《薄膜材料制备技术》课程教学大纲（模板）.docx

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1、薄膜材料制备技术课程教学大纲一、课程基本情况课程编号：083P61A学分：3 周学时：3 总学时：51开课学期：5开课学院：理学院英文名称：Preparation and application of the thin films适用专业：物理学以及应用物理（微电子）专业课程类别：专业方向模块课课程修读条件：先修课程普通物理，量子力学，固体物理网络课程地址：课程负责人：所属基层学术组织：微电子科学与工程专业二、课程简介作为材料科学的一个分支，薄膜材料学在科学技术中发挥了重要作用。本科 生经过学习之后能对薄膜材料科学最基本的原理及方法有一概括性的了解。掌握 薄膜材料的制备手段、薄膜的生长原理、表

2、征技术和性能。了解薄膜材料在现代 社会中的应用。本课程是学习太阳能电池原理与其他半导体材料与器件的基础。三、教学目标总目标：掌握薄膜材料科学最基本的原理及方法。为制备器件打基础。知识目标：掌握薄膜材料的制备手段、薄膜的生长原理、表征技术和性能能力目标：使用合适手段制备薄膜材料器件。素质目标：掌握半导体行业的基础制备方法。四、教学内容及学时分配（应体现教学单元的教学目标、基本内容、学时分配、教学方法、课外 学习任务及要求等内容）基本内容包括：薄膜材料的制备手段、形核与生长机理；表征技术和薄膜材 料体系的性能及应用。1 .薄膜技术的真空知识；（8学时）掌握气体分子运动论的基本概念、气体的流动状态和

3、真空的获得方法以及真 空度的测量方法。2 .薄膜的物理气相沉积；（12学时）掌握蒸发法制备薄膜的原理特点以及相关装置；掌握溅射法制备材料的原理、 现象以及装置3 .薄膜的化学气相沉积；（8学时）掌握化学气相沉积中化学反应的类型、热力学原理、薄膜生长动力学以及化 学气相沉积的装置。4 .薄膜的液相化学制备方法；（3）介绍旋涂法以及提拉法等化学方法制备的薄膜。5 .薄膜的生长过程和薄膜结构；（8学时）薄膜的生长过程包括形核理论、薄膜的结构、薄膜的晶体形态以及薄膜中的 应力和薄膜的附着力。6 .薄膜材料的表征方法；（8学时）掌握薄膜厚度，薄膜材料的表征方法以及成分的表征方法。7 .薄膜材料的应用；（4学时）了解薄膜在涂层，集成电路，集成光学器件，磁性材料，能源转换材料中的 应用。五、考核及成绩评定方式（请明确说明教学过程考核方式和期末考核方式，各项考核成绩占课程总成绩的比例，原则上平时成绩比重不低于50%。）六、教材及参考书目:序号考核方式成绩比重（%）1平时成绩502期末考试（随堂测试）50合计类别教材名称编者出版社出版时间教材薄膜材料制备原理，技术及 应用唐伟忠著冶金工业出版社2003纶考书薄膜材料与薄膜技术郑伟涛编著化学工业出版社2001撰写人：审核人：制定时间：年 9月19