探针方法测量半导体的电阻率精.ppt

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1、探针方法测量半导体的电阻率第1页，本讲稿共22页一实验目的一实验目的二实验原理二实验原理三仪器结构特征三仪器结构特征四操作步骤四操作步骤五注意事项五注意事项六技术参数六技术参数第2页，本讲稿共22页 实验目的实验目的1、理解四探针方法测量半导体电阻率的原理；2、学会用四探针方法测量半导体电阻率。第3页，本讲稿共22页 实验原理实验原理1、体电阻率测量：、体电阻率测量：四探针法测量原理图 当、四根金属探针排成一直线时，并以一定压力压在半导体材料上，在、两处探针间通过电流I，则、探针间产生电位差V。第4页，本讲稿共22页材料电阻率式中：S1、S2、S3分别为探针与，与，与之间距，用cm为单位时的值

2、，S1=S2=S3=1mm.每个探头都有自己的系数。C6.280.05单位cm。若若电电流取流取I=C 时时，则则V，可由数字，可由数字电压电压表直接表直接读读出。出。探针系数(1)(2)第5页，本讲稿共22页（a）块状和棒状样品体电阻率测量：由于块状和棒状样品外形尺寸与探针间距比较，合乎于半无限大的边界条件，电阻率值可以直接由（）、（）式求出。第6页，本讲稿共22页（b）簿片电阻率测量 簿片样品因为其厚度与探针间距比较，不能忽略，测量时要提供样品的厚度形状和测量位置的修正系数。第7页，本讲稿共22页电阻率值可由下面公式得出：式中：0 为块状体电阻率测量值；W：为样品厚度（um）；S：探针间距

3、（mm）；G(W/S)为样品厚度修正函数，可由附录IA或附录1B查得；D(d/S)为样品形状和测量位置的修正函数，可由附录查得。W/S0.5时，实用。当圆形硅片的厚度满足W/S0.5时，电阻率为：第8页，本讲稿共22页2、带扩散层的方块电阻测量、带扩散层的方块电阻测量 当半导体薄层尺寸满足于半无限大时：若取I 4.53 I0，I0为该电流量程满度值，则R0值可由数字表中直接读出的数乘上10后得到。第9页，本讲稿共22页 仪器结构特征仪器结构特征数字式四探针测试仪主体部分由高灵敏度直流数字电压表、恒流源、电源、DC-DC电源变换器组成。为了扩大仪器功能及方便使用，还设立了单位、小数点自动显示电路

4、、电流调节、自校电路和调零电路。第10页，本讲稿共22页仪器电源经过DC-DC变换器，由恒流源电路产生一个高稳定恒定直流电流，其量程为10A、100A、1mA、10mA、100mA，数值连续可调，输送到、探针上，在样品上产生一个电位差，此直流电压信号由、探针输送到电气箱内。具有高灵敏度、高输入阻抗的直流放大器中将直流信号放大（放大量程有0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V），再经过双积分A/D变换将模拟量变换为数字量，经由计数器、单位、小数点自动转换电路显示出测量结果。第11页，本讲稿共22页为克服测试时探针与样品接触时产生的接触电势和整流效应的影响。本仪器设立有“粗调”、“细调”调

5、零电路能产生一个恒定的电势来补偿附加电势的影响。仪器自较电路中备有精度为0.02、阻值为19.96的标准电阻,作为自校电路的基础，通过自校电路可以方便地对数字电压表精度和恒流源进行校准。第12页，本讲稿共22页 在半导体材料断面测量时：直径范围15100mm，其高度为400mm，如果要对大于400mm长单晶的断面测量，可以将座体的V型槽有机玻璃板取下，座体设有一个腰形孔，用户可以根据需要增设支衬垫块使晶体长度向台下延伸，以满足测量长单晶需求，测试架有专门的屏蔽导线插头与电气箱联结。第13页，本讲稿共22页 实验步骤实验步骤1、测试准备：电源开关置于断开位置，工作选择置于“短路”，电流开关处于弹

6、出切断位置。将测试样品放在样品架上，调节高度手轮，使探针能与其表面保持良好接触。2、打开电源并预热小时。第14页，本讲稿共22页3、极性开关置于上方，工作状态选择开关置于“短路”，拨动电流和电压量程开关，置于样品测量所合适的电流、电压量程范围。调节电压表的粗调细调调零，使显示为零。4、将工作选择档置于“自校”，使电流显示出“”，各量程数值误差为字。5、将工作选择档置于“调节”，电流调节在I6.28=C，C为探针几何修正系数。第15页，本讲稿共22页1.显示板 2、单位显示灯 3、电流量程开关 4、工作选择开关（短路、测量、调节、自校选择）5、电压量程开关6、输入插座7、调零细调8、调零粗调9、

7、电流调节10、电源开关11、电流选择开关 12、极性开关第16页，本讲稿共22页测量电阻时，可以按表所示的电压电流量程进行选择。电流/电阻/电压0.2mV2mV20mV200mV2V100mA2m20m200m22010mA20m200m2202001mA200m2202002k100A2202002k20k10A202002k20k200k第17页，本讲稿共22页6、工作状态选择开关置于“测量”，按下电流开关输出恒定电流，即可由数字显示板和单位显示灯直接读出测量值。再将极性开关拨至下方（负极性），按下电流开，读出测量值，将两次测量值取平均，即为样品在该处的电阻率值。关如果“”极性发出闪烁信号

8、，则测量数值已超过此电压量程，应将电压量程开关拨到更高档，读数后退出电流开关，数字显示恢复到零位。每次更换电压、电流量程均要重复35步骤。第18页，本讲稿共22页 注意事项注意事项1、电流量程开关与电压量程开关必须放在下表所列的任一组对应的量程电压量程2V200mV20mV2mV0.2mV电流量程100mA10mA1mA100A10A第19页，本讲稿共22页 2、电阻（V/I）测量，用四端测量夹换下回探针测试架，按下图接好样品，选择合适的电压电流量程，电流值调到10.00数值，读出数值为实际测量的电阻值。第20页，本讲稿共22页3、方块电阻测量，电流调节在4.53时，读出数值10倍为实际的方块电阻值。4、薄片电阻率测量：当薄片厚度0.5mm时，按公式（3）进行；当薄片厚度0.5mm时，按公式（4）进行。5、仪器在中断测量时应将工作选择开关置于“短路”；电流开关置于弹出断开位置。第21页，本讲稿共22页 技术参数技术参数测量范围 电阻率：10-4103cm；方块电阻：10-3104；电阻：10-6105；四探针测试探头：探针间距：mm；游移率：1.0%；探针：碳化钨 0.5mm 压力：02kg可调。第22页，本讲稿共22页