纳米薄膜制备优秀PPT.ppt
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1、纳米薄膜制备第一页,本课件共有25页(1)纳米薄膜的制备方法 n()液相法 (a)溶胶-凝胶法该方法制备纳米薄膜的基本步骤如下:首先用金属无机盐或有机金属化合物制备溶胶,然后将衬底(如SiO2玻璃衬底等)浸入溶胶后以一定速度进行提拉,结果溶胶附着在衬底上,经一定温加热后即得到纳米微粒的膜膜的厚度控制可通过提拉次数来控制。n(b)电沉积法一般-族半导体薄膜可用此法制备。第二页,本课件共有25页(1)纳米薄膜的制备方法n()气相法n(a)高速超微粒子沉积法(气体沉积法)n基本原理是:用蒸发或溅射等方法获得超微粒子,用一定气压的惰性气体作载流气体,通过喷嘴,在基板上沉积成膜 第三页,本课件共有25页
2、(a)高速超微粒子沉积法 n美国喷气制造公司采用该工艺成功地制备出纳米多层膜,陶瓷-有机膜、颗粒膜等右图是他们采用气体沉积法中的多喷嘴,转动衬底制备微粒的示意图。第四页,本课件共有25页(a)高速超微粒子沉积法n日本真空冶金公司的Seichio Kashu等人用的设备如右图所示他们用此方法制备了各种金属纳米薄膜 第五页,本课件共有25页(b)直接沉积法 n是当前制备纳米薄膜普遍采用的方法,n基本原理:把纳米粒子直接沉淀在低温基片上n制备方法主要有三种:惰性气体蒸发法、等离子溅射法和辉光放电等离子诱导化学气相沉积法n基片的位置、气体的压强、沉淀速率和基片温度是影响纳米膜质量的重要因素第六页,本课
3、件共有25页()金属-非金属纳米复合膜的制备 n当C2H5+/Ar+10-2时,只获得组成基本上为金属的纳米粒子膜;C2H5+/Ar+=10-110-2时,可获得不同金属颗粒含量的膜。(美国IBM公司)第七页,本课件共有25页体积分数(volume fraction)变化 第八页,本课件共有25页()铜-高聚物纳米镶嵌膜的制备 n这种镶嵌膜(embadded film)是把金属纳米粒子镶嵌在高聚物的基体中n其装置的示意图如右图所示 第九页,本课件共有25页(c)气相法制备纳米薄膜的几个主要影响因素 n()衬底(基片)的影响(包括衬底材质的选择和温度的影响)n()制备方法的影响n 方法膜生长初期
4、的结构晶格常数()蒸发法fcc3.68离子束法fcc4.02磁控溅射法bcc3.32电子回旋共振等离子溅射法fcc4.08表表9-3 四种不同沉积法得的四种不同沉积法得的Ti纳米膜的结构纳米膜的结构第十页,本课件共有25页(2)纳米颗粒膜和多层膜 n颗粒膜是一类具有广泛应用前景的人工材料其特性随膜的组成、工艺条件等参量的变化而变化,因此可以在较多自由度的情况下人为地控制复合膜的特性 第十一页,本课件共有25页(2)纳米颗粒膜和多层膜n目前研究较为集中的颗粒膜大体有以下三类:n ()金属微粒绝缘体薄膜(例如:Fe-SiO2薄膜);n ()金属微粒半导体薄膜(例如:Ag-Cs2O薄膜);n (ii
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