石英玻璃行业现状.docx

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1、石英玻璃行业现状石英玻璃可由天然石英（水晶等）经高温熔融炼制，也可由硅的化合物经化学气相沉积合成。石英玻璃可分为天然石英玻璃以及合成石英玻璃，目前市场上较主流的制备石英玻璃的工艺包括电熔法和气炼法制备天然石英玻璃，化学气相沉积法制备合成石英玻璃。石英玻璃的制备工艺制备工艺电熔工艺气熔工艺合成工艺(CVD)合成工艺(PCVD)石英玻璃类型天然石英玻璃合成石英玻璃原料石英砂SiCl4金属杂质含量201羟基含量1020010005光谱透过波段4004000400200019020001904000光学均匀性差差良好良好2020年，我国石英砂行业产量达到8765万吨，需求量为9093万吨；预计2021

2、年石英砂产量可达9200万吨，需求量可达9572万吨。目前，我国石英玻璃凭借着高纯度、无污染、耐高温等的优良特性，应用范围广泛，尤其是半导体领域，应用占比最大，达65%；其次是光纤和光学，占比分别是14%和10%。以半导体领域为例，石英玻璃在半导体领域主要产品为半导体石英器件、半导体石英基板、半导体石英玻璃（含坩埚），其市场规模分别占比41%、31%与28%。主要石英制品在半导体制造过程中的应用石英制品作用应用工序趋势/要求生产厂家举例石英坩埚提炼、清洗容器以及制作晶圆IC载体清洗、晶圆制造增大尺寸、提高纯度、改善抗高温形变性能东科石英、石英股份高精度石英玻璃基片光掩膜基板主要基础材料光刻精细

3、化石英玻璃扩散管将半导体中杂质原子扩散(用量最大的石英玻璃制品)扩散、氧化纯度、抗高温的变形性、几何尺寸都会直接影响集成电路和器件的质量、成本和生产效率，要求大规格、高纯度、长寿命东科石英石英环主要应用于半导体硅片刻蚀等工艺，对尺寸精度、洁净度、外观状态等方面的要非常高，部分产品不允许返修，必须一次成型，所以对加工能力要求高。刻蚀精度、洁净度、外观状态；部分要求一次成型杭州大和、沈阳汉科石英法兰单晶硅片扩散、氧化、CVD沉积炉中与石英玻璃扩散管配套使用，主要起连接作用单晶硅片扩散、氧化、CVD/菲利华石英舟、支架等单晶硅片扩散、氧化、CVD沉积、退火处理、硅片酸洗和超声波清洗的承载器具，与单晶硅片直接接触硅片清洗和单晶硅在高温下直接接触，对石英玻璃的纯度、耐温性要求较高东科石英、凯德石英、杭州大和石英钟罩主要用作多晶硅的还原炉罩多晶硅还原/凯德石英球形硅微粉封装晶圆封装超细、高纯度，对颗粒形状的球形化要求因此，半导体产业是国家重点扶持产业，而半导体又属于石英玻璃的最大需求领域，受益于国家政策对于半导体产业的扶持，以及相应需求的扩大，石英玻璃行业发展空间大。（WYD）