磁电式传感器精选课件.ppt

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1、关于磁电式传感器第一页，本课件共有43页5-1 5-1 霍尔传感器霍尔传感器 霍尔传感器是利用霍尔元件基于霍尔传感器是利用霍尔元件基于霍尔效应原理霍尔效应原理而将被测而将被测量，如电流、磁场、位移、压力等转换成电动势输出的一种传感器。量，如电流、磁场、位移、压力等转换成电动势输出的一种传感器。一、霍尔效应一、霍尔效应 霍尔效应是导电材料中的电流与磁场相互作用而产生电霍尔效应是导电材料中的电流与磁场相互作用而产生电动势的物理效应。动势的物理效应。置于磁场中的静止载流体中，若电流方向与磁场方置于磁场中的静止载流体中，若电流方向与磁场方向不相同，则在载流体的垂直于电流与磁场方向所组成向不相同，则在载

2、流体的垂直于电流与磁场方向所组成的两个侧面将产生电动势。这一现象为美国物理学家爱的两个侧面将产生电动势。这一现象为美国物理学家爱德文德文霍尔于霍尔于1879年发现，称为霍尔效应，相应的电动势称为霍年发现，称为霍尔效应，相应的电动势称为霍尔电势。尔电势。第五章第五章第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器第二页，本课件共有43页bdVHIlBvFF称为霍尔系数，它是由基片材料的物理性质称为霍尔系数，它是由基片材料的物理性质决定常数；决定常数；灵敏度系数，表示在单位磁感应强度和单位灵敏度系数，表示在单位磁感应强度和单位控制电流时的霍尔电势大小。控制电流时的霍尔电势大小。当磁场

3、感应强度当磁场感应强度B和霍尔片平面和霍尔片平面法线成角度法线成角度时时,霍尔电势为：霍尔电势为：第五章第五章第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器l设为设为N型半导体，型半导体，载流子为电子。载流子为电子。第三页，本课件共有43页 霍尔式传感器是利用霍尔元件基于霍尔效应原霍尔式传感器是利用霍尔元件基于霍尔效应原理而将被测量，如电流、磁场、位移、压力等转换理而将被测量，如电流、磁场、位移、压力等转换成电动势输出的一种传感器。成电动势输出的一种传感器。优点：优点：结构简单，体积小，坚固，频率响应宽，结构简单，体积小，坚固，频率响应宽，动态范围大动态范围大,无触点无触点,使

4、用寿命长使用寿命长,可靠性高可靠性高,易微型易微型化和集成电路化。化和集成电路化。不足：不足：温度影响大，要求转换精度较高时必须温度影响大，要求转换精度较高时必须进行温度补偿。进行温度补偿。第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器第四页，本课件共有43页霍尔元件霍尔元件砷化钠霍尔器件砷化钠霍尔器件温度系数小，灵敏度高，线性度好，温漂小，稳定性高，体积小第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器第五页，本课件共有43页二、霍尔片主要技术指标二、霍尔片主要技术指标 1、额定激励电流、额定激励电流 IH 使霍尔片温升使霍尔片温升10所施加的控制电流值。所施加的控制电流值。（限制额定激励电流的主要因素是散热

5、条件）（限制额定激励电流的主要因素是散热条件）2、输入电阻、输入电阻 Ri 控制电极间的电阻值，规定在室温（控制电极间的电阻值，规定在室温（205）的）的环境温度中测取。环境温度中测取。指霍尔电极间的电阻值，规定在（指霍尔电极间的电阻值，规定在（205）条件下）条件下测取。测取。3、输出电阻、输出电阻 RS第五章第五章第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器第六页，本课件共有43页4、不等位电势、不等位电势V0及零位电阻及零位电阻r0 当控制磁感应强度为零，控制电流为额定值当控制磁感应强度为零，控制电流为额定值IH时，霍时，霍尔电极间的空载电势称为不等位电势（或零位电势）

6、。尔电极间的空载电势称为不等位电势（或零位电势）。第五章第五章第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器不等位电势也可用不等位电阻表示：不等位电势也可用不等位电阻表示：零位电阻零位电阻 第七页，本课件共有43页产生不等位电势的原因主要是：产生不等位电势的原因主要是：霍尔电极安装位置不正确（不对称或不在同一等电位面上）；霍尔电极安装位置不正确（不对称或不在同一等电位面上）；半导体材料不均匀造成了电阻率不均匀或是几何尺寸不均匀；半导体材料不均匀造成了电阻率不均匀或是几何尺寸不均匀；控制电极接触不良造成控制电流不均匀分布等。控制电极接触不良造成控制电流不均匀分布等。（均是制造工艺

7、造成的）（均是制造工艺造成的）第五章第五章第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器第八页，本课件共有43页三、霍尔片的电路三、霍尔片的电路 1、不等位电势的补偿、不等位电势的补偿 由于不等位电势与不等位电阻是一致的，因此由于不等位电势与不等位电阻是一致的，因此可以用分析其电阻的方法来进行补偿。可以用分析其电阻的方法来进行补偿。第五章第五章第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器第九页，本课件共有43页ABCDIR1R2R3R4 补偿原理补偿原理：将将R1、R2、R3、R4其视为其视为电桥的四个臂，即电桥不平电桥的四个臂，即电桥不平衡，为使其平衡可在阻

8、值较衡，为使其平衡可在阻值较大的臂上并联电阻，或在两大的臂上并联电阻，或在两个臂上同时并联电阻。个臂上同时并联电阻。图中图中A、B为为控制电极控制电极，C、D为为霍尔电极霍尔电极，在极间，在极间分布的电阻用分布的电阻用R1、R2、R3、R4表示，理想情况是表示，理想情况是R1R2R3R4，即零位电势为零（或零位电阻为零）。，即零位电势为零（或零位电阻为零）。但实际上存在着零位电势，则说明此四个电阻不等。但实际上存在着零位电势，则说明此四个电阻不等。第五章第五章第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器第十页，本课件共有43页第五章第五章第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器

9、磁电式传感器磁电式传感器第十一页，本课件共有43页2、温度补偿、温度补偿 霍尔片是采用半导体材料制造的，因此它们的许多霍尔片是采用半导体材料制造的，因此它们的许多参数都具有较大的温度系数。如半导体材料的电阻率，参数都具有较大的温度系数。如半导体材料的电阻率，迁移率和载流子浓度等都随温度而变化。迁移率和载流子浓度等都随温度而变化。霍尔片的性能参数如输入和输出电阻，霍尔系霍尔片的性能参数如输入和输出电阻，霍尔系数等也随温度而变化，致使霍尔电势变化，产生温数等也随温度而变化，致使霍尔电势变化，产生温度误差，为了减小温度差：度误差，为了减小温度差：除选用温度系数较小的材料（如砷化铟）；除选用温度系数较

10、小的材料（如砷化铟）；采用适当的补偿电路。采用适当的补偿电路。第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器第十二页，本课件共有43页（1）采用恒流源供电和输入回路并联电阻）采用恒流源供电和输入回路并联电阻 温度变化引起霍尔元件输入电阻变化，在稳压温度变化引起霍尔元件输入电阻变化，在稳压源供电时，会使控制电流发生变化，带来误差。源供电时，会使控制电流发生变化，带来误差。为了减小这种误差，最好采用为了减小这种误差，最好采用恒流源恒流源，但霍尔片，但霍尔片的灵敏度系数的灵敏度系数KH也是温度的函数，为进一步提高也是温度的函数，为进一步提高VH的的温度稳定性，对于具有正温度系数的霍尔元件，可在其输温度稳定性

11、，对于具有正温度系数的霍尔元件，可在其输入回路中并联电阻入回路中并联电阻RP。（推导过程见黑板）（推导过程见黑板）第五章第五章第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器第十三页，本课件共有43页（2）采用恒压源和输入回路串联电阻）采用恒压源和输入回路串联电阻 当霍尔元件采用稳压电源供电，且霍尔输出当霍尔元件采用稳压电源供电，且霍尔输出开路状态工作时，可在输入回路串入适当电阻来开路状态工作时，可在输入回路串入适当电阻来补偿温度误差。补偿温度误差。（分析过程见黑板）（分析过程见黑板）第五章第五章第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器第十四页，本课件共有4

12、3页四、霍尔开关集成传感器四、霍尔开关集成传感器 霍尔开关集成传霍尔开关集成传感器是利用霍尔效应感器是利用霍尔效应与集成电路技术结合与集成电路技术结合而制成的一种磁敏传而制成的一种磁敏传感器，它能感知与磁感器，它能感知与磁信息有关的物理量，信息有关的物理量，并以开关信号形式输并以开关信号形式输出。出。稳压稳压整形整形VCC输出输出地地123霍尔元件霍尔元件放大放大 由稳压电路、霍尔元件、放大器、整形电路、开路输出由稳压电路、霍尔元件、放大器、整形电路、开路输出五部分组成。稳压电路可使传感器在较宽的电源电压范围内五部分组成。稳压电路可使传感器在较宽的电源电压范围内工作，开始输出可使传感器方便地与

13、各种逻辑电路接口。工作，开始输出可使传感器方便地与各种逻辑电路接口。第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器第十五页，本课件共有43页稳压稳压整形整形VCC输出输出地地123霍尔元件霍尔元件放大放大 当有磁场作用在传感器上时，霍尔元件输出霍尔电压当有磁场作用在传感器上时，霍尔元件输出霍尔电压VH，该电压经放大器放大后，送至施密特整形电路，当放大后，该电压经放大器放大后，送至施密特整形电路，当放大后的的VH电压大于电压大于“开启开启”阈值时，施密特整形电路翻转，输出阈值时，施密特整形电路翻转，输出高电平，使半导体管导通高电平，使半导体管导通“开状态开状态”；当磁场减弱时，霍；当磁场减弱时，霍尔元件

14、输出的尔元件输出的VH很小，经放入器放大后其值也小于施密特整很小，经放入器放大后其值也小于施密特整形电路的形电路的“关闭关闭”阈值，施密特整形电路再次翻转，输出低阈值，施密特整形电路再次翻转，输出低电平，使半导体管截止，这种状态为电平，使半导体管截止，这种状态为“关状态关状态”。一次磁。一次磁场强度的变化，就使传感器完成了一次开关动作。场强度的变化，就使传感器完成了一次开关动作。工作原理：工作原理：霍尔开关传感器的用途：霍尔开关传感器的用途：霍尔开关集成传感器基本用途有：汽车点火系统、霍尔开关集成传感器基本用途有：汽车点火系统、保安系统、转速、里程测定、机械设备的限位开关、保安系统、转速、里程

15、测定、机械设备的限位开关、按钮开关、电流的检测与控制、位置及角度的检测，按钮开关、电流的检测与控制、位置及角度的检测，等等。等等。第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器第十六页，本课件共有43页几几种种接接口口电电路路形形式式第五章第五章第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器第十七页，本课件共有43页几种不同尺寸外形的霍尔开关几种不同尺寸外形的霍尔开关第五章第五章第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器第十八页，本课件共有43页五、霍尔线性集成传感器五、霍尔线性集成传感器 霍尔线性集成传感器的输出电压与外加磁场呈线霍尔线性集成传感器的输出电压与外加

16、磁场呈线性比例关系。性比例关系。稳压稳压VCC输出输出地地123霍尔元件霍尔元件放大放大稳压稳压VCC输输出出地地341霍尔元件霍尔元件放大放大8单端输出传感器的电路结构单端输出传感器的电路结构双端输出的电路结构双端输出的电路结构第五章第五章第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器第十九页，本课件共有43页 霍尔线性集成传感器一般由霍尔元件和放大器霍尔线性集成传感器一般由霍尔元件和放大器组成，当外加磁场时，霍尔元件产生与磁场成线性组成，当外加磁场时，霍尔元件产生与磁场成线性比例变化的霍尔电压，经放大器放大后输出。比例变化的霍尔电压，经放大器放大后输出。霍尔线性传感器广泛用

17、于位置、力、重量、厚度、霍尔线性传感器广泛用于位置、力、重量、厚度、速度、磁场、电流等的测量或控制。速度、磁场、电流等的测量或控制。第五章第五章第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器第二十页，本课件共有43页六、霍尔传感器的应用六、霍尔传感器的应用 霍尔元件可以测量磁物理量及电量、还可以通霍尔元件可以测量磁物理量及电量、还可以通 过转换测量其它非电量。过转换测量其它非电量。由于霍尔元件的输出量是比例于两个输入量的由于霍尔元件的输出量是比例于两个输入量的 乘积，因此可以方便而准确地实现乘法运算，乘积，因此可以方便而准确地实现乘法运算，可构成各种非线性运算部件。可构成各种非

18、线性运算部件。霍尔元件工作从直流到数百千赫兹的频率范围霍尔元件工作从直流到数百千赫兹的频率范围 内。内。霍尔元件在工程技术上的应用相当广泛，具体产品霍尔元件在工程技术上的应用相当广泛，具体产品有高斯计、霍尔罗盘、大电流计、功率计、位移传感器、有高斯计、霍尔罗盘、大电流计、功率计、位移传感器、乘法器、调制器等。乘法器、调制器等。第五章第五章第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器第二十一页，本课件共有43页1、转速测量、转速测量 NS霍尔元件霍尔元件（转转角）角）VH02NS霍尔元件霍尔元件（转转角）角）VH0永磁体装在轴端的转速测量方法永磁体装在轴端的转速测量方法永磁体装

19、在轴侧的转速测量方法永磁体装在轴侧的转速测量方法第五章第五章第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器第二十二页，本课件共有43页第五章第五章第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器工作原理及用途：工作原理及用途：被测体上贴一磁钢，非接触式测量，高可靠，适用于低转速，体积小、安装方便，对环境无要求，适合各种恶劣环境、污浊环境、功耗低，适宜长期工作。霍尔式转速计霍尔式转速计第二十三页，本课件共有43页2、利用霍尔线性集成传感器进行磁法覆盖、利用霍尔线性集成传感器进行磁法覆盖 层厚度测量层厚度测量 磁法覆盖厚度测量是指对铁磁性物质表面非磁性磁法覆盖厚度测量

20、是指对铁磁性物质表面非磁性涂层的厚度测量涂层的厚度测量。例如对钢铁表面的镀膜、油漆、塑料、搪瓷等例如对钢铁表面的镀膜、油漆、塑料、搪瓷等覆盖层的厚度等便可使用磁法厚度测量的方法。覆盖层的厚度等便可使用磁法厚度测量的方法。第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器第二十四页，本课件共有43页U型铁心型铁心永磁体永磁体铁磁基体铁磁基体磁回路磁回路SL3501M覆盖层覆盖层 测量时将测量时将U形铁芯的两极放到被测物体表面上，这时永磁体形铁芯的两极放到被测物体表面上，这时永磁体产生的磁通便通过产生的磁通便通过U形铁芯和被测物体构成磁回路。当被测物体表形铁芯和被测物体构成磁回路。当被测物体表面覆盖层厚度不同

21、时，磁回路的磁阻和磁通量将会发生变化，磁回面覆盖层厚度不同时，磁回路的磁阻和磁通量将会发生变化，磁回路中的霍尔集成传感器将会检测出磁场强度的不同，从而使霍尔集路中的霍尔集成传感器将会检测出磁场强度的不同，从而使霍尔集成传感器产生的输出电压随覆盖层厚度的不同而变化，完成覆盖层成传感器产生的输出电压随覆盖层厚度的不同而变化，完成覆盖层非电量到电量的转换。非电量到电量的转换。将将U型硅钢片铁型硅钢片铁芯中间断开，然后将芯中间断开，然后将SL3501M霍尔线性集霍尔线性集成传感器和一片钕铁成传感器和一片钕铁硼永磁体夹在中间，硼永磁体夹在中间，用用502胶粘牢。胶粘牢。第五章第五章 磁电式传感器磁电式传

22、感器第二十五页，本课件共有43页 霍尔集成传感器内部虽然设有差分放大器，但其霍尔集成传感器内部虽然设有差分放大器，但其输出的电压仍然满足不了使用电路的要求，为此，将输出的电压仍然满足不了使用电路的要求，为此，将信号加一级放大，便可得到足够大的信号幅度。信号加一级放大，便可得到足够大的信号幅度。5VIC1IC25VUOUT第五章第五章第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器第二十六页，本课件共有43页3、霍尔元件在电流测量上的应用、霍尔元件在电流测量上的应用 用霍尔元件测量电流，都是通过霍尔元件检测通用霍尔元件测量电流，都是通过霍尔元件检测通电导线周围的磁场来实现的。电导线

23、周围的磁场来实现的。第五章第五章第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器 在现代工程技术中，往往要测量在现代工程技术中，往往要测量大直流电流大直流电流大直流电流大直流电流，有时，有时直流电流值高达直流电流值高达10KA以上。过去，多采用电阻器分流以上。过去，多采用电阻器分流的方法来测量这样大的电流。这种方法有许多缺点，的方法来测量这样大的电流。这种方法有许多缺点，如分流器结构复杂、笨重、耗电、耗铜等。利用霍尔如分流器结构复杂、笨重、耗电、耗铜等。利用霍尔效应原理测量大电流可以克服上述的一些缺点。霍尔效应原理测量大电流可以克服上述的一些缺点。霍尔效应大电流计结构简单、成本低

24、、准确度高，在很大效应大电流计结构简单、成本低、准确度高，在很大程度上与频率无关，便于远距离测量，测量时不需要程度上与频率无关，便于远距离测量，测量时不需要断开回路。断开回路。第二十七页，本课件共有43页（1）导线旁测法）导线旁测法 这种方法是一种最简单这种方法是一种最简单的方法，将霍尔元件放在的方法，将霍尔元件放在通电导线的附近，给霍尔通电导线的附近，给霍尔元件通以恒定电流，用霍元件通以恒定电流，用霍尔元件测量被测电流产生尔元件测量被测电流产生的磁场，就可以从元件输的磁场，就可以从元件输出的霍尔电压中确定被测出的霍尔电压中确定被测电流值。电流值。这种方法虽然结构简单，这种方法虽然结构简单，但

25、测量精度较差，受外界干但测量精度较差，受外界干扰也大，只适用一些不重要扰也大，只适用一些不重要的场合。的场合。BICI通电电流通电电流VH第五章第五章第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器第二十八页，本课件共有43页 当导线中有电流流通时，当导线中有电流流通时，导线周围产生磁场，使导磁体导线周围产生磁场，使导磁体铁芯磁化成暂时性磁铁，在环铁芯磁化成暂时性磁铁，在环形气隙中就会形成一个磁场，形气隙中就会形成一个磁场，导体中的电流越大，气隙处的导体中的电流越大，气隙处的磁感应强度就越大，霍尔元器磁感应强度就越大，霍尔元器件输出的霍尔电压件输出的霍尔电压VH就越大。就越大。可

26、以通过霍尔电压检测到导线中可以通过霍尔电压检测到导线中的电流。这种方法可以提高电流的电流。这种方法可以提高电流测量的精度。测量的精度。导磁铁心导磁铁心霍尔元器件霍尔元器件通电导线通电导线I（2）导线贯串磁芯法）导线贯串磁芯法 如果用铁磁材料做成磁导体的铁芯，使被测通电导线贯串如果用铁磁材料做成磁导体的铁芯，使被测通电导线贯串它的中央，将霍尔元件或霍尔集成传感器放在磁导体的气隙中，它的中央，将霍尔元件或霍尔集成传感器放在磁导体的气隙中，这样，可以通过环形铁芯集中磁力线，如下图所示。这样，可以通过环形铁芯集中磁力线，如下图所示。第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器测量原理测量原理第二十九页，本课

27、件共有43页 在实际应用中，为了测量的方便，还可以把导磁铁芯在实际应用中，为了测量的方便，还可以把导磁铁芯做成钳式形状，或非闭合磁路的形状，如下图所示。做成钳式形状，或非闭合磁路的形状，如下图所示。I霍尔元器件霍尔元器件通电导线通电导线导磁铁心导磁铁心霍尔元器件霍尔元器件通电导线通电导线导磁铁心导磁铁心I钳式钳式非闭合磁路式非闭合磁路式第五章第五章第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器第三十页，本课件共有43页（3）磁芯绕线法）磁芯绕线法 这种方法如下图所示。它由标准环形导磁铁芯和这种方法如下图所示。它由标准环形导磁铁芯和SL3501M霍尔线性集成传感器组合而成。霍尔线

28、性集成传感器组合而成。SL3501M通电导线通电导线导磁铁心导磁铁心I 被测通电导线绕在导被测通电导线绕在导磁铁芯上，每磁铁芯上，每1安安1匝在气匝在气隙处可产生隙处可产生0.0056T的磁感的磁感应强度。若测量范围是应强度。若测量范围是020A时，则导线绕制时，则导线绕制9匝匝便可产生约便可产生约0.1 T的磁感应的磁感应强度，强度，SL3501M会有会有1.4V的电压输出。的电压输出。第五章第五章第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器第三十一页，本课件共有43页第五章第五章第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器数字钳型表数字钳型表用途：用途：

29、主要用于大电流测量，可用于机械加工车间，工厂，及各种耗电量较大的任何场合。第三十二页，本课件共有43页4、霍尔元件在磁性材料研究上的应用、霍尔元件在磁性材料研究上的应用被测磁性物质被测磁性物质交流信号源交流信号源霍尔元件霍尔元件示波器示波器电流表电流表磁化磁化绕组绕组 在磁性材料特性研究中，往往需要复杂的过程才能得到在磁性材料特性研究中，往往需要复杂的过程才能得到B-H曲线或磁场分布图。因为霍尔电压同铁芯磁化绕组的电流的关系曲线或磁场分布图。因为霍尔电压同铁芯磁化绕组的电流的关系VH=f(IM）同样反映了磁感应强度）同样反映了磁感应强度B与磁场强度与磁场强度H之间的关之间的关系系B=f(H)，

30、所以可以直接用示波器来观察这个关系。，所以可以直接用示波器来观察这个关系。第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器第三十三页，本课件共有43页5、霍尔线性位移传感器、霍尔线性位移传感器霍尔线性位移传感器霍尔线性位移传感器第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器第三十四页，本课件共有43页第五章第五章第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器若令霍尔元件的工作电流保若令霍尔元件的工作电流保持不变，而使其在一个均匀持不变，而使其在一个均匀梯度磁场中移动，它输出的梯度磁场中移动，它输出的霍尔电压霍尔电压VH值只由它在该磁值只由它在该磁场中的位移量场中的位移量Z来决定。图中来决定。图中

31、3种产生梯度磁场的磁系统及种产生梯度磁场的磁系统及其与霍尔器件组成的位移传其与霍尔器件组成的位移传感器的输出特性曲线，将它感器的输出特性曲线，将它们固定在被测系统上，可构们固定在被测系统上，可构成霍尔微位移传感器。从曲成霍尔微位移传感器。从曲线可见，结构（线可见，结构（b）在）在Z2mm时，时，VH与与Z有良好的线有良好的线性关系，且分辨力可达性关系，且分辨力可达1m，结构（结构（C）的灵敏度高，但工作）的灵敏度高，但工作距离较小。距离较小。几种产生梯度磁场的磁系统和几种霍尔位移几种产生梯度磁场的磁系统和几种霍尔位移传感器的静态特性传感器的静态特性 霍尔线性位移传感器原理霍尔线性位移传感器原理

32、第三十五页，本课件共有43页第五章第五章第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器6、霍尔压力传感器、霍尔压力传感器 霍尔压力传感器由弹性元件，磁系统和霍尔元件等部分组成，霍尔压力传感器由弹性元件，磁系统和霍尔元件等部分组成，如图所示。如图所示。(a)的弹性元件为膜盒，的弹性元件为膜盒，(b)为弹簧片，为弹簧片，(c)为波纹管。磁为波纹管。磁系统最好用能构成均匀梯度磁场的复合系统，如图中的系统最好用能构成均匀梯度磁场的复合系统，如图中的(a)、(b)，也，也可采用单一磁体，如可采用单一磁体，如(c)。加上压力后，使磁系统和霍尔元件间产生。加上压力后，使磁系统和霍尔元件间产生

33、相对位移，改变作用到霍尔元件上的磁场，从而改变它的输出电压相对位移，改变作用到霍尔元件上的磁场，从而改变它的输出电压VH。由事先校准的。由事先校准的pf(VH)曲线即可得到被测压力曲线即可得到被测压力p的值。的值。霍尔压力传感器的构成原理霍尔压力传感器的构成原理 第三十六页，本课件共有43页第五章第五章第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器pp特点：特点：磁栅价格低于光栅，且录磁方便、易于磁栅价格低于光栅，且录磁方便、易于安装，测量范围宽可安装，测量范围宽可超过十几米超过十几米，抗干扰能力，抗干扰能力强。强。pp类型：类型：磁栅可分为磁栅可分为长磁栅长磁栅和和圆磁栅圆磁

34、栅。长磁栅主。长磁栅主要用于直线位移测量，圆磁栅主要用于角位移测要用于直线位移测量，圆磁栅主要用于角位移测量。量。pp组成：组成：磁栅传感器主要由磁尺、磁头和信号处理磁栅传感器主要由磁尺、磁头和信号处理电路组成。电路组成。5-2 5-2 磁栅传感器简介磁栅传感器简介第三十七页，本课件共有43页磁栅的外形及结构磁栅的外形及结构磁尺磁尺静态磁头静态磁头去信号处理电路去信号处理电路固定孔固定孔第五章第五章第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器第三十八页，本课件共有43页磁头与磁尺相对运动时的输出波形演示磁头与磁尺相对运动时的输出波形演示第五章第五章第五章第五章 磁电式传感器磁

35、电式传感器磁电式传感器磁电式传感器第三十九页，本课件共有43页鉴相型磁栅数显表的原理框图鉴相型磁栅数显表的原理框图 磁尺与磁头接触，使用寿命磁尺与磁头接触，使用寿命不如光栅，数年后易退磁。不如光栅，数年后易退磁。设置两个磁头的设置两个磁头的意义何在？意义何在？第五章第五章第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器第四十页，本课件共有43页磁栅测量系统磁栅测量系统压板压板磁头磁头磁尺磁尺第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器第四十一页，本课件共有43页磁栅在磨床测长系统中的应用磁栅在磨床测长系统中的应用磁尺磁尺磁头安装在何处？磁头安装在何处？第五章第五章第五章第五章 磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器磁电式传感器第四十二页，本课件共有43页感谢大家观看第四十三页，本课件共有43页