷涂、植绒、除尘等实践中。防静电工艺培训防静电工艺培训防静电工艺培训防静电工艺培训2021/9/2611电子产品中电子产品中电子产品中电子产品中为什么要防静电？为什么要防静电？为什么要防静电？为什么要防静电？1 1、电子产品生产中，操作者与地绝缘时，静电位可高、电子产品生产中，操作者与地绝缘时，静电位可高达达1.5351.535KVKV；2 2、高静电位一旦放电，足以使静电敏感器件、组件及、高静电位一旦放电，足以使静电敏感器件、组件及设备毁坏、受损、硬击穿或软击穿，形成永久性或设备毁坏、受损、硬击穿或软击穿，形成永久性或暂时性失效，或突然失效或潜在失效；

6、暂时性失效，或突然失效或潜在失效；3 3、静电放电产生宽带杂波干扰信号，导致电子设备误、静电放电产生宽带杂波干扰信号，导致电子设备误动作或烫痪等故障，如：第一艘阿波罗载人宇宙飞动作或烫痪等故障，如：第一艘阿波罗载人宇宙飞船，由于静电放电船，由于静电放电(ESD)ESD)导致火灾和爆炸，三名宇航导致火灾和爆炸，三名宇航名全部丧生。名全部丧生。防静电工艺培训防静电工艺培训防静电工艺培训防静电工艺培训2021/9/2612ESDESDESDESD基本认识基本认识基本认识基本认识1 1 1 1、概概概概念念念念：“ESD”ESD”是是ELECTROSTATIC ELECTROSTATIC DISCHA

7、RGEDISCHARGE的的英英文文缩写，意思是缩写，意思是“静电泄放静电泄放”；2 2 2 2、静电放电现象、静电放电现象、静电放电现象、静电放电现象 a a、雷电。雷电。b b、在在空空气气较较干干燥燥的的冬冬天天，脱脱下下合合成成纤纤维维衣衣服服时时发发出出劈劈啪啪声，夜间可见火花（空气击穿场强为声，夜间可见火花（空气击穿场强为3030KV/cmKV/cm）。）。3 3 3 3、目目目目的的的的：控控制制物物体体表表面面静静电电转转移移，预预防防、消消除除静静电电危危害害，保保障产品质量；障产品质量；试验：穿化纤内衣容易皮肤过敏是怎么回事？换棉质内衣试试！试验：穿化纤内衣容易皮肤过敏是怎

8、么回事？换棉质内衣试试！防静电工艺培训防静电工艺培训防静电工艺培训防静电工艺培训2021/9/2613 静力学材料分类：静力学材料分类：1 1、静电导体：、静电导体：104cm（体电阻）例：金属 2 2、静电亚导体：、静电亚导体：1041010cm 防静电器材 3 3、静电绝缘体：、静电绝缘体：1011cm 普通塑料防静电工艺培训防静电工艺培训防静电工艺培训防静电工艺培训2021/9/2614防静电工艺培训防静电工艺培训防静电工艺培训防静电工艺培训 各类材料摩擦产生静电情况：各类材料摩擦产生静电情况：D（正极）:空气人手石棉兔毛玻璃云母人发尼龙羊毛铅丝绸铝纸棉花钢铁木琥珀蜡硬橡胶镍、铜黄铜、银

9、金、铂硫黄人造丝聚酯赛璐珞奥轮聚氨酯聚乙稀聚丙稀聚氯乙稀(PVC)二氧化硅聚四氟乙稀 :（负极）2021/9/2615 目前我司防静措施：目前我司防静措施：1、防静电工作服（含工帽）2、防静电工作鞋 3、防静电腕带 4、防静电手套、指套 5、防静电包装袋、包装泡沫 6、防静电工作台（含台垫、防静电接地支线等）、工 作椅 7、防静电周转箱、周转车 8、防静电接地系统（含防静电母线、支线，防静电地 板或地垫等）防静电工艺培训防静电工艺培训防静电工艺培训防静电工艺培训2021/9/2616防静电工艺培训 控制方法控制方法 1、人员控制；2、设备、仪器、工具及工装控制；3、工作台控制；4、工作环境控制

10、；5、包装、运输控制；2021/9/2617 控制方法控制方法-人员人员 1、穿好防静电工服及工作鞋（帽）；2、防静电鞋内不得垫鞋垫；3、更换工作服在指定地点；4、防静电工服、工鞋、手套等勤洗勤换，避免强机械、化学作业；5、防静电腕带与人体综合阻测试；6、手腕禁止擦护肤油、防冻油等绝缘护肤品；7、腕带有效性；8、禁止在ESD区域内快速行走；防静电工艺培训防静电工艺培训防静电工艺培训防静电工艺培训2021/9/2618防静电工艺培训 控制方法控制方法-机器、设备及工装机器、设备及工装 1、采用防静电材料、漆层、喷防静电液及中和等；2、电气设备必须接保护地，接地电阻不能大于4；3、流水线等工装板及

11、传输带必需与线体连接；4、设计静电接地点；5、三相插座接地时，确保接地端与地接触可靠；6、静电元件接触金属必须进行软接地；注：示波器是否接地？2021/9/2619防静电工艺培训 控制方法控制方法-工作台工作台2021/9/2620防静电工艺培训 控制方法控制方法-工作环境工作环境 1、防静电区域划分：以是否出现静电敏感器件为准；2、防静电区域标识；3、温度要求：2030；4、湿度要求（RH）：3075%；5、防静电区域内禁止静电源；6、温湿度检测；2021/9/2621防静电工艺培训 控制方法控制方法-包装、运输包装、运输 1、IC器件：IC管、防静电托盘或园盘；2、单板：防静电屏蔽袋、PE

12、成型泡沫垫、防静电吸塑盒 3、组件：防静电袋；4、整机：防静电袋、屏蔽袋；5、静电敏感器件在储运过程中，勿靠近强静电、强电场、磁场或发射场，如电脑显示器上方、公共人行通道两侧 等；6、周转车底部金属架应焊接一根金属链条，链条须能自然 下垂，确保能可靠触地；7、周转箱合理使用；2021/9/2622防静电工艺培训 防静电标识防静电标识 2021/9/2623防静电工艺培训防静电工艺培训防静电工艺培训防静电工艺培训 生产区域标识方法生产区域标识方法1 1、EPAEPA内采用绿色地胶带进行标识；内采用绿色地胶带进行标识；2 2、非、非ESDESD区域采用黄色地胶带进行标识；区域采用黄色地胶带进行标识；3 3、不合格区域采用红色地胶带进行标识；、不合格区域采用红色地胶带进行标识；2021/9/2624防静电工艺培训防静电工艺培训防静电工艺培训防静电工艺培训谢谢你的参于谢谢你的参于LTTL1314TOM.COM2021/9/2625