现代传感技术与系统课件第四章.ppt
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1、第四章第四章 智能传感器的外围技术智能传感器的外围技术 4.1 微机电系统结构与元器件微机电系统结构与元器件 4.2 智能传感器的通信智能传感器的通信 4.3 智能传感器的标准智能传感器的标准第四章1智能传感器的外围技术4.1 微机电系统结构与元器件微机电系统结构与元器件 4.1.1 4.1.1 引言引言4.1.2 4.1.2 面向微机电系统的微结构面向微机电系统的微结构4.1.3 4.1.3 微机电系统的常用元器件微机电系统的常用元器件4.1.4 4.1.4 其他微机械结构其他微机械结构4.1.5 4.1.5 微执行器的应用微执行器的应用第四章2智能传感器的外围技术4.1 微机电系统结构与元
2、器件微机电系统结构与元器件4.1.1 4.1.1 引言引言微小型化革命微小型化革命:微米微米纳纳米技米技术应术应运而生运而生 利用物理化学方法将原子和分子利用物理化学方法将原子和分子组组装起来,形成具有一定功装起来,形成具有一定功 能的微米能的微米纳纳米米结结构;构;(导导致了致了纳纳米生物学、米生物学、纳纳米化学等米化学等边缘边缘 学科的学科的产产生生)利用精利用精细细加工手段加工出微米加工手段加工出微米纳纳米米级结级结构构(导导致了微机致了微机电电系系 统的诞生统的诞生)第四章3智能传感器的外围技术4.1 微机电系统结构与元器件微机电系统结构与元器件 MEMS MEMS系系统统是微是微电电
3、子技子技术术的拓的拓宽宽和延伸和延伸 微微电电子技子技术术与与精密机械加工技精密机械加工技术术的的融合融合 实现实现了微了微电电子与机械融子与机械融为为一体的功能。一体的功能。使半导体传感器应用于大型的机械控制使半导体传感器应用于大型的机械控制 大大大大提提高高了了整整个个系系统统的的性性能能:降降低低机机电电系系统统成成本本,完完成成许许多多大大尺寸机尺寸机电电系系统统无法完成的任无法完成的任务务例例:尖端直径尖端直径为为5 5mm的微型的微型镊镊子可子可夹夹起一个起一个红细红细胞;胞;3 3mmmm大小的大小的 能能够够开开动动的小汽的小汽车车;可在磁;可在磁场场中中飞飞行的象蝴蝶大小的行
4、的象蝴蝶大小的飞飞机等。机等。第四章4智能传感器的外围技术4.1 微机电系统结构与元器件微机电系统结构与元器件 MEMS MEMS技术的目标:通过系统的微型化、集成化来探索具有新技术的目标:通过系统的微型化、集成化来探索具有新 原理、新功能的元件和系统原理、新功能的元件和系统 将将电电子系子系统统和外部世界有机地和外部世界有机地联联系起来:感受运系起来:感受运动动、光、声、光、声、热热、磁等自然界信号;将、磁等自然界信号;将这这些信号些信号转换转换成成电电子系子系统统可以可以认识认识的的电电信号;通信号;通过电过电子系子系统统控制控制这这些信号、些信号、发发出指令、控制出指令、控制执执行部件完
5、成所需操作行部件完成所需操作 具有许多传统传感器无法比拟的优点具有许多传统传感器无法比拟的优点 在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。人们接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。第四章5智能传感器的外围技术4.1 微机电系统结构与元器件微机电系统结构与元器件 从从广广义义上上讲讲,MEMSMEMS是是指指集集微微型型传传感感器器、微微型型执执行行器器以以及及信信号号处处理理和和控控制制电电路路、接接口口电电路路、通通信信和和电电源源于于一一体体的的完完整整微微型型机电系统。机电
6、系统。主要包含微型传感器、执行器和相应的处理电路三部分:主要包含微型传感器、执行器和相应的处理电路三部分:传传感感器器把把能能量量从从一一种种形形式式转转化化为为另另一一种种形形式式,将将现现实实世世界界的的信信号号(如如热热、运运动动等等信信号号)转转化化为为系系统统可可以以处处理理的的信信号号(如如电电信号)信号)执行器根据信号处理电路发出的指令完成人们所需要的操作执行器根据信号处理电路发出的指令完成人们所需要的操作 信号处理器对信号进行转换、放大和计算等处理信号处理器对信号进行转换、放大和计算等处理第四章6智能传感器的外围技术4.1 微机电系统结构与元器件微机电系统结构与元器件 事事实实
7、上上,前前面面第第二二章章第第三三节节中中讨讨论论过过的的微微机机械械加加工工技技术术就就是是从从属属于于MEMSMEMS的的核核心心技技术术,然然而而,就就MEMSMEMS整整体体而而言言,却却有有着着更更加加丰丰富富的的内内涵涵。从从整整体体来来看看,它它总总是是直直接接或或间间接接地地与与智智能能传传感感器器保保持持密密切切的的关关系系,因因此此,除除微微机机械械加加工工技技术术之之外外,本本节节又又选选择择该该领领域域中中一一些些其其它它相相关关内内容容作作为为智智能能传传感感器器的的外外围围技技术术来来讨讨论论,主要有:,主要有:面向面向MEMSMEMS的微的微结结构构 微机微机电电
8、系系统统的常用元器件的常用元器件 微微执执行器的行器的应应用用 等等第四章7智能传感器的外围技术4.1 微机电系统结构与元器件微机电系统结构与元器件4.1.2 4.1.2 面向微机电系统的微结构面向微机电系统的微结构MEMSMEMS与传统机加工小型化机器的差异对比:与传统机加工小型化机器的差异对比:总体预装配形式与一个一个部件相接的装配形式;总体预装配形式与一个一个部件相接的装配形式;很多元素的高密度集成与离散元件之组成;很多元素的高密度集成与离散元件之组成;以统一的集成形式实现与电子学的结合与采用导线的连接形以统一的集成形式实现与电子学的结合与采用导线的连接形 式;式;2.52.5维的空间形
9、式与三维结构(可装配成不同的形状与维的空间形式与三维结构(可装配成不同的形状与 其功能紧密相连等)之差异其功能紧密相连等)之差异 等等第四章8智能传感器的外围技术4.1 微机电系统结构与元器件微机电系统结构与元器件 MEMSMEMS受受限限于于典典型型的的ICIC基基的的构构造造方方法法,只只能能允允许许我我们们制制作作平平面面结结构构的的微微电电机机、层层叠叠式式结结构构的的多多晶晶硅硅薄薄膜膜或或深深层层防防护护下下的的二二维维掩掩膜膜模模式式的的投投影影图图像像。因因而而很很难难仅仅通通过过改改变变机机器器的的结结构构来来实实现现各各种种不不同同的的功功能能。然然而而,可可以以通通过过预
10、预装装配配、批批量量生生产产以以及及将将电电子子线线路路与与传传感感器器尽尽可可能能地地集集成成在在一一起起、且且通通过过逻逻辑辑电电路路和和内内部软件而同时实现各种功能。部软件而同时实现各种功能。有有很很多多基基于于IC-IC-基基的的MEMSMEMS的的复复杂杂模模式式,那那些些集集传传感感器器、执执行行器器和和电电子子电电路路于于一一体体的的很很多多微微模模式式的的制制作作与与单单一一模模式式的的工工艺艺制作过程相比,所需付出是完全一样的。制作过程相比,所需付出是完全一样的。第四章9智能传感器的外围技术4.1 微机电系统结构与元器件微机电系统结构与元器件主要问题之一:微电机转动中的滑动表
11、面摩擦。主要问题之一:微电机转动中的滑动表面摩擦。在在MEMSMEMS涉涉及及的的微微观观领领域域中中,摩摩擦擦力力遵遵循循一一个个不不合合常常规规的的定定律律:当当特特征征维维数数L L减减少少时时,摩摩擦擦力力与与L L2 2成成比比例例,而而惯惯性性力力与与L L3 3成成比比例例,摩摩擦擦力力的的支支配配能能力力超超过过惯惯性性力力而而阻阻止止那那些些持持续续运运动动的的微微齿轮或微转子平滑地转动。齿轮或微转子平滑地转动。目前针对微观领域的摩擦学研究,科研人员提出的几种建议:目前针对微观领域的摩擦学研究,科研人员提出的几种建议:在运动件和固定件之间采用滚动接触而不是滑动接触;在运动件和
12、固定件之间采用滚动接触而不是滑动接触;运动部件采用弹性支承;运动部件采用弹性支承;运动部件悬浮于空气中(以空气作为润滑剂)等。运动部件悬浮于空气中(以空气作为润滑剂)等。第四章10智能传感器的外围技术4.1 微机电系统结构与元器件微机电系统结构与元器件为克服微机电系统上述局限的措施为克服微机电系统上述局限的措施:由由许许多多智智能能微微模模块块组组件件组组成成的的一一个个面面向向MEMSMEMS的的结结构构体体,这这些些模模块块有有微微执执行行器器、传传感感器器以以及及集集成成在在其其内内部部的的电电子子电电路路等等。图图4.1.14.1.1为这种系统的一为这种系统的一个典型方案,它可以用所个
13、典型方案,它可以用所谓纤毛运动系统及其执行谓纤毛运动系统及其执行器的有关应用加以解释。器的有关应用加以解释。这是一种源于多种动物器这是一种源于多种动物器官、昆虫和显微镜下的微官、昆虫和显微镜下的微生物机制的创新思想。生物机制的创新思想。第四章11智能传感器的外围技术4.1 微机电系统结构与元器件微机电系统结构与元器件 纤纤毛毛运运动动是是指指一一种种叫叫纤纤毛毛虫虫的的微微生生物物的的运运动动方方式式,这这种种微微生生物物在在其其细细胞胞表表面面长长有有许许多多像像毛毛发发状状的的突突出出物物,它它们们通通过过协协调调性性地地摆摆动动纤纤毛毛来来实实现现其其行行进进。这这种种纤纤毛毛虫虫的的行
14、行进进方方式式可可以以用用在在一个传送物体的装置之中。一个传送物体的装置之中。纤纤毛毛运运动动系系统统的的模模块块组组件件包包括括一一个个执执行行器器(如如悬悬臂臂型型的的执执行行器器)和和一一个个振振荡荡器器。如如果果提提供供充充分分的的相相互互联联接接,外外部部信信号号也也能能达达到到同同步步。当当振振荡荡的的频频率率相相同同而而在在邻邻近近振振荡荡器器之之间间统统一一地地维维持持着着固固定定的的相相位位差差,则则每每个个执执行行器器可可以以协协调调地地运运行行。伸伸出出的的臂臂传传播播一一个个波波,象象球球体体滚滚动动那那样样传传送送物物体体。实实施施传传送送任任务务时时,所所需要的逻辑
15、电路就如同移位寄存器那样简单。需要的逻辑电路就如同移位寄存器那样简单。第四章12智能传感器的外围技术4.1 微机电系统结构与元器件微机电系统结构与元器件 系系统统是是一一维维系系统统,由由完完全全类类似似的的模模式式组组成成。这这些些组组件件很很容容易以微执行器的模式实现。易以微执行器的模式实现。执行器结构执行器结构:由夹在具有不同热膨胀系数的两层聚酰胺间的由夹在具有不同热膨胀系数的两层聚酰胺间的 金属加热器组成。金属加热器组成。加热器电流接通或断开时,执行器上下运动加热器电流接通或断开时,执行器上下运动(悬臂悬臂500500mm长,长,110 110mm宽宽)。当当4040mAmA电流流经加
16、热器时,在垂直方向上产生电流流经加热器时,在垂直方向上产生130130mm、在水在水 平方向上产生平方向上产生6060mm的移动量。的移动量。对正弦电流(幅值低于对正弦电流(幅值低于3 3dBdB),截止频率,截止频率8 8HzHz。第四章13智能传感器的外围技术4.1 微机电系统结构与元器件微机电系统结构与元器件4.1.3 4.1.3 微机电系统的常用元器件微机电系统的常用元器件 用用硅硅和和其其它它的的半半导导体体材材料料构构成成的的微微机机电电系系统统元元器器件件涉涉及及到到静静电电学学、电电热热学学、热热动动力力学学、电电磁磁学学、电电渗渗透透、电电液液动动力力学学、模模型型存存储储合
17、合金金、热热敏敏感感器器件件、聚聚合合物物等等多多方方面面的的应应用用。本本节节将将讨讨论论微微型型泵泵、微微引引擎擎、微微控控制制阀阀、微微动动力力测测试试仪仪和和微微电电机机,还还有有其其它它材材料料的的微微执行元器件。执行元器件。第四章14智能传感器的外围技术4.1 微机电系统结构与元器件微机电系统结构与元器件1.1.微型泵微型泵 图图4.1.24.1.2为为小小型型蠕蠕动动泵泵的的侧侧剖剖视视图图,它它是是由由三三个个硅硅晶晶片片结结合合在在一一起起构构成成的的。三三个个硅硅晶晶片片键键合合在在一一起起生生产产流流体体通通道道、薄薄膜膜和加热器。硅和加热器。硅融解键合用于融解键合用于连
18、接包含这些连接包含这些元器件的晶片。元器件的晶片。第四章15智能传感器的外围技术4.1 微机电系统结构与元器件微机电系统结构与元器件 加加热热器器悬悬浮浮于于热热气气动动流流体体中中,随随之之从从左左至至右右被被启启动动。流流体体通通道道通通过过刻刻蚀蚀技技术术制制造造,非非常常紧紧密密地地与与硅硅氮氮化化物物薄薄膜膜凸凸出出的的轮轮廓廓相相匹匹配配。加加热热流流体体使使薄薄膜膜表表层层发发生生偏偏移移并并驱驱动动液液体体。偏偏移移的的薄薄膜膜封封堵堵了了通通道道以以阻阻止止回回流流。微微型型泵泵的的性性能能在在1515psipsi下下已已经经能能精精确确到到每每分分钟钟7 7微微升升。驱驱动
19、动量量精精确确的的矢矢量量泵泵已已在在医医疗疗上上应应用用于于胰胰岛岛素素自自动动补补充充以以及及精精确确的的制制造造业业过过程程控控制制以以减减少少原原材材料料的的损损耗。耗。第四章16智能传感器的外围技术4.1 微机电系统结构与元器件微机电系统结构与元器件2.2.微蒸汽机微蒸汽机 世界上最小的蒸汽世界上最小的蒸汽机是以表面微机械加工工机是以表面微机械加工工艺制作的。右图是这种单艺制作的。右图是这种单缸蒸汽机在显微镜下的图缸蒸汽机在显微镜下的图象象,在在蒸蒸汽汽机机中中,压压力力汽汽缸缸内内的的水水被被电电流流加加热热、蒸蒸发发,然然后后把把活塞弹出。当电流消失后,表面张力又使活塞缩回。活塞
20、弹出。当电流消失后,表面张力又使活塞缩回。第四章17智能传感器的外围技术4.1 微机电系统结构与元器件微机电系统结构与元器件3.3.微控制阀微控制阀 微控制阀是微控制阀是MEMSMEMS元器件中目元器件中目前为数不多的已经正式投产的产前为数不多的已经正式投产的产品之一。右图是其结构示意。一品之一。右图是其结构示意。一个硅流体驱动微阀门的规格大约个硅流体驱动微阀门的规格大约是是5.55.5mm mm 6.5mm 6.5mm 2mm 2mm。顶端的顶端的体体型型微微加加工工空空腔腔内内充充满满了了控控制制液液体体。在在未未被被激激活活的的状状态态,气气体体通通过过阀阀门门流流动动。将将电电压压施施
21、加加于于隔隔膜膜上上的的加加热热元元件件,将将引引起起液液体体的的充充分分膨膨胀胀而而使使隔隔膜膜偏偏移移靠靠近近阀阀座座而而阻阻断断气气流流。阀阀门门的的动动态态范范围围从从100,000100,000到到1 1,在,在20 20 psipsi的压力下,控制气流从每分钟的压力下,控制气流从每分钟4 4微升到每分钟微升到每分钟4 4升。升。第四章18智能传感器的外围技术4.1 微机电系统结构与元器件微机电系统结构与元器件4.4.微动力测试仪微动力测试仪微动力测试仪的研究目前已获微动力测试仪的研究目前已获得了满意的功能平面设计。这种微得了满意的功能平面设计。这种微动力测试仪包括一个微电机、偶合动
22、力测试仪包括一个微电机、偶合齿轮链、担当有源负载的发电机以齿轮链、担当有源负载的发电机以及相关的电子元器件。以带有附加及相关的电子元器件。以带有附加牺牲层的牺牲层的LIGALIGA处理技术用于制造微处理技术用于制造微动动力力测测试试仪仪的的机机械械部部件件。需需要要为为电电动动机机和和发发电电机机选选配配激激磁磁绕绕组组,双双极极成成对对电电动动机机每每个个电电极极上上有有三三个个绕绕组组,发发电电机机则则有有六六个个绕绕组组,利利用用电电镀镀镍镍方方法法制制造造,如如图图所所示示。集集成成了了光光电电二二极极管管决决定定电电动动机机和和发发电电机机转转子子的的位位置置。目目前前尚需解决磁性材
23、料问题。尚需解决磁性材料问题。第四章19智能传感器的外围技术4.1 微机电系统结构与元器件微机电系统结构与元器件 采用表层微加工技术制造采用表层微加工技术制造的微传送装置能提高动力。一的微传送装置能提高动力。一个成功的实验是将六个完全相个成功的实验是将六个完全相同的传送系统连接在一起,每同的传送系统连接在一起,每个具有个具有1212:1 1的减速比以获取的减速比以获取整体的功率增长。该水平下获整体的功率增长。该水平下获得得的的机机械械动动力力能能满满足足带带动动一一个个一一磅磅物物体体的的需需要要。齿齿轮轮是是可可逆逆的的,可实现加速和减速操作。可实现加速和减速操作。第四章20智能传感器的外围
24、技术4.1 微机电系统结构与元器件微机电系统结构与元器件5.5.微电机微电机 微微电电机机是是MEMSMEMS元元器器件件中中最最具具潜潜力力的的产产品品之之一一。一一个个静静电电发发动动机机的的例例子子见见图图4.1.44.1.4。典典型型的的转转子子直直径径大大约约0.10.1mmmm。定定子子的的运运动依靠静电力产生的脉冲。动依靠静电力产生的脉冲。解解决决电电动动机机和和负负载载之之间间的的偶偶合合以以及及摩摩擦擦问问题题是是使使电电机机投投入入实实用用的的最最关关键键问问题题。在在各各种种技技术术选选择择中中,采采用用配配有有超超级级性性能能微微处处理理器器的的冷冷却却风风扇扇是是人人
25、们们寄寄予予厚厚望望的的方方式式。摩摩擦擦学学是是关关于于耗耗损损及及其其应应用用范范围围的的研研究究,基基于于对对这这些些机机器器的的大大量量的的调调查查研研究究,在在维维持持MEMSMEMS技技术术允允许许的的特特有有容容量量的的前前提提下下,它它们们不不再再可可能能使使用用传传统的润滑方式。统的润滑方式。第四章21智能传感器的外围技术4.1 微机电系统结构与元器件微机电系统结构与元器件第四章22智能传感器的外围技术4.1 微机电系统结构与元器件微机电系统结构与元器件 磁磁致致微微电电机机的的线线圈圈缠缠绕绕需需要要一一个个较较厚厚的的致致动动器器交交叉叉部部分分。一一种种方方法法是是采采
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- 现代 传感 技术 系统 课件 第四
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