产品市场调研报告模板5篇.docx

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1、产品市场调研报告模板5篇产品市场调研报告模板1为了更好的设计我们公司的产品，我们对北京市的银行信贷产品做了初步的调研。现将调研情况报告如下：一、调研时间二、调研对象北京市银行信贷产品三、调研方式以个人贷款和企业贷款为主4、调研内容10月8日我们将北京市的中资银行做了收集：中国民生银行、中国邮政储蓄银行、华夏银行、交通银行、招商银行、兴业银行、中信银行、光大银行国家性在京银行，以及-发展银行、浦东发展银行、广发银行、渤海银行、浙商银行、-银行、-银行、上海银行、北京银行、北京农商银行地方性在京银行，10月9日12日我们分为两组分别以个人房贷、车贷、个体工商户、中小企业的身份对所收集的18家银行的

2、信贷产品做了调研，经过两次晨会的与探索调研，将调研结果进行总结分析如下：(1)银行信贷产品的共同点：所调研银行的信贷业务绝大多数以个人(公司)名下的房产做抵押，以基准年利率的2030%上浮为标准，按息月付到期一次性付本的还款方式，为银行提供个人的身份证、户口本、结婚证(有配偶);公司的基础资料、财务资料，向银行提出房产评估值的5070%的-年以下的贷款申请，银行根据申请条件以及贷款方的信用条件对其进行15周的审核后为贷款方为个人(公司)提供贷款业务，并提供后期跟踪服务;除个别银行外基本不做股权融资。(2)银行信贷产品的不同点：1、贷款额度：(1)光大银行、招商的申请额度可以在房产抵押的基础上追

3、加其他担保方式进行三方联保或个人信誉度的优质性申请到房产价值的120%。(2)如果贷款人在中国邮政储蓄银行有信用卡，可以在银行放款标准上追加一万元的贷款。2、抵押或质押物：(1)交通银行可以以商标权、注册权、专利权为质押作为贷款的申请条件。(2)北京农商银行房产作抵押时须提供第三方同意居住证明。(3)华夏银行必须是贷款人名下有两套房产。(4)上海银行抵押的房产必须是贷款人本人或配偶的。(5)-银行3、个人消费贷：(1)北京农商银行只做贷;(2)渤海银行做房子的装修贷。4、产品的特色：(1)浙商银行可以为客户提供贷款年限内的循环贷，同一房产同一人个人和公司名义的二次贷(贷款额度不得超过规定值)，

4、以及在本行有存款的积分贷(积分可以抵消利息)。(2)交通银行为客户提供了智融通、信融通、创业一站通、投融通四种产品。5、适宜人群：(1)中国民生银行的经营贷针对类似大红门服装市场或中关村电子市场如e世界之类的商圈市场，还有一种是协会如江苏协会、-协会，很少做散客的(有店铺三联保或五连保的可以)。(2)-发展银行、广发银行只针对大型公司。(3)-银行针对由本行指定的小型企业做的联合担保的企业。产品市场调研报告模板2近年来随着高校大学生人数的迅速增加，高校市场成为许多商家的必争之地，而随着人民生活水平的提高，现今的大学生们几乎是人手一部手机。为了尽快占领这一市场，通信运营商们可谓是使尽了浑身气力。

5、其中，中国移动和中国联通在之间的竞争显得尤为激烈，他们不仅在技术方面、产品业务方面、宣传方面针锋相对，而且在目标市场也是你争我夺，互不示弱。两家公司纷纷推出新产品，新理念来占领学生市场。中国联通推出的3g品牌“wo”在校园市场上攻城略地，抢占了移动相当大的市场。即在满足消费者需求的前提下，实现联通g3校园市场占有率的最大化，使中国联通成为3g时代校园市场领先者。作为行政管理专业的一名学生，我有幸参加了联通公司举办的暑期实践调研活动，通过实践调研，了解了联通企业日常工作开展情况和以服务产品为特点的诸多产品的特质，对于更好的实行行政管理积累了非常好的。下面将实践调研活动开展情况报告如下：一、实践调

6、研目的活动的根本目的在于更好的了解和认识目标企业生产全貌，以联通企业为例，作为通信行业的领先者，联通行业在同行业发展中始终处于领头雁的地位。其以优质的服务产品为主打品牌，经过多年深耕，已经积累了大量的消费者注意力。但是对于服务产品的特性，即便是专业学生也未必能够完全的解释。服务产品是与有形产品对应的一种产品存在形式，从学理分析看，服务产品是指“劳动者运用一定的设备和工具为消费者提供服务产生的结果”。服务产品也是具有使用价值的，其生产出来主要是为了满足消费者的通讯需求。此次实践调研目的便是基于这种特点的分析，引导实践者更好的理解服务产品的特征。二、实践步骤和随着的快速发展，其余传统的电信业务也实

7、现了有机的融合，相比于网络技术而言，运营商存在最大的短板便是服务，随着这种理念对于互联网服务也有很大的必要性，但是相对于后者，好体验是通过软件持续升级实现的，而运营出来的互联网业务也是服务的一个种类。基于这种认识，我们此次实践活动采取了实地参观、实操训练以及分析法，将收集到的大量一手资料进行归纳和整理，从中提炼和总结对我们研究具有重要意义的精华，并按照科学的分析方法进行分析和研究，为后续的论文撰写奠定良好的基础。三、实践调研内容服务产品营销概念：服务营销策略，是“基于目前市场的发展提出的一种具体的营销策略观念，它包含了两个方面的内容：其一，就企业性质来说，服务本身就是其产品;其二，作为一种营销

8、策略方式，服务就是企业的服务营销策略手段，始终贯穿于其营销策略的全过程。服务营销策略已进入全面化、多样化的时代，要想在市场竞争中立于不败之地，企业就要整体努力，灵活利用服务营销策略各种营销策略来创造竞争优势，这样才能在竞争中赢得胜利”。服务产品营销特征：从产品的性质来看，区别于常见的有形物体，服务产品由于服务是无形的，这给顾客判断带来了很大的困扰。即客户很难通过一般的判断方法判断服务产品服务质量的好坏和效果的强弱，这种区别于常见的判断方法，不像有形产品那样可以通过五官的触碰可以得出和塑造，而是将更多地根据服务设施和环境等有形物品来进行判断，如服务场所温馨、舒适，服务人员专业、礼貌等。服务营销的

9、本质在于更准确的平衡需求的方法：服务是一个行动或性能，而不是客户可以保留一块有形商品，服务当需求超出容量时，客户会感到失望离开，因为没有库存提供支持，它不容易可以运送到更高层次的需求的地方，至少在短期内，当需求大于供给时，增加服务能力(如设备、设施和训练有素的人员)是非常困难的。顾客直接参与服务的生产过程：传统的生产完全排除客户管理在生产过程中的作用，公司的员工是管理对象，而不是客户。这种参与是要求企业改变服务生产过程和服务营销策略方法来满足客户的不同需求。正是因为人们成为该产品的特点，我们需要坚持与客户的互动营销策略原则，及时响应客户的需求。四、经过此次实践调研活动，我终于认识到学校与社会相

10、差之大，学校只是我们步入社会的温床，而实践才能真正体会到社会竞争力的大小。不做不知道，就连一个小小的业务员，也需要百般的磨练才能将工作真正做得水到渠成。工作对每一个人的要求都是很高的，看似平时简单的动作或言语，也许正是因为这样，你可能得到或者失去一个客户对你的信任和满意。细节决定成败，正是这一论断的鲜明佐证。精工此次实践调研活动，我主要有以下心得体会：首先，礼仪是开展电信服务业务的前提和基础。微笑服务是我们大力提倡的，联通服务人员在与客户交谈的同时必须保持微笑，不管客户对你提出什么刁难的问题，始终得认清自己的立场，坚持自己的原则，并很有耐心的为他们解释一些不懂的地方。即便最终没有完全成功，最起

11、码客户对你的服务态度会有很高的评价，这样也是宣传自己、宣传公司的一种好方法。其次，要培养较强的能力和语言组织能力。每一次面对顾客，对服务者的口才也是一种很好的锻炼。并不是你能说就行，必须得会说，要懂得因人而异。不是每个人都喜欢话多的人，所以要抓住他们的弱点和优点。及时方便的推广并扩大自己的业务，并建立良好的合作(人缘)关系。再次，培养敏锐地观察能力是取得成功的必须。每一个客户都有其弱点和优点，要善于抓住这一点，利用他们这方面的心理取得客户的满意。但需要强调的是要本着诚信的原则，并做到不欺瞒顾客，不夸大事实，做到真实、真诚、真切地为客户服务。同时，还要善于总结，前期大量接触消费者和用户，都是为了

12、以后更好接触用户打基础，服务人员言谈举止、道德修养的提升，都会对工作的开展起到非常重要的促进作用。产品市场调研报告模板3调查背景：-年中国IT消费调查研究报告是在“-年度中国IT消费调查”收集的海量数据基础上，由天极网和艾瑞咨询合作分析撰写而成，是反映中国IT产品现状和发展趋势的最新市场研究报告，产品市场调研。“-年中国IT消费调查”是由中国计算机用户协会和中国互联网协会主办、天极传媒和中国互联网协会网络营销工作委员会承办，百家中文网媒参与合作的第七届大型IT消费调查。是唯一覆盖了IT产品市场和消费者的综合性调查活动，在IT界拥有广泛的影响力。本次调查采用网上调查、线下调查和行业分析向结合的方

13、法，面向所有互联网用户和10大城市IT卖场与高校学生用户。天极网以本次调查收集的数据为基础，邀请业内知名咨询顾问和专家顾问团做指导，进行深入分析，最终形成-年中国IT消费调查研究报告。-年中国IT消费调查研究报告针对我国整个IT行业做了深入、细致的调查分析，区别于以往的调查报告，本报告按照行业标准进一步细分产品，改改了9个大类，包括PC整机、办公外设、配件、数码产品、数字家庭产品、软件、互联网、通讯产品和游戏动漫，本文引用了数码产品中有关消费类数码相机的调研数据与分析，旨在成为国内和国际IT企业、消费者了解消费类数码相机产品市场的桥梁。调查方法：采用定量分析和定性分析的研究方法。定量方面：报告

14、数据收集和分析主要采用了通过问卷星网站(#url#)进行在线问卷调查和通过平面媒体进行线下问卷调查的方法;定性方面：对IT市场各环节厂商进行深入访谈和研究。两种调查方法结合最终形成报告。调查样本特征：一、调查时间-年11月10日-年12月15日二、样本数量共有352432位用户参与本次大型网络调查，共收到各产品调查有效问卷893026份。三、样本分布1、样本性别构成情况2、样本学历分布构成情况3、样本行业分布情况4、样本收入构成情况5、样本年龄构成情况6、样本地区构成情况-年数码相机市场现状与特点分析报告1、更换数码相机年限由于数码相机是属于耐用消费品，但随着电子产品更新速度的加快，用户在购买

15、数码相机后一般会在3年内重新购买，此类用户占此次调研数据的51%，可以视作消费类数码相机产品最普遍的更新周期;同时，也有近37%的用户会在一年左右更换数码相机产品，这个数据占整体的37%，究其原因是目前用户除了将数码相机作为拍摄工具外，也将其作为一种时尚消费品。分析：基于此调研数据，我们建议数码相机生产厂商可以根据用户的更新换代时间来调整自身产品的开发与生产周期，从而适应用户更新换代的需求，对于以时尚类数码相机为市场切入点的厂商，可以适当的缩短自身产品的开发与生产周期，借以满足更新产品时间较短的用户需求。2、数码相机类型从分析数据来看，家用数码相机在目前数码相机用户中所占比例为5%;其次是时尚

16、卡片型数码相机，所占比例为38%;再次是长焦手动消费级数码相机，所占比例为6%;所占比例最少的是数码单反产品，比例为5%。分析：价格低廉且操作方便的家用小型数码相机占据了目前数码相机用户的大半，这符合目前数码相机处于大规模普及阶段的现状。占据第二位的时尚类数码相机的购买者集中在年轻用户以及女性用户，此类用户消费能力强，更新换代速度快，值得数码相机生产厂商针对该类用户做出更大的产品研发与市场投入3、品牌从-年用户使用数码相机品牌的调研数据来看，排名前三全部是日本数码相机品牌。其中排名第一的品牌为索尼，所占比例为16、7%，产品类型以家用数码相机和时尚卡片型数码相机为主。位居第二的佳能所占比例为1

17、4、6%，产品类型包含消费级与专业产品，较为均衡。分析：汇总的数据中处于第一和第二的索尼与佳能在所占比例上较为接近，品牌优势相比其他品牌更加明显，处于第三与第四的尼康与三星，相比其他品牌的优势宾不明显，预计-年的市场格局不明朗，排名上会产生一定变化。4、价格从不同价格区间所占百分比来看，10003000元价位是目前最为消费者所接受的价格区间，占据了29、3%;其次是500010000元价位的中高端数码相机产品价格，占据了29、2%;由此可见价格适中的中端数码相机产品价格和500010000元价位的中高端数码相机产品价格受到市场的认可，而价格过低或者偏高都无法受到市场欢迎。分析：由于金融风暴和经

18、济危机的影响，消费者的购买力降低，购买产品时对于价格因素更加趋于敏感。各品牌需谨慎推出高端产品，并且在推广上着重突出产品的性价比。产品市场调研报告模板4国产光伏电池制造设备生存现状根据IMSResearch的研究，20-年太阳能光伏制造设备的市场可能减半。由于太阳能光伏制造设备新需求显着下跌，市场存在的现有设备的换代和升级需求有限，预计20-年市场下跌超过55%。近几年来，太阳能光伏产品制造商纷纷投入巨资购买新光伏设备扩大产能，以此来扩大市场份额，同时让自己成为可靠的大批量供货商。虽然，这为最近太阳能光伏电池制造设备市场的繁荣起到了推波助澜的作用，但是，这也导致了目前光伏设备制造商的产能过剩。

19、高级研究分析师TimDawson说：“根据IMSRsearch的估计，光伏电池制造设备市场收入在2011年达到创纪录的128亿美元，20-年将会仅仅超过57亿美元。大规模产能过剩，再加上需求下降，生产商在可能的情况下，要么推迟要么取消了光伏制造设备的订单，至少短期内事实情况就是这样。从长远来看，2013年光伏行业恢复增长是必然的，但是并不能预测将会出现强有力的V型复苏。光伏制造设备市场将会稳步恢复。毕竟，光伏生产商依然会希望再次在新设备上投资以保持竞争力，改善生产流程，提供电池效率，最终减少每瓦成本。目前，我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、光伏电池片、光伏组件的生产以及相应的纯水制备、环

20、保处理、净化工程的建设、以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉、层压机、检测设备等开始出口。值得一提的是，硅材料加工设备中单晶炉以优良的性价比占据了国内市场的绝对统治地位并批量出口亚洲，多线切割机已取得突破，多晶硅铸锭炉已经开始大量在国内企业中使用。据中电四十八所提供数据显示，在10个太阳能光伏电池制造生产线设备中，国产设备已能提供其中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、去磷硅玻璃(PSG)设备、低温烘干炉)已在国内生产线上占据主导地位，2种(管式PECVD、快速烧结炉)与进口光伏设备并存但份额正逐

21、步增大。但是，全自动丝网印刷机、自动分拣机、平板式PECVD仍然依赖进口。目前国内光伏电池注流建线方案为国产和进口设备混搭，基本以国产为主。设备投资方面，一条25MW的标准生产线需34006000万元。我国光伏电池制造设备的技术水平首先，在湿法腐蚀、清洗设备、扩散方面，主要是自动制绒设备、自动清洗设备、全封闭扩散炉、刻蚀机、去PSG设备等国内已经能够制造，已经达到世界先进水平，且性价比优势十分明显;国产PECVD(管式)的工艺结果已接近世界先进水平，这是这种设备的优势。但它的自动化程度(自动装卸片)不如进口设备(进口设备如德国Centrotherm公司产品，售价是国产设备的三倍左右)，平板型P

22、ECVD目前国内已有企业生产，有待进一步验证;第三，国产丝网印刷机(只有手动)，与进口自动化产品的差距也是在自动装卸片(机械手)和自动检测手段上，全自动丝网印刷机已有企业生产，工艺有待进一步验证;第四，高温烧结炉技术提高，开始批量在大线上使用;第五，自动检测分拣设备目前国内已达到国际中等水平。然而，尽管国产太阳能光伏设备在国内用户中已建立起良好的信誉，得到业界的广泛认可，越来越多的客户从价格适中、性能良好、技术不断进步的国产设备中受益。但我们也应该看到，国内半导体设备厂商在整体技术水平尤其是尖端技术水平上和国外厂商尚有差距。业内专家指出，国产太阳能光伏设备的竞争力不完全在于设备的性能指标，而在

23、于设备的性能价格比。成本是太阳能光伏产业的终极目标，业内有句话，光伏设备没有最好的，只有最合适的。据了解，建设一条太阳能电池生产线，70%以上的投资是用来购买设备，而国产设备的价格平均只有国外产品的1/31/2，采用国产设备辅以少量进口设备，可以将建线成本降低一半以上。清洗/制绒设备：单晶硅光伏电池槽式基本国产，多晶硅电池连续式进口居多当前环境下，国内清洗设备企业正直面生存和发展的问题。调查中发现，面对这场全球性的危机，电池清洗设备企业在担忧的同时，应对未来发展持谨慎乐观态度。担忧的是这场风险对那些发展不好、实力不强的企业影响很大，乐观的是清洗机行业仍然是全球和我国持续发展的新材料产业。过去几

24、年来，清洗机国内产量快速增长和外贸出口量不断加大，产业不断扩张，这造成了当前大量清洗机开始“倒向”国内市场。国内清洗机行业因国内外市场的需求萎缩，企业出现限产和停产的状况。在太阳能电池企业，目前在清洗制绒方式上采用的设备方式一般有三种：一种是效率不高但很实用的手动操作清洗设备;第二种是分体式全自动清洗，即清洗、制绒工序各用相关设备;第三种是目前较流行的一体式清洗机，从研磨片到电池片一步到位。以上三种方式各有利弊：手动操作尽管慢，但对于产量不大，人力成本低的厂家来说是很好的选择;分体式清洗机对硅片参数要求不高，效率也比较高，较容易找出电池片出问题的所在;一体式清洗机效率高，自动化程度高，但对硅片

25、尺寸要求严格，维护起来也不太方便。制绒工艺比较复杂，不同公司有各自独特的制绒方法。基本的工艺流程为：上料HF+HNO3腐蚀QDR+氮气鼓泡+喷淋KOH腐蚀QDR+氮气鼓泡+喷淋HCl腐蚀QDR+氮气鼓泡+喷淋下料离心机甩干(离线)。使用到的化学添加剂有两种，一种是IPA(异丙醇)，另一种是工业酒精。目前国内的清洗制绒设备以达到了国际先进水平，体现在以下方面：全程PLC控制，触摸屏操作;采用新型匀液及风道设计技术，降低清洗成本，减少污物的排放;新的密封隔离技术的使用，杜绝了生产过程中的微漏，保护整体电气系统的安全;槽体配置可实现腐蚀后残留在片子上的化学液及污染颗粒的冲洗祛除功能;大多采用机械手方

26、式移动，工艺时间可以自行调节;酸碱槽具有自动补液装置，可实现无间断生产;整个清洗、制绒过程中使用环保的清洗制绒液，降低了后续处理成本;最重要的是融合热氮烘干功能，取代甩干机，大大降低了碎片率。以上技术在调查中，基本以槽式机为主，在湿法制绒(连续式)及等离子(干法)制绒机方面国内正在研发，试验工艺已取得一定进展。国内清洗制绒设备企业国内清洗制绒设备生产企业有以下三种状态：一是从国有企业转型的老牌电子或半导体设备制造企业，代表企业有：中电四十八所(能提供完整的电池生产线)、西北电子装备技术研究所(中电二所)、中电四十五所、保定天威新能源等;二是新近崛起的典型电子或半导体企业，代表企业有：北京七星华

27、创、深圳捷佳创、北京华林嘉业、北京中联科利、苏州华林科纳、青岛赛瑞达等;三是水处理或超声波设备公司转型，代表企业有：深圳市恒通源、深圳市和科达、张家港声达超声设备、深圳市超纯水、深圳市纯水一号、张家港德科超声、上海睿鹏清洗设备等。扩散炉：经历了开管闭管全封闭扩散三个阶段，绝大部分电池企业采用国产装备上个世纪60年代由于国产光伏电池装备技术落后，无法满足电池工艺生产，一些电池厂家先后从国外引进了链式扩散设备。1965年以前，这是我国扩散炉出现阶段，扩散炉随着半导体工艺的产生而出现，这一阶段的国产扩散炉水平与国外水平差距不大。进入80年代我国电子工业专用装备取得长足进展，电池生产用扩散设备回到管式

28、扩散。2001年，中国电子科技集团48所与无锡尚德公司的携手合作拉开了我国光伏电池生产用扩散设备技术与配套工艺飞速发展的序幕。短短的几年时间里，我国光伏专用扩散设备经历了从处理125mm125mm、156mm156mm方硅片向210mm210mm方硅片跃进;扩散的质量从原来的单片和整管扩散均匀性在7%以内的水平，提高到目前单片和整管扩散均匀性在4%以内的国际先进水平;扩散方式从原来的开管扩散到现在的环保、洁净、节能、安全的全封闭扩散;单批次产能从原来的150片、200片、300片发展到日前的400片;控制方式从原来的手动、PLC半自动控制到日前的微机全自动控制。目前我国光伏电池装备市场上共有各

29、类扩散设备上千多管，其中85%左右以处理125mm125mm电池片为主，兼容156mm156mm电池片，这其中又有90%以上为微机自动控制设备，只有不到10%为手动或PLC半自动产品。技术特点在整机设备向全自动化、高生产效率、低成本扩散、操作人性化发展的同时，其核心单元技术如温度控制将不可避免地采用更精细的控制方式(内外热偶串级控制技术等)。通过对加热部件和负载同时监控，确保实际工艺温度长期重复、稳定可靠;工艺气体流量控制将从目前的模拟向数字MFC(质量流量控制器)发展，以实现更稳定的工艺气体流量控制。今后几年内，整机将向减压扩散、立式扩散、链式扩散等方向发展，以适应12”及更大尺寸硅片的工艺

30、要求，其单批次处理能力将达到更高的600800片/批次。国内扩散炉生产企业推荐1、中电四十八所(长沙)：中电四十八所事业二部承担着扩散炉等其他太阳能光伏设备的生产，2008年，成功研制出了新型闭管扩散炉全封闭推舟软着陆扩散炉，2008年销售数百台之多，截至目前市场占有率在80%左右。包括其他光伏设备在内，2008年销售收入达10、15亿元，新签单5亿多元。另外，2008年相继为江西佳辉、神州光电等单位数十条生产线提供了除丝印机之外的整线装备。今年一季度，中电四十八所销售额达到收入4、1875亿元，比去年同期增长70%以上，真正实现了在金融危机影响下弯道不减速。四十八所新型扩散炉，单管产能高达4

31、00片，在产能提高33%的同时，能源消耗降低50%以上，废气排放降低到原来开管扩散的1/10，能耗降低20%左右，平均单位扩散成本降低20%以上。成功突破了炉门自动密封、尾进尾出送气、废气自动收集、三维送片机构调整等多项关键技术。达到国际先进水平的大生产用新型太阳能电池生产专用扩散设备，价格却只有进口同类设备的1/3。2、北京七星华创：北京七星华创电子股份有限公司(简称“七星电子”)传承五十多年电子装备及元器件的生产制造经验，于2001年9月成立。七星华创于2007年研制出新型扩散炉，具有四套独立的工艺炉管，关键件全部采用进口件，采用进口智能控制器，可输出四个开关量，对炉温、阀门动作进行自动控

32、制，并管理全部工艺时序，可编辑存贮十条工艺曲线实现为实现闭管扩散工艺，所以必须进行炉口密封，在这方面，七星华创经过无数次的试验，包括数次失败的考验，最终解决了这个棘手的难题：即在没有任何水冷条件下，在工艺温度高达900时，采用普通氟橡胶密封圈能够使工艺管密封，并能够长期工作。3、株洲众欣科技：株洲众欣科技专注于磁流体领域，公司创办人罗喜梅女士是国内第一个把磁流体技术进行产业化生产并运用到真空领域的研发型企业家。2007年，众欣科技通过和国内的大专院校的多名专家学者细致交流，然后进行了大量的市场实际调查，众欣科技认为扩散在电池片当中，起到决定性的作用。从提高转换率以及降低生产成本出发，在现有市场

33、上使用的扩散炉技术方面进行了革新，成功研发出新型“气旋动态”扩散炉，截至目前已成功销售3台卧式“气旋”扩散炉。对于“动态”扩散的定义，众欣科技是这样解释的，这是一个相对的概念，主要是针对硅片而言，现在市场上的硅片在扩散的过程当中都是静止不动的，而众欣的动态扩散，就是硅片在整个扩散过程中是一个运动的状态。由于硅片主动地寻找扩散，而不是象原来的被动扩散，所以这个动态扩散的均匀性在远离上面确实可行，该扩散炉最大的特点体现在扩散的效果上：保持方块电阻片内均匀性在3欧姆之内，源的使用量减少使用量三分之一。今年七月，众欣科技将为湘潭一企业提供六管动态扩散炉，即25MW生产线。同时，根据市场的需要，众欣科技

34、也可以提供动态扩散改造服务，为电池片生产厂家节约大量的生产成本和运行费用。4、青岛赛瑞达：青岛赛瑞达设备制造有限公司由北京昊海立德科技有限公司注资的高新技术企业，是集开发、生产、销售为一体的专业厂家。具有自主研制、设计和开发半导体专用工艺设备、包装机械、智能化仪表等产品的能力，同时可根据用户的不同需求进行设计和开发，并且具备改造、装备国外二手设备的能力。该公司扩散炉为闭管磷扩散，带有工艺废气冷却定向回收装置，偏磷酸、CL2分开收集处理，工艺废气集中收集从尾部定向排出，各种工艺气体可分开送入石英管内，工艺气体(三氯氧磷)可采用喷淋式方式引入到石英管内，采用悬臂式推拉舟送取电池片，另采用侧面布局的

35、悬臂推拉结构，可有效的防止偏磷酸下滴，造成推拉机构受腐蚀，影响推拉机构的精确性。等离子刻蚀机干法腐蚀设备全部国产为主，少量湿法腐蚀设备需要进口由于在扩散过程中，即使采用背靠背扩散，硅片的所有表面包括边缘都将不可避免地扩散上磷。PN结的正面所收集到的光生电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到PN结的背面，而造成短路。因此，必须对太阳能电池周边的掺杂硅进行刻蚀，以去除电池边缘的PN结。通常采用等离子刻蚀技术完成这一工艺，等离子刻蚀是在低压状态下，反应气体CF4的母体分子在射频功率的激发下，产生电离并形成等离子体。等离子体是由带电的电子和离子组成，反应腔体中的气体在电子的撞击下，除了转变成离子外，还能吸收

36、能量并形成大量的活性基团。活性反应基团由于扩散或者在电场作用下到达SiO2表面，在那里与被刻蚀材料表面发生化学反应，并形成挥发性的反应生成物脱离被刻蚀物质表面，被真空系统抽出腔体。在等离子体刻蚀机使用过程中，等离子体不能一直保持在某一稳定状态，有许多因素会对刻蚀机系统产生扰动，如刻蚀机的定期维护(PM)、反应腔室内壁聚合物的沉积、设备部件的老化(传感器及各种其他容易磨损的部件)，以及未经测量的进入反应腔室的晶片状态的差异等。在不同的时间尺度范围内，刻蚀机产生漂移的原因是不同的，因而需要采用相应的控制类型加以控制。PM与PM之间，刻蚀机要经历定期的清洗、部件的更换和维修等，这些都能对刻蚀工艺产生

37、影响。刻蚀机定期维护的目的是让反应腔室每次都能恢复到同样的理想状态，而这通常是很难达到的。因而会在前一个刻蚀机定期维护快结束之时到下一次刻蚀机定期维护开始后的一段时间发生工艺状态的不连续。在一个刻蚀机定期维护周期之内，刻蚀机状态的改变主要是由于刻蚀产生的残余聚合物在反应腔室内的沉积，以及易损件及可更换部件的磨损所引起的。干法刻蚀(ICP)是目前主流的刻蚀设备工艺，它采用射频辉光放电将参与反应的化学气体电离形成等离子体，通过对刻蚀参数精确的控制和测量，把光刻形成的电路图转移到硅片上形成三维结构。其间融合了等离子体、射频、超高真空、自动化控制等多种尖端技术，是电池片制造过程中至关重要的一环。综观国

38、内刻蚀设备生产企业，具有以下特点：采用片架旋转密封技术，提高刻蚀的均匀性;硅片放置自动压紧技术，减少了钻蚀风险;ICP技术的形成及引入，提高了设备的各种效率;特别是大容量反应室的设计，大大提高了电池片的处理能力。国内等离子刻蚀机设备企业推荐1、中科院微电子研究所：中国科学院微电子研究所“六五”、“七五”、“八五”、“九五”一直承担等离子刻蚀技术领域的国家科技攻关项目。研究成功深亚微米刻蚀技术并先后研制生产了实验研究用RIE、MERIE和ICP高密度等离子体刻蚀机系列。该研究所的SE3型刻蚀机通过PLC完成刻蚀太阳能电池的程序控制功能，能完成除了装片和卸片以外的全部生产过程的连续动作和自动保护等

39、功能。具有良好的人机界面，使用方便、重复性好。另外，该机型因钻蚀引起的硅片边缘损耗小(约1mm左右)，有利于提高太阳能电池片的效率，且每批的一致性相当好，刻蚀片超过500片/次，工艺过程全部实现自动控制。2、中电四十八所：四十八所刻蚀机具有以下特点，采用立式感应耦合等离子体(ICP)技术;工艺过程全自动控制，压力闭环全自动控制;工艺重复性好，刻蚀速度快(6寸电池片1200片以上/每小时，5寸电池片2000片左右/每小时);批处理时间短、产量大;所有电气元件均采用插拔式，便于维修和更换;适用于大批量生产。真空泵是干泵，MFC、真空规等都是MKS的。如行业内知名的QCell、Sharp、BP等企业

40、都在用四十八所的干法刻蚀设备。3、武汉三工：三工相关负责人解释该公司刻蚀设备时讲道，三工的激光绝缘电池片刻蚀机可以代替等离子刻蚀，该设备采用半导体端面泵浦紫外激光器及扫描振镜输出方式，与生产流水线配合，自动上下料，自动进出料。CCD自动识别跟踪定位，可以满足生产线节拍(1200片/小时)。这是在电池片生产过程中少数的激光刻蚀设备。4、北京七星华创：七星华创生产两种类型的刻蚀机，分别为MCP刻边机及周边刻蚀系统。其中，MCP刻边机采用不锈钢材质做反应腔室，解决了同类产品石英腔体在使用过程中，频繁更换腔体带来的消耗，降低了维护成本。另外电极内置，克服了石英腔体外置电极在空气中易产生臭氧及射频泄漏的

41、危害，提供了良好的使用环境。电池片处理数量在400800片/批(特别适用于25MW30MW生产线)。周边刻蚀系统可处理硅片尺寸156156mm，处理能力在300片/小时，真空压力调节形式为自动。去磷硅玻璃(PSG)设备全部国产，基本以清洗设备制造企业为代表该设备用于光伏电池片生产制造过程中，通过化学腐蚀法也即把硅片放在氢氟酸溶液中浸泡，使其产生化学反应生成可溶性的络和物六氟硅酸，以去除扩散制结后在硅片表面形成的一层磷硅玻璃。在扩散过程中，POCL3与O2反应生成P2O5淀积在硅片表面。P2O5与Si反应又生成SiO2和磷原子，这样就在硅片表面形成一层含有磷元素的SiO2，称之为磷硅玻璃。去磷硅

42、玻璃的设备一般由本体、清洗槽、伺服驱动系统、机械臂、电气控制系统和自动配酸系统等部分组成，主要动力源有氢氟酸、氮气、压缩空气、纯水，热排风和废水。国产去除PSG设备关键件大多采用进口件，产能在18002400片左右/小时(大多适合于25MW30MW生产线)。国内去除PSG设备基本以本文上期介绍的清洗设备厂家生产为主，故不再概述。管式PECVD基本国产，平板式PECVD国内已研发出来，已面市PECVD设备，通过沉积氮化硅膜来实现太阳能电池减反射以及钝化的效果。利用高频电源辉光放电产生等离子体进行化学气相沉积的过程。其特点是电子密度高、电子平均能量大，富含大量化学气相沉积的活性粒子和自由基，并且沉

43、积温度低。在采用SiH4和NH3作为源气体沉积SiN-薄膜的过程中，由于大量氢原子的存在，使所生成的薄膜除了具有减反射性能外，兼具有良好的表面和体钝化性能，这是因为在离子的轰击下，氢原子更容易扩散进入薄膜体内，从而提高膜的体钝化效果。不仅如此，PECVD等离子体中由于含有高密度的离子，这些具有一定动能的离子对沉积的减反射钝化膜进行轰击，还会提高膜的质密性和应力。故PECVD设备是晶体硅太阳能电池生产线制备减反射钝化膜的主要设备。与此同时，PECVD设备也是整条太阳能电池生产线的核心设备之一，应用于晶体硅太阳电池生产线的PECVD设备价格已经占到了整条线设备价格的三分之一左右，是所有设备中比重最

44、大的一部分。国内第一台半导体用PECVD设备是由中科院沈阳科学仪器研制中心有限公司研发的，零部件国产化率达到了70%左右。目前市场上主流的PECVD设备技术按照反应器结构和等离子体发生源的不同，分为直接式PECVD和间接式PECVD。直接式即样品直接接触等离子体，样品或样品的支撑体就是电极的一部分;间接式或称离域式即待沉积的样品在等离子区域之外，等离子体不直接打到样品表面，样品或其支撑体也不是电极的一部分。直接式又分成两种：一种为管式PECVD系统，即使用像扩散炉管一样的石英管作为沉积腔室，使用电阻炉作为加热体，将一个可以放置多片硅片的石墨舟插进石英管中进行沉积。这种设备的主要制造商为德国的C

45、entrotherm公司、中国的第四十八研究所、七星华创公司。另一种为平板式PECVD系统，即将多片硅片放置在一个石墨或碳纤维支架上，放入一个金属的沉积腔室中，腔室中有平板型的电极，与样品支架形成一个放电回路，在腔室中的工艺气体在两个极板之间的交流电场的作用下在空间形成等离子体，分解SiH4中的Si和H，以及NH3种的N形成SiN-沉积到硅表面。这种沉积系统目前主要是日本岛津公司在进行生产。但与管式PECVD设备相比，平板式PECVD具备产能大、装卸片容易，易于自动化集成等优点，但到目前为止，国产设备市场上仍未真正出现相关的成熟产品，但国产样机已完成研发，单元技术获得一定的突破，部分关键零部件

46、仍然要依赖进口，工艺结果及稳定性有待进一步验证。在确保中低端设备持续向前发展的势头下，开发具有更高自动化水平和单机生产效率的高端设备，提高整线生产效率，降低生产成本，是太阳能电池制造设备发展的必然方向。大型平板PECVD设备的国产化，正令国内客户翘首以待。令人欣慰的是，国产平板PECVD设备的开发也确实正在紧锣密鼓的进行当中，由北京北方微电子公司进行的大型平板PECVD设备的自主研发，目前已经接近尾声，并于2009年第二季度推向市场。国产PECVD设备生产企业推荐1、北方微电子：北方微电子研发的平板型PECVD设备成膜的均匀性、折射率、减反射效果以及各种工艺技术指标都达到了世界先进水平，经过反

47、复测试，具有良好的稳定性和可维护性。采用独有的反应室结构设计，提升反应室内等离子场、温度场、流体场和压力场的均匀性，确保膜层具有优良性能。采用1010片的在线式架构设计，实现每小时1500片的设计产量;可扩展多工艺腔设计，按照客户需求实现更大产能。该产品于今年二季度末推向市场，北方微电子建立了专门的电池生产线用于该产品测试。2、中电四十八所：中国电子科技集团公司第四十八研究所2002年开始研制M822001/UM型生产型软着陆管式PECVD设备，经过大量工艺试验，多晶硅太阳能电池平均转换效率在14.5%15.5%之间，单晶硅太阳能电池平均转换效率在16%17%，基本接近国外设备的先进水平。该管

48、式设备采用了国内独一无二的、与国际先进水平相当的软着陆推舟送片、后电极自动连接、自动精密真空门等先进技术，在产能提高一倍的同时，使氮化硅成膜质量又一次得到提高，每管日产量4000片左右，目前已在多家太阳能生产线上使用，运行状况良好，在国内生产型设备中处于领先地位。3、北京七星华创：七星华创研究薄膜淀积技术和相关设备已多年，在“八五”攻关的工程中，研制生产的PECVD系统获得国家科技进步二等奖。但该公司以前的PECVD设备主要应用于IC行业，在此基础上七星华创对设备进行较大的改进以适应于太阳能行业。在做了大量试验并参考了国外设备之后，最终于2007年成功研制出了双管卧式热壁型PECVD设备，并在当年销售四台设备，销售收入超过500多万元。该设备采用石墨制作装片舟用来承载硅片，并根据实际使用情况不断改进其结构，逐步完善石墨舟的设计，使其更加适用于大规模太阳能电池生产线，目前每管生产率达96片/45min。在如何引入电极的方式上，也做了大胆的创新。该PECVD设备与进口同类设备所用的尾部电极引入方式不同，采用了由炉门处引入电极的前引入方式，此方式与电极后引入方式相比，引入结构更加安全可靠，尤其利于设备的维护。通过该设备在单/多晶硅基底上所生长的减反射膜，在片内、片间和批间的均匀性和一致性都达到了国际同类产品水平。该设备已成功应用于国内多家电池