陶瓷晶界和各类固体分界面精.pptx

《陶瓷晶界和各类固体分界面精.pptx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《陶瓷晶界和各类固体分界面精.pptx（49页珍藏版）》请在淘文阁 - 分享文档赚钱的网站上搜索。

1、陶瓷晶界和各类固体分界面第1页，本讲稿共49页陶瓷晶界和各类分界面第2页，本讲稿共49页一、陶瓷晶界 陶瓷是一种多成分多晶(或微晶)体系.一般来说，陶瓷的晶界比金属和合金的晶界要宽，结构和成分都相当复杂。除了在上面已介绍过的一般晶界的特性外，还有如下一些特征。（1）陶瓷主要由带电单元(离子)，以离子键为主体而构成。离子晶体中的带电结构单元要影响晶界的稳定性。由氧化物、碳化物和氮化物等形成的陶瓷，它们的离子键在晶界处形成的静电势，对陶瓷的电学、光学等性质会产生重要的影响。静电势强烈地受缺陷类型、杂质和温度的影响。第3页，本讲稿共49页（2）陶瓷中杂质含量明显高于金属和元素半导体，如Si的纯度可达

2、999999999以上，而目前很多陶瓷材料的纯度为96左右，一般所谓的超纯陶瓷粉体，其纯度也仅为9999.9.第4页，本讲稿共49页 (3)陶瓷中的少量添加剂(掺杂)对晶粒尺寸与晶界的性质会起到决定性的作用。S.Lartigue和Priester在9996纯度的氧化铝中掺入500ppm(重量比)的MgO在1500热压烧结，发现掺杂与不掺杂的氧化铝陶瓷的三叉点晶界均有高介电常数的片状P相偏析物，但它们的晶粒大小和晶界性质有明显区别，掺Mg的氧化铝陶瓷晶粒尺寸为0.5-1um。有小的晶粒间空洞，有一定数量的位错线。纯氧化铝陶瓷的晶粒尺寸为10一50um，还有一些异常长大的晶粒，这些晶粒在垂直受压方

3、向上出现较多。第5页，本讲稿共49页 S.Lartigue将陶瓷的晶界分为“特殊”晶界(special GB)和般晶界（general GB)二种类型。“特殊”晶界属于重合晶界：小角度晶界、重合位置点阵(CSL)晶界、重合转轴方向(CAD)晶界等，这些都是低能晶界。一般晶界属于接近重合晶界：由失配位错等组成，它的晶界能略大于“特殊”晶界。由扫描电镜分析，掺Mg的氧化铝中的晶界有一半以上是“特殊“晶界，而纯氧化铝中只有10%左右的“特殊”晶界。大部分的晶界是接近或平行于密堆积（0001)面。第6页，本讲稿共49页 由失配位错组成的普通晶界(这类晶界在掺Mg的氧化铝中不到10%)，正是由于掺杂Mg

4、氧化铝陶瓷由很多低晶界能的“特殊”晶界所组成，所以这种材料具有很好的稳定性。持别是在高温下，晶粒不会明显增大、晶界也不易移动，所以掺Mg氧化铝陶瓷柱高温时能承受大的压应力.（4）许多陶瓷中点缺陷的形成能甚高(约7eV)，对于这样数值的形成能，即使到1800 本征点缺陷（热缺陷)浓度才10-9 数量级，远低于杂质浓度.第7页，本讲稿共49页 （5）在氧化物陶瓷中(特别是由过渡金属氧化物组成的陶瓷)，经常会发生化学计量偏离(主要是形成氧空位所致)，所以陶瓷晶界处的化学计量偏移明显地会受到氧分压和温度的影响。(6)陶瓷晶界处往注有大量杂质凝集，当杂质聚到定程度，会有新相产生，新相又称为晶界相。Bi2

5、O3、SiO2和Sb2O3等常常在Zno晶界生成晶界相；SiO2和Cr2O3等在锰锌铁氧体中也生成晶界相.杂质在陶瓷晶界的分布如下图所示。第8页，本讲稿共49页第9页，本讲稿共49页二、分界面 分界面（interface）是指两个或数个凝集相的交界面。按照此定义，晶粒间界和相界都应算作分界面。但是在目前的许多技术资料中的分界面通常用来指两种不同相间的有规则界面。interface也译为界面或内表面。从工艺角度来看，分界面有：(1)由氧化、腐蚀、粘连等化学作用生成的分界面；(2)由真空淀积(蒸发、溅射)、化学气相沉积、热压、界面扩散等形成的固态结合分界；(3)液相沉积和凝固共生的分解面；(4)熔

6、焊或粘接的分界面等。第10页，本讲稿共49页1、Si-SiO2分界面 目前硅的完整性和纯度已达到很高的指标，加上超纯氧和洁净生产条件，出热氧化生成的SiO2纯度很高，故Si-SiO2分界面能做到可控，而且可排除非本征因素，为理论研究提供十分有利的条件。Si-SiO2与器件和电路的性能、成品率、可靠性等都有直接的关系.因此人们非常重视对Si-SiO2分界面的研究，这种界面是日前研究最多、了解最清楚的一种分界面。第11页，本讲稿共49页（1）Si-SiO2分界面的结构Si-SiO2分界面的结构有一下三种模型：(1)三层模型：从Si到Si02不是一个突变层，而是由三层组成。第一层基本上是Si晶体，但

7、存在有较多缺陷；第二层是比较完整的Sio2，厚度约为几个原子距，具有二维晶格结构；第三层（最外层）是非晶态的Sio2网格。(2)迪安(Deal)模型。Si-SiO2的分界面也由三层组成。与(1)的不同之处是，中间的Sio2缺氧较多，有相当数量的不饱和键，第三层也是非晶态的Sio2网格。Deal模型可以解释Mos结构中的很多现象。第12页，本讲稿共49页(3)约翰尼森(Jnhnnessen)模型.本模型认为，Si-SiO2分界面的界面是不平坦的，界面域内有硅夹杂物(硅岛），过渡区的组分是Siox(1x2)。对于厚度为1000的的SiO2膜，不平整度达20，硅岛由几个硅原于到几十个硅原子组成，总的

8、过渡区约35。Johnnessen模型能较好地解释Si-SiO2分界面的许多现象。第13页，本讲稿共49页（2）、Si-SiO2分界面附近的缺陷 在靠近Si的一侧其缺陷主要是热氧化层错(是在正常堆垛上多加入一层原子所致)。热氧化层错主要因表面损伤、硅中的氧空位、旋涡缺陷和辐射损伤缺陷等引起。SiO2中的Si小岛和SiO2小岛等也会感生出层错。在靠近Si02的一侧其缺陷有针孔、裂缝、空洞和金属夹杂物等宏观缺陷，氧空位、硅空位、填隙氧、非桥氧(Si-O离子)等微观缺陷。第14页，本讲稿共49页（3）、Si-SiO2分界面处的杂质 杂质对界面的电学、光学等性能起着关键的控制作用。Si-SiO2分界面

9、处的杂质大致有以下三大类：(1)氧、氯、氟等非金属杂质离子，(2)金、铯、铍、镁、铬、镍等金属杂质离子，(3)磷、硼、镓、砷等硅的施主或受主杂质离子.以上的杂质有的是有意掺进去的，有的是试剂污染或操作污染。当然以上的杂质同样也存在于体内，由于界面偏析效应，它们在界面的浓度会远远超过体内，从而发生附加的效应。第15页，本讲稿共49页杂质在分界面外的作用有：(1)使界面可动离子电荷密度Nm，发生变化Na+、H-等使Nm增大，而Cl-使Nm减小 （2）Au、Cs、B、P等杂质能引起固定氧化物电荷Nf变化。(3)Cr、Au、Ni等杂质具有多重能级除引起界面态变化外，还可形成杂质界面陷阱。(4)引起界面

10、附近缺陷数量变化，如Cl-可以明显地减少热氧化层错。第16页，本讲稿共49页2、硅-金属分界面 硅和一些金属间的分界面，是硅器件和集成电路中的互连(欧姆接触)和形成Schottky二极管势垒(阻挡接触)时经常遇到的，是硅器件研制中的一个重要课题。硅金属分界面：Shockley 和Bardeen的观点，认为是一种金属半导体的突变结.近年来通过表面 分析技术，发现金属-半导体的分界面并非是突变区。在该处由于原子间的互扩散，形成了一个有一定宽度的过渡区.第17页，本讲稿共49页 研究表明:Si能与很多金属发生反应，生成各种形式的金属硅化物。Pt、Pd、Ni等金属，在300 附近就能与Si化合，Ta、

11、V、W等耐熔金属要在高温才与Si化合。当贵金属(如Au)和难熔金属(如w)均匀地淀积在Si表面后，在热处理时，首先生成硅化物；随着温度升高，再生成难熔金属硅化物，同时发生不同硅化物间的相分离，但没有发现有三元系存在。当硅片上淀积WTi等难熔金属后，再经700热处理就形成TiW-Si三元系。第18页，本讲稿共49页 对于淀积在Si片上的Ni-Pt合金层，研究中发现，首先生成NiSi化台物，这样合金中的Pt成分就会不断增加，在高温或长时间热处理后，Pt就会穿过NiSi层，进入NiSisi的分界面，使Shockley势垒高度发生变动。刚淀积在硅片表面的金属硅分界面，可以近似地认为是一个金半突变给.这

12、样的表面一致性很差，所以未经热处理的金-半Shockley的势垒高度和形状随试样不同而有明显的差别。第19页，本讲稿共49页下图为硅-金属分界面热处理前后的情况。第20页，本讲稿共49页3、金属薄膜间的分界面 在固体集成电路和混合集成电路中，互连或导电带都是采用的金属材料。作为导电带在电路和制造过程中对它有很多要求。首先是导电性能好，其次还有附着力好、抗电迁移、抗蚀、抗氧化、具有焊接相容性、老化性能好等工艺要求，还要来源丰富、成本低。显然，以上这些要求用一种金属是很难满足的，故般采用多层结构。典型的例子如下：双层的：TiAu、CrAu、NiCr-Au、AlAu等 三层的：Ti-PdAu、Ti-

13、Pt-Au等；多层的：Ti-Cu-Ni-Au、Ti-Pd-Cu-Ni-Au等。第21页，本讲稿共49页（1）、双层导电带 CrAu双层金属膜是我国混合集成电路中普遍采用的薄膜导电带.Cr与衬底有良好的附着性、Au具有优良的导电性，能抗蚀抗氧化，所以CrAu是比较理想的双层导电带。近年来发现CrAu导电带有以下缺点：Cr在高温时很快往Au中扩散，使导电带电阻增加；另外Cr还会进入表面并进一步氧化，生成Cr2O3，这样整个导电附着性能变差，使噪声电平增大；焊接性能明显下降。第22页，本讲稿共49页经AES和XPS等分析，CrAu导电带在不同条件下退火时会发生如下图所示的过程.第23页，本讲稿共49

14、页 金属界面的另一种现象是生成金属间化合物。对于TiAu膜的内表面，如果Au和Ti的厚度相当、首先生成Au2Ti，这样界面附近Au就逐渐不足，余下的Ti和已生成的Au2Ti就继续发生反应，生成AuTi和AuTi2等相。对于Au厚度为10000(1um)、Ti厚度为1000的Ti-Au导电带(这与实际使用的Ti-Au导电带的组成类似)，热处理时主要形成Au4Ti相。Ti-Pt系的金属间化台物有PtTi3、PtTi2、PtTi和Pt3Ti等。第24页，本讲稿共49页（2）、多层导电带 微波电路中的导电带要求有一定厚度(约10um)，目前常用蒸金后再电镀加厚，这样会使导电带成本增加。研究表明，在Cr

15、-Au或Ti-Au等双层金属膜中间增加一层或几层铜、镍之类的贱金属，其微波传输性能基本不变，但成本明显下降。为了使焊接性能好，导电薄膜与焊锡有良好的润湿性，就要求在焊接时导电薄膜要微溶于锡。第25页，本讲稿共49页 如果溶解度太大，溶解得太快、则导电带的焊接部分全部被溶掉(俗称被锡“吃掉”)，这种现象称为浸滤。使焊接性能变差（或根本焊不上)，CrAu导电带就容易发生浸滤，因此只能采用快速焊接，这样就使C rAu导电带的焊接性能不够理想。TiAu导电带在焊接时也会发生类似的浸滤现象。Ti、Pd-Au和TiPtAu三层导电带基本上解决了浸滤问题。如果在CrAu导电带中间加一层Pd或Pt，就能明显改

16、善焊接性能。Ni在SnPb焊料中扩散较快，如果在Au膜下增加一层Ni，就能减少浸滤。Ti-Cu-Ni-Au和Ti-Pd-Cu-Au多层导电带结构既能减少浸滤，又能降低成本第26页，本讲稿共49页 含Ni导电带有二个不足之处。(1)Ni在热处理时(4252分钟、35010分钟)会沿着Au的晶界扩散到表面，生成Nio，Nio与焊锡的润湿性较差，必须用强清洁剂(如热草酸或焊药等)来清除Nio，这样会使整个电路可靠性下降。(2)温度试验中发现，高于150 时，焊锡中的Sn会溶于Ni中，生成Sn-Ni金属间化合物，若焊接时间较长，就会把纯Ni耗，如果Ni的下层是Cu，则Sn又继续把它耗尽，会使焊点强度下

17、降10；如果Ni的下层是不溶于Ni-Sn金属间的化合物材料(如W等)，则多层导电带的附着力变差。第27页，本讲稿共49页4、金属-非金属分界面 金属-非金属分界面是许多技术领域都感兴趣的一个课题。如金属的腐蚀与它表面生成的氧化物的附着力和稳定性有非常密切的关系；在催化过程中，金属被附着在氧化物颗粒上；在电子元器件的电接触和包封中，金属和陶瓷间的附着力起着决定性的作用。下面着重讨论金属与氧化物、陶瓷等非金属交界面的持性。第28页，本讲稿共49页（1）、金属非金属交界面的结构 以Ni/Mg0的交界面为例：Ni具有自清洁(self-clean)能力，容易得到“清洁”的NiMg界，避免非本征因素的影响

18、，本例中Ni的纯度为999、Mgo为单晶，纯度9999%，采用(001)面MgO很稳定，表面能为12Jm-2。样品经清洁处理，在10-3 真空度下，经1300 和350热压2小时（键合力12MPa，Ni的熔点1453）。Ni为fcc结构，Mg0为岩盐(Nacl)结构。晶格常数分别为：aNi352aMgO4.21，晶格失配较明显。这两种材料的热胀系数比较接近(Ni、13310-6K-1；Mg0、13610-6 K-1)，故热应力较小。第29页，本讲稿共49页 经过透射分析电镜，能量色散X射线谱等观察分析，NiMg0界面有如下特征：(1)Ni和Mg元素的混合区约小于40nm。(2)在交界区，Ni发

19、生了重结晶，(001)Mg0平行于(021)Ni、100Mgo平行于100Ni，010Mg0平行于012Ni，这种结构关系有利减小界面自由能。(3)交界区产生的失配位错集中在不到1nm的范围。(4)在靠近Ni的20nm区域内发现有NiO微晶、其尺寸约10nm。(5）Ni和NiO微晶间的关系为(121)NiO平行于(011)Ni，(111)NiO平行于(100)Ni，(101）NiO平行于(011)Ni。第30页，本讲稿共49页 G.Tremauilies和比R.Postiere报导了Zr02/A1界面的研究结果。他们用99.999铝单晶（111）面和（110）面，掺8铱的氧化锆，在590 温度

20、(A1的熔点为660)，用60MPa热压4小时，形成中Zro2Al界面。G.Tremauilies发现，在样品的中部Al仍是单晶，但在周围和角上，铝成为小角度晶界的多晶.界面ZrO2近侧发现3的Al；在Al侧有1的Zr和Al2O3。他们认为在590时可能发生了以下反应.第31页，本讲稿共49页（2）镜象作用与金属非金属界面的附着力.附着力的来源有两种：(1)金属非金属间发生了键合作用；(2)机械锁定(localm)作用.对于在温度不太高(500)，淀积在玻璃衬底或陶瓷衬底上的金属膜来说，附着力的来源一直认为是化学键力或vanderwals色散力的作用。其实在金属非金属附着时，镜象作用(imag

21、e interaction)有重要贡献。第32页，本讲稿共49页镜象作用的基本概念 在电学性质上，金属与非金属分界面两边的介电常数非常不匹配。金属的相对介电常数 可看作无限大，而一般的氧化物的 大概是10左右。非金属材料主要由离子键组成、其小的缺陷和杂质都带电。对于 一个平面状的界面。两边的介常数分别为 和 ，存在电荷Q，距界面的距离为d。由镜象作用引起的附加界面能Em为.第33页，本讲稿共49页 对于自由表面(1)，则Em0、即附加能或镜象作用是排斥性的，增加了表面的不稳定。界面的附着力由界面结合能W决定 W=om+o+m 式中om是金属-非金属界面能，o和m为氧化物和金属的表面能。Em项对

22、om 和o加均有贡献，能使W减小。虽然镜象引力对金属-金属间的附着很重要，但很多资料不予讨论。这主要是因为无法从定量上来处理界面附近带电缺陷和杂质的浓度和分布。第34页，本讲稿共49页 离子化合物或部分离子化台物靠近金属时，镜象引力有两种来源：化合物中的离子电荷靠近金属而获得稳定化；离子晶体中带电的缺陷靠近其表面时，会产生吸引作用.当氧化物表面存在有可极化的金属时，能量会降低；如果是不可极化的自由空间，能量就要升高。镜象作用表达式在a2时仍有效。距离进一步减小时，会由于离子晶体与金属的电子云重叠而产生巨大的排斥力.第35页，本讲稿共49页金属-非金属界面的附着 对于一个没有明显互扩散和固相反应

23、的金属非金属界面来说，镜象作用对附着力起着关键作用。NiO具有岩盐结构，其(100)面上正负离子交错排列，整个面呈电中性，故当与金属接触时，不会有明显的镜象作用，附着力的来源主要是vander waIs作用。经计算，金属与NiO(100）间的附着力为0.74Jm-2。在(110)面上，则可能是正离子层，也可能是负离子层，即NiO沿110方向是由(110)面正、负离子分层交叉排列的。当NiO(110)与金属接触，会有显著的镜象作用。金属和NiO(110)面的附着力为133Jm-2，几乎是(100)面的一倍。第36页，本讲稿共49页非金属材料中的带电空位、填隙离子和杂质，都会通过镜象作用对附着力作

24、出贡献.第37页，本讲稿共49页 实验中发现，如果液体金届与氧化物间的润湿性好，附着力就大。进一步研究表明，润湿性与vander waals色散力无直接关系，与金属本身无关，由氧化物性质决定。如果氧化物中容易发生无序或非化学计量比，金属非金属界面的润湿性就好。NiO、UO2和V2O3容易产生缺陷或离子变价，所以它们的润湿性比Mg0、ThO2和Al2O3要好。水在纯硅的表面是不润湿的，如果硅表面生成一层厚于40的氧化硅，就能完全润湿。Willimas和Goodman在实验中发现硅与水的接触角随氧化第38页，本讲稿共49页 硅厚度的增加而增大。这一关系至今还没有可倍服的解释，但可以唯象地认为衬底中

25、的电荷有一定关系。衬底中的电荷，通过镜象作用对 om 和 o 起作用。随着氧化硅厚度的增加，缺陷（电荷)也相应增加。经过估算，只要在表面层下1013cm2量级的电荷密度，就能够完全润湿水。实验中发现：氧比硅中的电荷态高温时距表面3.2，低温时为5.4，一般认为氧化硅中的电荷主要是F，它是HF腐蚀硅后残留在表面区的.第39页，本讲稿共49页辐射增强作用 实验证明，经过辐射的界面，附着力都有明显增加。特别对于金属聚合物界面和聚合物-聚合物界面，附着力的辐射增强作用更为显著。辐射会在聚合物和晶体中产生自由基或各种缺陷，它们往往是带电的，这样就会发生镜象作用，增强界面附着力。金属：非活性金属、相对非活

26、性金属、活性金属 第40页，本讲稿共49页 Au是非活性金属的代表、它淀积在氧化物或陶瓷衬底上的附着力比相对活性金属(CuAg)和活性金属(Al及Fe等过渡金属)要差得多。以前认为，Au与陶瓷间的附着力是vander waals力，后来经过仔细分析，发现尽管附着力小，但其数值比出vander waals色散作用估计的要大。这就意味着在金陶瓷附着力中，镜象作用仍有贡献。第41页，本讲稿共49页 镜象作用的来源是淀积过程中形成的一定数目的带电缺陷。溅射及离子镀比真空蒸发更容易产生带电缺陷.淀积过程中带电缺陷首先在晶核处形成，在生长过程中也有可能发生，故带电缺陷与膜的厚度有关。带电缺陷通常属于非平衡

27、缺陷，温度对它有很大影响。因此附着力的辐射增强效应与热处理有关，而且有明显的老化效应.第42页，本讲稿共49页静电键合 静电键合也称阳极键合.在键合过程中，金属与玻璃(陶瓷)两边加上电极，金属接正电压。经过一定时间，除去电压，金属与玻璃(陶瓷)间的附着力明显增加。这是由于玻璃和陶瓷内的活动性强的带电缺陷，在电场作用下，逐步迁移到金属-玻璃(陶瓷)界面的金属侧，发生镜象作用，使附着力增加.常用静电键合法来粘接非活性金属同陶瓷相玻璃的界面.阳极电火花淀积技术：可将陶瓷、氧化物淀积在Al、Ta、Nb、Ti、Ni和Cu等导电的衬底上.第43页，本讲稿共49页5、金属-聚合物分界面 随着微电技术的发，大

28、规模集成电路为了提高集成度相封装密度，在芯片设计上采用多层金属化结构。在交叉过程中，多层金属化结构中有很多金属绝缘体界面，它们对器件和电路的性能、成品率、可靠性等起决定性作用.陶瓷：优良的机械强度、热稳定性。不足：介电常数高，不能再高速电路中被采用；表面很难形成小于10um左右的细条图形，影响封装密度。聚合物：介电常数适合，可以通过光刻方法，在表面形成1um左右的细线条，适合高速电路和高密度封装。不足：机械强度、耐热性差第44页，本讲稿共49页 现代微电子技术的发展趋势是将陶瓷和聚合物混合起来使用，这样可发挥各自的优点。用于封装密度大、运算速度快的超大规模集成电路和研制三维元器件.Cr、Cu两

29、种金属与聚酰亚胺(简标PI)构成的界面，Cr、Cu代表两种典型。Cr容易与PI发生反应而Cu几乎不与PI发生反应。金属中原子排列是长程有序，聚合物中结构疏松，大分子卷曲，原子排列无序.金属聚合物界面是一个“突变结”，在晶格常数、热膨胀系数和介电常数三个方面都是严重失配的。金属和聚合物的热胀系数注往可差12个量级。温度变化时，界面处的热应力有时这注会超过金属的屈服应力，所以要求金属和聚合物间有很强的附着力。第45页，本讲稿共49页 CuPI界面是在300 下慢速蒸发Cu而形成，蒸发速率大约每分钟一个单层。由电镜照片可以观察到许多Cu原子迁移到PI中去，在靠近PI一侧聚结，聚结体的尺寸很小，经衍射

30、图形证实这些Cu聚结体是单晶颗粒。在300 温度时，Cu还能穿过PI到达另一个PI衬底的界面，聚结和钉扎在Pt衬底界面上。Cu在PI中有很高的扩散速度；能穿过PI进入PI/衬底界面和自行聚结，这表明Cu之间的结合能大于Cu和PI间的作用能，这就意味着Cu和PI间不会发生明显的化学反应.第46页，本讲稿共49页 对于在相同条件下形成的CrPI界面、Cr在PI的表面分布均匀，没有发现Cr穿进PI中生成聚合体等情况。这表明Cr与PI发生了化学反应，阻止Cr往PI中扩散。用UPS和XPS观察，证实Cr首先同PI中的PMDA碎片形成Cr-聚台物络合体。然后又与ODA碎片生成另一种络台体，反应时伴随电荷从Cr原子往PMDA-ODA单体上转移，形成一个明显的CrPI分界面。第47页，本讲稿共49页 另外的金属-聚合物分界面还有Al/PI和Ni/PI，Al的性质接近于Cr，即使在慢速蒸发下可以在PI表面形成均匀的Al膜。在300 时，Al在表面聚结成小岛状。Ni的性质类似于Cu，它能穿进PI中聚结成Ni原子簇，这种情况在低蒸发速度和高淀积温度时更易发生.金属与聚合物的反应程度对金属聚合物界面的结构有决定的作用。某些金属能在聚合物膜中穿透的性质，会使薄膜聚合物用作电容器和绝缘膜时产生一些不良现象，也可能带来新的效应.第48页，本讲稿共49页第49页，本讲稿共49页