第4章 机电一体化检测系统.ppt
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1、第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 4.1 概述概述4.2 位移检测位移检测 4.3 速度、加速度检测速度、加速度检测4.4 力、扭矩和流体压强检测力、扭矩和流体压强检测4.5 传感器前级信号处理传感器前级信号处理4.6 传感器接口技术传感器接口技术4.7 传感器非线性补偿处理传感器非线性补偿处理思考题思考题 第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 4.1 概述概述 4.1.1检测系统的组成(1)把各种非电量信息转换为电信号,这就是传感器的功能,传感器又称为一次仪表。(2)对转换后的电信号进行测量,并进行放大、运算、转换
2、、记录、指示、显示等处理,这叫作电信号处理系统,通常被称为二次仪表。非电量检测系统的结构形式如图4-1所示。第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 图4-1非电量检测系统的结构形式第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 4.1.2传感器的概念及基本特性1.传感器的构成传感器一般由敏感元件、传感元件和转换电路三部分组成,如图4-2所示。第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 图4-2传感器的组成框图第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统(1)敏感元件:是一种能够将被测量转换成易于测量的物理量的预变换装置,其输入、输出间具有确定的数学关系(最好为线性)。如弹
3、性敏感元件将力转换为位移或应变输出。(2)传感元件:将敏感元件输出的非电物理量转换成电信号(如电阻、电感、电容等)形式。(3)基本转换电路:将电信号量转换成便于测量的电量,如电压、电流、频率等。第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统(1)线性度。传感器的静态特性是在静态标准条件下,利用一定等级的标准设备,对传感器进行往复循环测试,得到的输入/输出特性(列表或画曲线)。通常希望这个特性(曲线)为线性,这对标定和数据处理带来方便。但实际的输出与输入特性只能接近线性,与理论直线有偏差,如图4-3所示。第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 图4-3传感器的线性度示意图第第4章章
4、机电一体化检测系统机电一体化检测系统 线性度可用下式计算:式中:;L线性度(非线性误差);max最大非线性绝对误差;yFS输出满度值。(2)灵敏度。传感器在静态标准条件下,输出变化对输入变化的比值称为灵敏度,用S0表示,即(4-1)第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 对于线性传感器来说,它的灵敏度S0是个常数。(3)迟滞。传感器在正(输入量增大)、反(输入量减小)行程中输出/输入特性曲线的不重合程度称为迟滞,迟滞误差一般以满量程输出yFS的百分数表示:式中:Hm输出值在正、反行程间的最大差值。(4-2)(4-3)第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 迟滞特性一般由实验
5、方法确定,如图4-4所示。图4-4迟滞特性第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统(4)重复特性。传感器在同一条件下,被测输入量按同一方向作全量程连续多次重复测量时,所得的输出/输入曲线不一致的程度,称为重复特性,如图4-5所示。重复特性误差用满量程输出的百分数表示,即式中:Rm最大重复性误差。重复特性也由实验方法确定,常用绝对误差表示,如图4-5所示。(4-4)第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 图4-5重复特性第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统(5)分辨力。(6)漂移。由于传感器内部因素或在外界干扰的情况下,传感器的输出发生的变化称为漂移。(7)精度。精
6、度表示测量结果和被测的“真值”的靠近程度。3.传感器的动态特性动态特性是指传感器测量动态信号时,输出对输入的响应特性。第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 4.1.3信号传输与处理电路传感器信号处理电路内容的选择所要考虑的问题主要包括:(1)传感器输出信号形式,如是模拟信号还是数字信号,是电压还是电流。(2)传感器输出电路形式,是单端输出还是差动输出。(3)传感器电路的输出能力,是电压还是功率,输出阻抗的大小如何等。(4)传感器的特性,如线性度、信噪比、分辨率。第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 4.2 位移检测位移检测 4.2.1模拟式位移传感器1.可变磁阻式电感传
7、感器典型的可变磁阻式电感传感器的结构如图4-6所示,它主要由线圈、铁心和活动衔铁组成。第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 图4-6可变磁阻式电感传感器第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 当线圈通以激磁电流时,其自感L与磁路的总磁阻Rm有关,即(4-5)式中:W线圈匝数;Rm总磁阻。如果空气隙较小,而且不考虑磁路的损失,则总磁阻为(4-6)第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 式中:;L铁心导磁长度(m);铁心导磁率(H/m);A铁心导磁截面积(m2),A=ab;空气隙(m),=0+;0空气磁导率(Hm),0=210-7;A0空气隙导磁截面积(m2)。第第
8、4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 由于铁心的磁阻与空气隙的磁阻相比是很小的,因此计算时铁心的磁阻可以忽略不计,故(4-7)将式(4-7)代入式(4-5),得(4-8)第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 式(4-8)表明,自感L与空气隙的大小成反比,与空气隙导磁截面积A0成正比。当A0固定不变而改变时,L与成非线性关系,此时传感器的灵敏度为图4-7为差动型磁阻式传感器,它由两个相同的线圈、铁心及活动衔铁组成。当活动衔铁接于中间位置(位移为零)时,两线圈的自感L相等,输出为零。当衔铁有位移时,两个线圈的间隙为0+,0-,这表明一个线圈的自感增加,而另一个线圈的自感减小。(
9、4-9)第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 图4-7可变磁阻差动式传感器第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 图4-8可变磁阻面积型电感传感器第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 如图4-9所示,在可变磁阻螺管线圈中插入一个活动衔铁,当活动衔铁在线圈中运动时,磁阻将变化,导致自感L的变化。第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 图4-9可变磁阻螺管型传感器第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 2.涡流式传感器涡流式传感器的变换原理,是金属导体在交流磁场中的涡电流效应。如图4-10所示,金属板置于一只线圈的附近,它们之间相互的间距为。(
10、1)高频反射式涡流传感器。如图4-10所示,高频(1MHz)激励电流i0产生的高频磁场作用于金属板的表面,由于集肤效应,在金属板表面将形成涡电流。第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 图4-10高频反射式涡流传感器第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统(2)低频透射式涡流传感器。低频透射式涡流传感器的工作原理如图4-11所示。第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 图4-11低频透射式涡流传感器(a)原理图;(b)曲线图第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 3.互感型差动变压器式电感传感器差动变压器式电感传感器是常用的互感型传感器,其结构形式有多种,
11、以螺管型应用较为普遍,其结构及工作原理如图4-12(a)、(b)所示。第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 图4-12差动变压器式电感传感器(a)、(b)工作原理;(c)输出特性第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 图4-13是用于小位移的差动相敏检波电路的工作原理。图4-13差动相敏检波电路的工作原理第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 图4-14是电感测微仪所用的螺旋差动型位移传感器的结构图。图4-14螺旋差动型传感器的结构图第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 4.2.2数字式位移传感器光栅由标尺光栅和指示光栅组成,两者的光刻密度相同,但体
12、长相差很多,其结构如图4-15所示。它们是沿着与光栅条纹几乎成垂直的方向排列的,如图4-16所示。第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 图4-15光栅测量原理第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 图4-16莫尔条纹示意第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 光栅莫尔条纹的特点是起放大作用,用W表示条纹宽度,P表示栅距,表示光栅条纹间的夹角,则有若P0.01mm,把莫尔条纹的宽度调成10mm,则放大倍数相当于1000倍,即利用光的干涉现象把光栅间距放大1000倍,因而大大减轻了电子线路的负担。光栅测量系统的基本构成如图4-17所示。(4-10)第第4章章 机电一
13、体化检测系统机电一体化检测系统 图4-17光栅测量系统第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 滑尺表面刻有两个绕组,即正弦绕组和余弦绕组,见图4-18。第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 图4-18感应同步器原理图第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 圆盘式感应同步器如图4-19所示,其转子相当于直线感应同步器的滑尺,定子相当于定尺,而且定子绕组中的两个绕组也错开1/4节距。第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 图4-19圆盘式感应同步器(a)定子;(b)转子第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统(1)鉴相式。所谓鉴相式,就是根据感应电
14、势的相位来鉴别位移量。即uA=Umsint,uB=Umcost时,则定尺上的绕组由于电磁感应作用将产生与激磁电压同频率的交变感应电势。图4-20说明了感应电势幅值与定尺和滑尺相对位置的关系。第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 图4-20滑尺绕组位置与定尺感应电势幅值的变化关系第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 滑尺在定尺上每滑动一个节距,定尺绕组感应电势就变化了一个周期,即eA=KuAcos (4-11)式中:;K滑尺和定尺的电磁耦合系数;滑尺和定尺相对位移的折算角。若绕组的节距为W,相对位移为l,则(4-12)第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 同样
15、,当仅对正弦绕组B施加交流激磁电压UB时,定尺绕组感应电势为eB=-KuBsin(4-13)对滑尺上两个绕组同时加激磁电压,则定尺绕组上所感应的总电势为 e=eA+eB=KuAcos-KuBsin=KUmsintcos-KUmcostsin=KUmsin(t-)(4-14)从上式可以看出,感应同步器把滑尺相对定尺的位移l的变化转成感应电势相角的变化。因此,只要测得相角,就可以知道滑尺的相对位移l:(4-15)第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统(2)鉴幅式。在滑尺的两个绕组上施加频率和相位均相同,但幅值不同的交流激磁电压uA和uB。uA=Umsin-1sint(4-16)uB=Um
16、cos-1sint(4-17)式中:1指令位移角。设此时滑尺绕组与定尺绕组的相对位移角为,则定尺绕组上的感应电势为e=KuAcos-KuB sin=KUm(sin-1 cos-cos-1sin)sint=KUmsin(1-)sint(4-18)第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 4.3 速度、加速度检测速度、加速度检测4.3.1直流测速机速度检测图4-21所示为永磁式测速机的原理图。第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 图4-21永磁式测速机的原理图第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 直流测速机的输出特性曲线如图4-22所示。图4-22直流测速机的输出特
17、性第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 4.3.2光电式转速传感器光电式转速传感器是一种角位移传感器,由装在被测轴(或与被测轴相连接的输入轴)上的带缝隙圆盘、光源、光电器件和指示缝隙盘组成,如图4-23所示。第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 图4-23光电式转速传感器的结构原理图第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 根据测量单位时间内的脉冲数N,则可测出转速为(4-19)式中:;Z圆盘上的缝隙数;n转速(rmin);t测量时间(s)。一般取Zt=6010m(m0,1,2,)。利用两组缝隙间距W相同,位置相差(i2+14)W(i0,1,2,)的指示缝隙和两
18、个光电器件,就可辨别出圆盘的旋转方向。第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 应变式传感器加速度测试原理如图4-24所示,它通过测试惯性力引起弹性敏感元件的变形换算出力的关系,相关原理在后续内容中介绍。第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 图4-24应变式加速度传感器第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 1.压电效应及压电材料图4-25表示晶体切片在z轴和y轴方向受压力和拉力时电荷产生方向的情况。第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 图4-25晶体的压电原理第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 2.压电传感器的结构及特性压电传感器一般由
19、两片或多片压电晶体粘合而成,由于压电晶片有电荷极性,因此接法上分成并联和串联两种(如图4-26所示)。第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 图4-26压电传感器的并联、串联示意图(a)并联;(b)串联第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 3.压电传感器的应用压电加速度测试传感器的结构如图4-27所示。图4-27压电加速度传感器的结构第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 4.4 力、扭矩和流体压强检测力、扭矩和流体压强检测4.4.1力、力矩检测1.柱形或筒形弹性元件如图4-28所示,这种弹性元件结构简单,可承受较大的载荷,常用于测量较大力的拉(压)力传感器中,
20、但其抗偏心载荷和测向力的能力差,制成的传感器高度大。应变片在柱形和筒形弹性元件上的粘贴位置及接桥方法如图4-28所示。第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 图4-28柱形和筒形弹性元件组成的测力传感器第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 若在弹性元件上施加一压力p,则筒形弹性元件的轴向应变L为用电阻应变仪测出的指示应变为=2(1+)L(4-21)式中:;p作用于弹性元件上的载荷;E圆筒材料的弹性模量;圆筒材料的泊松系数;A筒体截面积,A=(D1-D2)+24。其中,D1为筒体外径,D2为筒体内径。(4-20)第第4章章 机电一体化检测系统机电一体化检测系统 2.梁式弹性
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