单晶硅棒在拉制中的影响因素.docx

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1、第一篇 单晶硅棒在拉制中的影响因素一热循环的通畅热循环就是气流的循环，从氨气输进到被真空泵抽走的一个循环过程。它的外在显 示值即炉压（真空泵的抽速与氨气输入量的平衡值）组成部分，1氨气 调整整个单 晶硅棒拉制中热循环的流量和流速，是在拉晶过程中不行缺少的爱护气体。（属性惰 性气体特点不易燃烧）2真空泵稳压持续抽走炉内的气体挥发物，保持炉内真 空平衡。由这两个系统所组成热循环系统的作用：有效的带走炉内沉积的挥发物， 防止石墨器件及热场的氧化增加使用寿命。增加成晶硅溶面与内溶液温度差提高成 晶速度。降低单晶硅棒在生产过程中的氧碳含量等，从而提高公司的产品质量。二处于最良好状态下的热场热场的作用效果

2、是单晶生产中最奥义的地方，可以这么说要是能有一套完善的生产 热场，公司的成本成品率将是质的飞跃。1良好的保温部分，A热场中石墨保温 筒连接的严密程度,B保温碳毡缠在保温筒的匀称度和紧密度。2良好状态下的成晶 温梯度由轴向梯度（在热场内平面的整个温度值）和纵向梯度（在热场中纵面的整 个温度值）交叉所组成的成晶梯度温差网是否能够达到我们的要求，主要体现在， 成晶速度快且匀称成晶状态好且稳定。三稳定的电控系统动力电是我们生产中不行缺少的组成部分，其作用和使用费用也是我们单晶生产中 的重大资源开销。组成部分：1整流柜（组成变压器 快速熔断器 可控规等）功能调 整电压把三项沟通电转化为我们需要的可调直流

3、电，2功率补偿柜（组成熔断器 接 触器电感线圈等）功能降低无用损耗，提高功率因素。3晶体生长掌握柜调整用 电的功率（电流电压）由这三个部分组成拉可持续供电切稳定性特别强的电控系统。四合理的单晶拉制工艺的设定工艺的设定是依据详细的炉型热场的不同，从而不断对其生产自动流程的设定改 进。1拉速工艺随着硅溶液在拉制过程中越来越少散热量越来越大，温梯差减小成 晶速度减慢，为拉保持目标直径，的所以通过降低拉速拉进行调整，A初始拉速的 设定。B降拉速的幅度。2适当稳定的烟升补给，作用保持烟缝不变，也就是让成 晶最佳位置不变。通过不定量（拉速）以一个定量（烟根曲线）调整的随动值A在 进入珀烟TR角前的直壁补给

4、（定量补给）进入TR角后的递增补给。作用调整单 晶在生产过程中的固液转换差，保持堀缝位置不变，永久处于最佳成晶位置，避开 由于烟缝大小变化转变热循环的气流速度，造成温梯度网变化过大或过快，打破拉 单晶在生长中的相宜环境。五干净（单晶炉原料等）干净在我们这行业虽然没有什么技术含量但却是重中之重。1在装料前对炉子热场 的清理（石墨件炉体等）2在装料过程中避开消失对原料的二次污染问题。在此不 做过多的书写。其次篇 针对单晶硅棒影响因素的调整连续多次成晶失败，连续多天成品率过低的炉子。排解操作问题，原料问题，用埸 质量问题，设施问题，我就从单晶的影响因素中谈谈自己对炉子和热场可以转变的 看法和意见。一

5、热循环的解决大清炉检查，拿出全部炉内热场清除炉内热场及抽空管道沉积过多的挥发物 检查 各路管道的畅通问题，漏气问题，保证热循环畅通无阻。（顺便看看石墨器件的损 伤老化程度及保温系统是否良好）二温梯度的调整1轴向梯度调整A转变导流罩口的大小从而转变成晶硅溶料受氨气作用影响的 面积。B调整氨气大小从而转变热循环的流量流速加强或减弱温梯差效应。2纵向 梯度A增加或削减导柱的高度 B转变保温筒的高度，这样做从而转变加热器的 相对位置，也就是器盖距，从加热器到盖板之间的距离（导流罩深化加热器的距离） 3整体梯度对保温碳毡的缠绕层数进行调改。三电系统稳定性的观看111电控问题，检查在单晶生产过程中是否有因

6、电流电压不稳造胜利率翻跳变化，影 响炉内温度不稳，联系电修查找消失问题的缘由。2检查加热器与导柱的连接处是 否正常良好（主要是指有杂物和碳化硅）或换一个加热器进行跟踪观看。四工艺设定合理性的改进1观看等径降拉速的合理适当性，不会由于拉速问题，影响成晶温度稳定，造成断 线。（降快了降多了温度就比正常成晶温度高，降慢了降少了温度就是比正常成晶 温度低）2蜗升的补给是否能够达到塌缝大小的不变（当然没有确定的不变，据本 人多年观看 在3毫米之内进行变动对单晶的影响还不算严峻）然后依据状况和消失 问题的不同我们对现行工艺进行修改。（首先要测核准拉速期升是否为1： 1状态 也就是显示值和实际运行值是否一样

7、）五不做无用书写只要记住本着我们最大的力量去清理炉体热场，以我们最大的限 度去保持工作现场及原料的干净。第三篇生产中特别状况的发生及处理设施在运转过程中，消失一些故障是避开不了的，我们能做的就是怎样削减意外事 故的发生，降低消失意外事故的损失。下面我就来谈谈自己对意外大事发生的处理 方法和看法。一炉压特别上涨假如再有加热的状况下，消失炉内压力特别上涨，那么我们首先考虑主泵是否处于 正常的工作状态，查看主泵皮带是否有破损或者老化严峻的现象，假如主泵工作正 常，那就是炉体的问题了。假如主泵消失故障，则可先用副泵维持工作状态，抓紧 时间抢修主泵。假如是炉体漏水漏气或者漏料，在加热的状况下，修理几乎是

8、不行 能的，那就看当时的状况打算，假如可能要尽力维持把原料吊出。说到这里顺便谈谈漏料的相关问题。首先判定漏料必备的2个状况，A炉体压力 特别上涨，B液面下降或者在熔料过程中看不见溶液却看到原料下沉的现象。假如 判定消失漏料大事，那么要马上停止加热，这时可将主泵阀门关闭，关闭主泵，加 大瀛气供应量，将炉内冲到微正压，气体可由炉体破损处排出。（一般多是下轴的 波纹管）削减空气进入量，减小炉内石墨器件氧化程度。二特别停电特别的停电时有发生，尤其是在雷雨季节，消失的频率会更高，一般来说，当动力 电突然消逝，（立刻联系供电所了解停电缘由时间）先等几秒观看，看电源能否自 动恢复，假如瞬间供电恢复，那么要检

9、查工艺参数有无特别问题，在等径的炉子， 大多需要退出自动状态，进行手动掌握恢复。假如短时间供电没有恢复，建议先关 闭压气阀在关闭主泵阀门。从理论上讲，在断电瞬间，泵头的电磁阀在弹簧力的作 用下是会自动关闭的，从而隔断炉内管道与外界的连通，是不会倒吸的。退一步讲, 即使由于种种缘由，电磁阀门无法自动关闭，突然停电，等操作者反应过来，再去 关主泵阀门，倒吸现象也已经消失啦。完成这些动作后，查看每台炉子都处于什么状态。没加热的不去考虑，处于熔料状 态的稍后考虑，处于放肩状态的，可马上手动降锅位，使其与溶液脱离，处于等径 状态的看状况操作，由于假如短时间恢复供电，或许还能挽救回来。过一段时间供 电还未

10、恢复的，那么也要手动将晶体脱离溶液。手动降锅位时候要留意，一不要弄 错方向，二脱开距离要大一点。假如脱开距离过小，那么硅溶液冷凝后膨胀，还会 把溶液和晶体粘连在一起的。停电大都伴随着停水。冷却的循环水突然停啦，炉体过一段时间温度就会上升，炉 内残存的水受热气化，消失啪啪的响声。这时候操作者要留意自身平安。不要离炉 体太近，避开冷却水关松开，高温蒸汽将人烫伤。也不要靠近观看窗观看炉内状态, 观看玻璃也是比较脆弱的地方，即使你去观看也无济于事，由于到拉这个时候你什 么都做不了。即使冷却水恢复后，也不急于靠近，需要等水循环运转几分钟后，炉 体冷却啦，在靠近操作。假如长时间循环水不能恢复，炉体已经很热

11、，操作人员必 需撤离，避开消失人员伤亡。（本人曾经遇到过一次水电同停，不能恢复供应，车 间冷却循环水管几乎全部爆裂，满车间水蒸气，地下都是水，有几台单晶炉体底盘 被烧坏。性好由于准时撤离，人员没有伤亡。消失类似现象大家不要慌乱，看状况 打算对策。撤离时也不要忙乱，听从班长指挥。）依据以往的经受，珀期内溶液凝固，假如时间不长就恢复供电，是可以连续升温将 硅料化开，然后重新生产的。但这要依据当时详细状况，并且有丰富的阅历，不行 轻易操作，否则会酿成更大的经济损失。由此可见平常的操作实践阅历积累是多么 重要。三硅溶液特别抖动假如发觉硅液面消失特别抖动，那么首先要查看前几炉生产纪录本，看看是否有抖 动

12、现象的纪录，假如也纪录有抖动现象的发生，只是这炉抖动更加严峻，那么应当 是用烟轴承或波纹管里有杂物的缘由造成的。在这炉生产结束后找机修查看缘由在 清理波纹管。消失液面抖动，可先将锅位放在不同位置观看，是否在那个位置都有抖动现象消失, 假如仅仅在一个位置抖动，应当是连杆上粘有硅料点造成的。可先用低锅位拉单晶 （吊料）提出部分硅料，使得正常成晶位置躲离有硅料点影响的位置，再重新生产。 假如任何锅位都有猛烈抖动的现象消失，而且功率伴有大浮动变化，则可能是石墨 锅绑断裂，摩擦加热器造成的，遇到类似象同时消失，建议停炉铸料，避开更大损 失。四单晶炉在炉内有加热的状况下，氨气，循环水，是确定要供应的不能停。五 对于一些常常发生的设施故障，操作者要牢记其故障表现并且做好纪录，以保 证自己所操作的设施正常运转。拉晶工应当充分熟识了解自己管理的3台单晶炉的 工作性能和部件功能，工作原理，在紧急状况下能够简洁处理修理，维持设施的正 常工作。综上述主要是针对单晶生产方面和一些应当具备的技能阅历方面的阐述以上书写仅仅是个人对单晶硅生产方面的熟识，以及影响生产问题和消失意外大事 的总结，写的确定不是很全面，有待大家沟通争论补充。只要大家在工作中能够不 断的总结积累阅历，并不断提高改善自己的工作方式，信任每个人都能成为一名精 彩的单晶生产人员。