扫描电镜和电子探针的原理和应用.ppt
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1、扫描电镜和电子探针在扫描电镜和电子探针在 材料科学中的应用材料科学中的应用现代测试技术课题论文现代测试技术课题论文 指导老师:指导老师:指导老师:指导老师:bbgckabbgckabbgckabbgcka 班班班班 级:级:级:级:ssrhjhssrhjhssrhjhssrhjh 姓姓姓姓 名名名名:trsyrwtrsyrwtrsyrwtrsyrw 目 录1 1、背景、背景2 2、工作原理、工作原理 (1 1)扫描电镜的工作原理)扫描电镜的工作原理 (2 2)电子探针的工作原理)电子探针的工作原理3 3、应用、应用 (1 1)扫描电镜的应用)扫描电镜的应用 (2 2)电子探针的应用)电子探针的
2、应用4 4、参考资料参考资料1、背 景 扫描电子显微镜和电子探扫描电子显微镜和电子探针由于其制样简单、放大倍针由于其制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点,故被率高、景深大等特点,故被广泛地应用于化学、生物、广泛地应用于化学、生物、医学、冶金、材料、半导体医学、冶金、材料、半导体制造、微电路检查等各个研制造、微电路检查等各个研究领域和工业部门。它们在究领域和工业部门。它们在材料科学中有着广泛的应用,材料科学中有着广泛的应用,在实际应用中也有着一定的在实际应用中也有着一定的区别。区别。扫描电子显微镜 电电子探子探针针是是电电子探子探针针 X X 射射线
3、显线显微分析微分析仪仪的的简简称,英文称,英文缩缩写写为为EPMA(Electron probe X-ray microanalyser)EPMA(Electron probe X-ray microanalyser),扫扫描描电电子子显显微境微境英文英文缩缩写写为为 SEM SEM(Scanning Electron MicroscopeScanning Electron Microscope)。)。这这两种两种仪仪器是分器是分别发别发展起来的,但展起来的,但现现在除在除专门专门的的电电子探子探针针外,大部分外,大部分电电子子探探针谱仪针谱仪都是作都是作为为附件安装在附件安装在扫扫描描电镜电
4、镜或透射或透射电镜电镜上,与上,与电镜组电镜组成一个多功能成一个多功能仪仪器以器以满满足微区形貌、晶体足微区形貌、晶体结结构及化学构及化学组组成的同位成的同位同同时时分析的需要。分析的需要。由于由于 EPMA EPMA 与与 SEM SEM 设计设计的初衷不同,所以二者的初衷不同,所以二者还还有一定差有一定差别别,例如,例如 SEM SEM 以以观观察察样样品形貌特征品形貌特征为为主,主,电电子光学系子光学系统统的的设计设计注重注重图图像像质质量,量,图图像的分辨率高、景深大。像的分辨率高、景深大。现现在在钨钨灯灯丝丝 SEM SEM 的的二次二次电电子像分辨率可达子像分辨率可达 3nm 3n
5、m,场发场发射射 SEM SEM 二次二次电电子像分辨率可子像分辨率可达达 1nm 1nm。由于。由于 SEM SEM 一般不安装一般不安装 WDS WDS,所以真空腔体小,腔体可,所以真空腔体小,腔体可以保持以保持较较高真空度;另外,高真空度;另外,图图像像观观察所使用的察所使用的电电子束子束电电流小,流小,电电子光路及光子光路及光阑阑等不易等不易污污染,使染,使图图像像质质量量较长时间较长时间保持良好的状保持良好的状态态。背背 景景 EPMA 一般以成分分析为主,必须有一般以成分分析为主,必须有 WDS 进行元素成分进行元素成分分析,真空腔体大,成分分析时电子束电流大,所以电子光路、分析,
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- 扫描电镜 电子探针 原理 应用
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