透射电镜介绍精.ppt

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1、透射电镜介绍第1页，本讲稿共24页一一 概况概况透射式电子显微镜透射式电子显微镜(Transmission ElectronMicroscopes)简称透射电镜。原理：原理：利用磁透镜对穿过样品的电子束进行放大，这种电子束带有样品中的超微结构信息，可以在荧光屏上显示超微结构的放大电子图像。第2页，本讲稿共24页特点特点：分辨率高：H-9500可达0.10nm 放大倍数高：几百数十万倍 应用范围广：生物、医学、冶金、化学化工第3页，本讲稿共24页HITACHI H-7650第4页，本讲稿共24页HITACHI H-7700第5页，本讲稿共24页二二 结构结构1、电子光学系统、电子光学系统 照明系

2、统镜筒 成 像 系 统 观察记录系统电子枪聚光镜样品室物镜中间镜投影镜观察室照相系统第6页，本讲稿共24页结构第7页，本讲稿共24页1.1 照明系统照明系统n电子枪电子枪电镜以电子枪作为光源，相当于光学显微镜的照明可见光源。目前电镜大多采用由阴极、栅极和阳极阴极、栅极和阳极组成的三极式电子枪。第8页，本讲稿共24页第9页，本讲稿共24页阴极阴极 俗称灯丝，一般为直径0.12mm的钨丝钨丝制成弯曲或发叉式（也称V型）。通入加热电流时，灯丝尖端产生热电子发射，并在阳极电压作用下，将发射的电子加速到极高的速度。另外还有LaB6阴极和场发射钨场发射钨单晶单晶阴极，其亮度和寿命均优于前者。第10页，本讲

3、稿共24页栅极栅极 由一个中央孔径d=2mm的圆金属筒构成。栅极水平面与灯丝尖端的距离h=0.51mm，并且在栅极上加有相对于阴极的负电位，因此也称负偏压栅极，用于有效地控制阴极（灯丝）的发射电流。第11页，本讲稿共24页阳极阳极 阳极电位为零，相对于阴极是正的加速电压。通常几十千伏几百千伏，视不同要求而定，其作用是使电子加速。第12页，本讲稿共24页聚光镜聚光镜聚光镜的作用聚光镜的作用是将电子枪所发射的电子束会聚在样品上，控制照明亮度、电子束斑的大小及孔径角。构成：构成：电磁透镜、聚光镜光阑、偏转线圈、消像散器等组成。第13页，本讲稿共24页Overfocused Focused Under

4、focused (Second condenser lens)第14页，本讲稿共24页1.2 成像系统成像系统成像放大系统成像放大系统是电镜获得高分辨率和高放大倍数的核心组件。一般由物镜、中间镜物镜、中间镜和两个投影镜和两个投影镜组成。可通过调节中间镜和投影镜的电流来改变不同的放大倍数，改变物镜电流对图像进行聚焦。装上有关附件，还可进行扫描、电子衍射和能谱分析等方面的观察和测试。第15页，本讲稿共24页物镜物镜(Objective lens)物镜物镜(Objective lens)是成像放大系统的第一级成像透镜，其作用是将样品信息作初级放大，一般放大倍数为50倍。第16页，本讲稿共24页物镜光

5、阑物镜光阑(Objective aperture)Remove aperture Insert aperture第17页，本讲稿共24页中间镜中间镜(Intermediate lens)中间镜和投影镜的作用中间镜和投影镜的作用是将来自物镜的初级像逐级放大，最后成像于荧光屏上。其结构与物镜基本相似，中间镜中间镜是长焦距弱磁透镜，投影镜投影镜是短焦距强磁透镜。利用改变中间镜和第一投影镜的电流来控制总放大倍数。第18页，本讲稿共24页投影镜投影镜(Projector Lens)第19页，本讲稿共24页1.3 观察记录系统观察记录系统n荧光板n双目镜n底片盒n底片传送装置n控制暴光装置第20页，本讲稿

6、共24页2 真空排气系统真空排气系统真空系统的作用真空系统的作用是使镜筒内部处于高真空状态，也是决定电镜能否正常工作的重要因素。如果真空度差，则：(1)导致气体分子与高速运行的电子相互作用而随机地散射电子，降低图像的反差。(2)电子枪中所残存的气体分子会产生电离而放电，引起电子束发射不稳定或“闪烁”。第21页，本讲稿共24页(3)残余气体与热灯丝作用，缩短灯丝寿命。(4)残余气体聚集在样品上会污染样品。真空系统包括：真空系统包括：机械泵、扩散泵等真空检测装置阀门和控制系统第22页，本讲稿共24页3 电气系统电气系统n高压电源n透射电源n偏转线圈电源n真空系统电源n照相系统电源n安全保护电路第23页，本讲稿共24页 谢谢谢谢第24页，本讲稿共24页