传感器工程传感器技术基础优秀PPT.ppt
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1、传感器工程传感器技术基础第1页,本讲稿共105页一、光电效应一、光电效应二、电光效应二、电光效应三、磁光效应三、磁光效应四、磁电效应四、磁电效应五、热电效应五、热电效应六、热磁效应六、热磁效应七、压电效应七、压电效应八、压阻效应八、压阻效应九、压磁效应九、压磁效应十、约瑟夫逊效应十、约瑟夫逊效应十一、光相关效应十一、光相关效应十二、声波相关效应十二、声波相关效应十三、射线相关效应十三、射线相关效应十四、击波动态效应十四、击波动态效应十五、半导体面效应十五、半导体面效应十六、化学相关效应十六、化学相关效应主要传感器基于的物理效应及使用的材料主要传感器基于的物理效应及使用的材料第2页,本讲稿共10
2、5页检测对象类型所 利 用的效应输出信号传感器或敏感元件举例主要材料光量子型光电导效应电阻光敏电阻可 见 光:CdS,CdSe红外:PbS,InSb光生伏特效应电 流、电压光敏二极管、光敏三极管、光电池Si,Ge,lnSb(红外)肖特基光敏二极管Pt-Si光电子发射效应电流光电管、光电倍增管Ag-O-Cs,Cs-Sb约瑟夫逊效应电压红外传感器超导体热型热释电效应电荷红外传感器、红外摄像管BaTiO3主要传感器基于的物理效应及使用的材料。主要传感器基于的物理效应及使用的材料。第3页,本讲稿共105页机械量电阻式电阻应变效应电阻金属应变片康铜,卡玛合金压阻效应硅杯式扩散型压力传感器、半导体应变片S
3、i,Ge,Gap,InSb压电式压电效应电压压电元件石英,压电陶瓷,PVDF正、逆压电效应频率声表面波传感器石英,ZnO十Si压 磁式压磁效应感抗压磁元件;力、扭矩、转矩传感器硅钢片,铁氧体,坡莫合金磁 电式霍耳效应电压霍耳元件;力、压力、位移传感器Si,Ge,GaAs,InAs光电式光电效应各种光电器件;位移、振动、转速传感器(参见光传感器)光弹性效应折射率压力、振动传感器件第4页,本讲稿共105页温度热电式热电效应电压热电偶Pt-PtRhl0 NiCrNiCuFe-NiCu约瑟夫逊效应噪 声电压绝对温度计超导体热释电效应电荷驻极体温敏元件PbTi03,PVF2TGS,LiTaO压电式正、逆
4、压电效应频率声表面波温度传感器石英热型 热磁效应电场Nernst红外探测器热敏铁氧体,磁钢第5页,本讲稿共105页磁磁 电式霍耳效应电压霍耳元件Si,Ge,GaAs,InAs霍耳IC、MOS霍耳Si磁阻效应电阻磁阻元件NiCo合 金,InSbInAs电流pin二极管、磁敏晶体管Ge约瑟夫逊效应电流超导量子干涉器件(SQUID)Pb,Sn,NbTi光 电式磁光法拉第效应偏振光面偏转光纤传感器YIG,EuO,MnB磁光克尔效应MnBi放射线光 电式放射线效应光强光纤射线传感器加钛石英量 子型PN结光生伏特效应电脉冲射线敏二极管,pin二极管Si,Ge,渗 Li的 Ge,Si肖特基效应电流肖特基二极
5、管AuSi第6页,本讲稿共105页一、光电效应photoelectriceffect可制作各种光电器件,位移,振动,转速传感器物质在光的作用下释放电子的现象称为光电效应。被释放的电子称为光电子,光电子在外电场中运动电流称为光电流。第7页,本讲稿共105页外光电效应externalphotoelectriceffect可制作光电管、光电倍增管传感器外光电效应是指在光的照射下,物体内的光电子逸出金属表面的现象。1887年由德国人赫兹发现。光电流光强光电流光频1122AB强光弱光第8页,本讲稿共105页面效应surfaceeffect指物质在光的作用下释放光电子,光电子在金属表面形成。体效应bulk
6、effect指物质在光的作用下释放光电子,光电子在金属表面较深处形成。第9页,本讲稿共105页内光电效应internalphotoelectriceffect受光照物体电导率发生变化或产生光电动势的效应叫内光电效应。第10页,本讲稿共105页光(电)导效应photo-conductiveeffect可制作光敏电阻(光电导管)传感器物体受到光照时,其内部原子释放的电子留在内部而使物体的导电性增加、电阻值下降的现象称为光电导效应。绝大多数高电阻率半导体都具有光电导效应。禁带价带导带真空能级能量第11页,本讲稿共105页光生伏特效应photoproductionvoltaeffect可制作光电池、光
7、敏二极管、光敏三极管和半导体位置敏感器件传感器物体(如半导体)在光的照射下能产生一定方向的电动势的现象称为光生伏特效应。殿巴效应光电磁效应Pn结效应贝克勒效应第12页,本讲稿共105页侧向光生伏特效应(殿巴效应)laterogenephotoproductionvoltaeffect(Dembereffect)可制作半导体位置敏感器件(反转光敏二极管)当半导体光电器件的光灵敏面受光照不均匀时,由载流子浓度梯度而产生的光电效应称为侧向光生伏特效应。光照半导体光光V第13页,本讲稿共105页光电磁效应(PME效应)opticmagnetoelectriceffect(PMEeffect)半导体受强
8、光照射并在光照垂直方向外加磁场时,垂直于光和磁场的半导体两端面间产生电势的现象称为光电磁效应。光照半导体B光BFF光VB第14页,本讲稿共105页PN结光生伏特效应PNjunctionphotoproductionvoltaeffect可制作光电池、光敏二极管和光敏三极管传感器光照射到距表面很近的半导体PN结时,PN结及附近半导体吸收光能。若光子能量大于禁带宽度,则价带电子跃迁到导带成为自由电子,价带成为自由空穴。电子空穴对在PN结内部电场作用下,电子移向N区外侧,空穴移向P区外侧,结果P区带正电,N区带负电,形成光电动势。PN结光生电流与入射光照度成正比,光生伏特与照度对数成正比。第15页,
9、本讲稿共105页贝克勒效应Becquereleffect可制作感光电池传感器当光照射浸在电解液中的两个相同电极中的任一个电极时,在两个电极间将产生电势的现象称为贝克勒Becquerel效应。它是液体中的光生伏特效应。电极V电解液光第16页,本讲稿共105页二、电光效应electro-opticaleffect可制作光导纤维传感器物质的光学特性(如折射率)受外电场影响而发生变化的现象统称为电光效应。第17页,本讲稿共105页线性电光效应(泡克尔斯效应)linearelectro-opticeffect(Pockelseffect)可制作电光调制器、电光开关、光纤电压、电场传感器入射光异常光正常光
10、V压电晶体电极平面偏振光沿着处在外电场内的压电晶体的光轴传播时,发生双折射现象(称为电致双折射),且两个主折射率之差与外电场强度成正比,这种电光效应称为线性电光效应,也称泡克耳斯效应。它属于对材料折射率进行调制的效应。第18页,本讲稿共105页平方电光效应(电光克尔效应)quadraticelectro-opticeffect(electro-opticKerreffect)可制作光导纤维传感器光照射具有各向同性的透明物质(也可以是液体),在与入射光垂直的方向上加以高电压将发生双折射现象,即一束入射光变成正常(寻常)和异常(非常)两束出射光,称这种现象为电光克尔效应,亦称平方电光效应。两个主折
11、射率之差与电场强度的平方成正比。入射光异常光正常光V各向同性物质电极第19页,本讲稿共105页光弹性效应photoelasticeffect可制作压力传感器、振动传感器、声传感器当外力或振动作用于弹性体产生应变时,弹性体的折射率发生变化,呈现双折射性质,这种现象称为光弹性效应。属于对材料折射率进行调制的效应。第20页,本讲稿共105页电致发光效应electroluminescenceeffect可制作发光二极管、半导体激光器传感器某些固态晶体如高纯度Ge、Si等化合物半导体在光和外加电场作用下发出冷光(指荧光和磷光)的现象,以及某些固态晶体如GaP、InP、GaAs等无需外加激发光而在外加电场
12、作用下即可发光的现象统称为电致发光效应。古亭鲍鲁(GuddenPonl)效应底歇(Dechene)效应底斯特里奥(Destriau)效应第21页,本讲稿共105页古亭鲍鲁(GuddenPonl)效应及底歇(Dechene)效应固态晶体在光线照射下的受激时间内可发出荧光,并且,其荧光强度受如图所示的外加电场影响颇大。当闭合开关s将电压v加在晶体两侧时,在电场作用下荧光被加强或被削弱,这种现象称为电致发光现象。1920年古亭鲍鲁氏首先发现这一现象,故以其名命之。电光致发冷光有荧光及磷光两种。荧光是在外部激发光存在时间内发出的光,磷光是外部激发光消失之后仍继续发出的荧光。磷光发光机理比较复杂,它是在
13、某种积蓄激发能量作用之下发光的现象。受电场影响荧光强度加强时称古亭鲍鲁效应,减弱时称底歇效应。电光致发光的机理是半导体内电子与空穴复合而释放能量的过程。常见的电光致发光材料有纯度极高的Ge、Si及GaAs等化合物半导体等。s荧光激发光v第22页,本讲稿共105页底斯特里奥底斯特里奥(Destriau)效应效应 1936年底斯特里奥氏发现:硫化锌粉末被铜激活之后,只要加强外加电年底斯特里奥氏发现:硫化锌粉末被铜激活之后,只要加强外加电场强度而无需外加照射激发光,材料即可发光。这种现象称为底斯特里奥效场强度而无需外加照射激发光,材料即可发光。这种现象称为底斯特里奥效应应 显然,底斯特里奥效应已属电
14、致发光。该效应的特点是发光母体显然,底斯特里奥效应已属电致发光。该效应的特点是发光母体材料内必须掺加某种少量杂质。此杂质起激活作用,故称为激活剂。材料内必须掺加某种少量杂质。此杂质起激活作用,故称为激活剂。本例中的铜即为发光母体材料硫化锌的激活剂。本例中的铜即为发光母体材料硫化锌的激活剂。底斯特里奥效应以及其后的罗捷夫底斯特里奥效应以及其后的罗捷夫(Lossev)效应的共同特点是不需效应的共同特点是不需外加激发光,只需将电场加于固态晶体即可发光,因此统称它们为电外加激发光,只需将电场加于固态晶体即可发光,因此统称它们为电(场场)致发光现象或电致发光效应,简称为致发光现象或电致发光效应,简称为E
15、L效应。用罗捷夫效应的原效应。用罗捷夫效应的原理已制成发光二极管和半导体激光器。与罗捷夫效应相比,底斯特里理已制成发光二极管和半导体激光器。与罗捷夫效应相比,底斯特里奥效应不需注入载流子奥效应不需注入载流子即可发光,因此,更确切地说,应称底斯即可发光,因此,更确切地说,应称底斯特里奥效应的发光为本征发光。所以,一特里奥效应的发光为本征发光。所以,一般称般称El效应时,如不特殊说明,应是指底效应时,如不特殊说明,应是指底斯特里奥效应。斯特里奥效应。金属电极玻璃片透明导电膜ZnS-Cu发光第23页,本讲稿共105页三、磁光效应三、磁光效应 magneto-optic effect 可制作光纤传感器
16、可制作光纤传感器 置于外磁场中的物体,在光和外磁场作用下,置于外磁场中的物体,在光和外磁场作用下,其光学特性(如吸光特性,折射率等)发生变化其光学特性(如吸光特性,折射率等)发生变化的现象称为磁光效应。的现象称为磁光效应。第24页,本讲稿共105页磁光法拉第效应Faradayeffect可制作光纤传感器平面偏振光(即直线偏振光)通过带磁性的透光物体或通过在纵向磁场(磁场方向与光传播方向平行)作用下的非旋光性物质时,其偏振光面发生偏转的现象称为磁光法拉第效应。它是由于磁场作用使直线偏振光分解成传播速度各异的左旋和右旋两圆偏振光,因此从物体端面出射的合成偏振光将发生偏转。其中,偏振光面偏转的角度与
17、磁场强度、光在物体中通过的长度成正比。=VeL H第25页,本讲稿共105页磁光克尔效应magneto-opticKerreffect可制作光纤传感器平面偏振光垂直入射于抛光的强电磁铁的磁极表面,所产生的反射光是一束椭圆偏振光,且偏振面偏转角度随磁场强度而变化,这种现象称为磁光克尔效应。入射光ISN出射光IXXY第26页,本讲稿共105页科顿科顿-蒙顿效应蒙顿效应Cotton-mouton effect 当光线垂直于磁场的方向照射液体(如硝基当光线垂直于磁场的方向照射液体(如硝基苯等芳香族化合物)时,液体分子在外磁场的作苯等芳香族化合物)时,液体分子在外磁场的作用下形成一定规律的排列,而呈现双
18、折射特性,用下形成一定规律的排列,而呈现双折射特性,即一束入射光变为寻常和非常两束出射光,这种即一束入射光变为寻常和非常两束出射光,这种现象称为科顿现象称为科顿-蒙顿效应。蒙顿效应。它属于磁致双折它属于磁致双折射效应。其中,两主射效应。其中,两主折射率之差与光波波折射率之差与光波波长与磁场强度的平方长与磁场强度的平方的积成正比。的积成正比。入射光异常光正常光硝基苯物质NS第27页,本讲稿共105页四、磁电效应magnetoelectriceffect将材质均匀的金属或半导体通电并置于磁场中产生各种物理变化,这些变化统称为磁电效应。第28页,本讲稿共105页霍尔效应Halleffect可制作霍尔
19、元件,接近开关,位置位移传感器,转速传感器等传感器当电流垂直于外磁场方向通过导体或半导当电流垂直于外磁场方向通过导体或半导体薄片时,在薄片垂直于电流和磁场方向的两体薄片时,在薄片垂直于电流和磁场方向的两侧表面之间产生电位差的现象,称为霍耳效应。侧表面之间产生电位差的现象,称为霍耳效应。所产生的电位差称为霍尔电势,它是由于运动所产生的电位差称为霍尔电势,它是由于运动载流子受到洛仑兹力而在薄片两侧形成电子、载流子受到洛仑兹力而在薄片两侧形成电子、正电荷的积累所致。正电荷的积累所致。VH=KH I B Cos第29页,本讲稿共105页磁阻效应magnetoresistanceeffect可制作磁阻传
20、感器,磁编码器,角度传感器当通电流的半导体或金属薄片置于与电流垂直或平行的外磁场中,其电阻随外加磁场变化而变化的现象称为磁阻效应。物理磁阻效应physicalmagneto-resistanceeffect与半导体自身材料性质有关的磁阻效应称为物理磁阻效应。形状磁阻效应强制磁阻效应定向磁阻效应第30页,本讲稿共105页形状磁阻效应shape-relatedmagneto-resistanceeffect与半导体形状结构有关的磁阻效应称为形状磁阻效应。强制磁阻效应enforcedmagneto-resistanceeffect在强磁场中,强磁性金属的电阻率随磁场增强而减小的物理现象称为强制磁阻效
21、应。第31页,本讲稿共105页定向磁阻效应directionalmagneto-resistanceeffect在弱磁场中,当磁场强度大于某一值时,强磁性金属的电阻率与磁场强度的大小无关,只与磁场的方向和电流方向之间的夹角有关,即磁阻具有各向异性,称为定向磁阻效应。/=0.273 Sin2(H B)2第32页,本讲稿共105页耶秦古豪森效应Ettinghauseneffect如图,金属片通以通以电流I,在与其相垂直的方向上加以磁场H,这时,与I、H成直角的方向上将产生T T/y的温度梯度。这种现象称为耶秦古豪森效应。HIT/y IHxyzT/y=p H I第33页,本讲稿共105页五、热电效应
22、thermoelectriceffect可制作热电偶传感器是指温差信号与电量信号之间相互转换的各种物理效应的统称。一般情况下,热电效应通常指塞贝克Seebeck效应或温差电效应。第34页,本讲稿共105页珀尔帖效应Peltiereffect可制作用于控制半导体激光器温度的制冷器传感器当电流流过两种导体组成的闭合回路时,一结点处变热(吸热),另一结点处变冷(放热),或当电流以不同方向通过金属与半导体相接触处时,其接触处或发热或吸热,这种现象叫珀尔帖效应。第35页,本讲稿共105页汤姆逊效应Thomsoneffect同一种金属组成闭合回路,保持回路两侧为一定温度差,并通以电流时,回路的温度转折处将
23、产生比例于温度与电流之积的吸热或发热,这种现象称为汤姆逊效应。第36页,本讲稿共105页塞贝克效应(温差电效应)Seebeckeffect(thermoelectriceffect)可制作热电偶传感器两种不同的金属串接成闭合电路,当它们的两个结点处于不同温度时,则在回路内有电流产生,亦即两结点间产生电动势,这种由于温度不同而产生电动势的现象称为塞贝克Seebeck效应(温差电效应),一般习惯上也称为热电效应。第37页,本讲稿共105页热释电效应pyroelectriceffect可制作红外探测器、温度传感器、热成像器件传感器电石、酒石酸钾钠(罗谢耳盐)、钛酸钡等高介电常数晶体材料受热产生温度变
24、化时,其原子排列将发生变化,晶体自发极化,在其两表面产生电荷的现象称为热释电效应。产生的电荷量与晶体受热表面积和温度成正比。第38页,本讲稿共105页六、热磁效应thermomagneticeffect均匀材质的金属两端存在温度差时,其间必然有热量的流动(热流),若在与热流方向相垂直的方向上加以磁场则会产生出种种物理现象。统称热与磁间的诸现象为热磁效应。第39页,本讲稿共105页横向能斯脱效应transverseNeresteffect若在x轴方向存在某热流,并在太阳能传感器轴方向加以磁场,则在y轴方向会有电场产生。因电场方向与热流方向相垂直,故称此现象为横向能斯脱效应。电场强度大小等于横向能
25、斯脱系数乘磁场强度乘金属温度梯度(即热流),方向相反。第40页,本讲稿共105页纵向能斯脱效应(电气纵向效应)longitudinalNeresteffect(longitudinalelectricaleffect)若在x轴方向上存在某一热流,并在太阳能传感器轴方向加以磁场,则与热流相同方向上将产生电场,因为电场与热充方向一致,故称其为纵向能斯脱效应或称电气纵向效应。电场强度大小等于纵向能斯脱系数乘磁场强度乘金属温度梯度(即热流),方向相反。第41页,本讲稿共105页热磁横向效应(里纪热磁横向效应(里纪-勒杜克效应)勒杜克效应)transverse thermomagnetic effect
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