安全验收评价实施报告模版.docx

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1、XX项目安全验收评价报告模版1编制说明1.1评价依据1、中华人民XX国主席令第70号中华人民XX国安全生产法2、劳研部令第3号建设项目（工程）劳矶安全卫生监察规定3、劳动部劳安字19921号建设项目（工程）取业安全卫生设施与技术措施验收办 法4、国家安管局安监管技装字200337号安全评价通则5、国家安管局安监管技装字200379号安全验收井侦导则6、 XX市安管局律安监管字200284号XX市安全评价管理办法SJ30002-92电子工业取业安全卫生设计规定7、 国家、地方、行业有关劳动安全的法规、规定、视X和标准（详见附件1 ）建设单位提供的中低国标集成电路制造（XX） XX项目安全验收的相

2、关资料。8、 中苏国既集成电潞制造（XX） XX委托XX泰山安全科技XX进行中芯国际集成 电路制造（XX） XX项目安全验收评价合同书。1.2评价目的及评价X围1、评价目的及评价内容）安全验收评价的目的是贯彻“安全第一，预防为主”的方针，为建设项目安全序号检查项目及内容依据法规检查 结果备注按国家及电子工业有关规定涂色。4.6厂房、动力站房的安全出口及疏散通道、应设 置明显的标志。SJ30002-92不齐全。4.7安全标志的涂色，应符合国家现行安全标志 及安全色标准的规定。SJ30002-92不规Xo513综合评价分析1、危险危害辨识1 ）厂区建（构）筑物如间距小，道路挟窄，路面不平整、不畅通

3、，若大流、物流 不能有效分流，车辆无回车场地或车辆刹车、音响、灯光等出现问题，易引发 车辆伤害事故。2）厂区内丙烷站、化学品库（室），油罐区、110KV变电站等易用、易爆、易中 毒，及要害部位无安全标志，无限行、禁行等交通标志。易造成误人及适章等, 引发中毒、燧爆、触电等伤害。3）厂区内若坑、孔、井及走台、平台无防护围栏或盖板，直梯、斜梯不符合有关 规定都可引发碰、磕、摔伤和坠落伤害。4）厂区内若道路无路标无交通标志，过路工业管路无限高标志，可造成各种车辆 随意超速，任其闯越工业管路架设较低区域，易造成车辆交通事故或设备损害 事故。2、问题与建议区总平面布置根据生产、工艺特点按功能分区布置，能

4、的满足生产加工过程流 程要求，建（构）筑物安全距离基本符合有关规定要求，厂区道路与主要建筑物轴线平行或垂直，主要生产区、库区、动力区的道路呈环形布置，能满足消防车 畅通和回转的要求，厂区各种井、沟有盖板、平台、走台、的梯基本符合有关标 准要求。但仍有一些问题应引起注意。需采取相应措施以消除可能导致事故发生 的患。1 ）油罐区与锅炉房和厂区道路的间距未达到GB50074石油库设计规X的要求。 应按油罐区评价单元的建议完善其防火防爆措施并控制储油量。2）凡容易发生事故危及安全的场所，安全出入口，应设置齐全醒目的安全警示标 志。安全标志的涂色应符合国家现行的安全标志及安全色标准的规定。3）厂区工业管

5、路应按GB7231 -87工业管路的基本识别色和识别符号规定，基 本识刖色应涂刷在管路全长上或在管路上涂刷宽150mm的色环或在管路上用 基本识刖色胶带缠绕宽150mm的色环。基本识刖色色环应涂刷在所有管路交叉、阀门和穿孔西侧等的管路上以 及其他需要识刖的部位。在管路上用识刖符号标识管内流体性质、名称和流 向。4）厂区道路应设置显示道路名称、方向、车辆限速的交通标志。在易然易爆的生 产区域应根据需要可将部分道路划分出限制或禁止车辆通行的路段，并设置标 志O评价结论厂区总平面布置综合考虑有利生产，方便工作的要求，各建（构）筑物按明能分区，生产工艺流程短捷便利，整体布局合理、区道路呈环形布置，消防

6、通道畅通、照明完好,大、物分流，并为企业发展留有余地和空间，基本符合GB50187工业企业总平面设计规X的要求，只要按照检查表和建议的内容给予补充完善，可为实现安全生产创造更为有 利的条件。5.2生产工艺及危脸化学品使用安全评价单元支援车间危险化学品使用、储存、安全措施情况如表521-3所示:危险化学品使用、储存及安全措施表表521-3序 号储存场 所名称储存危险化学品名称气柜教量（个）安全设施1毒性气 体室珅化氢混合气（ASH3/H2）110%氨气/氮气工艺吹扫、TGM报警、消防 水喷淋、排风、火灾声光报警、shutdown 按扭、背利防护用品专相、双套管输送， 内套管为真空,段侦测器,介质

7、泄漏时， 报警。1.5%错烷/氢气(GeH4/H2)11%磷化氢/氮气混合气（PH/M）15%磷化氢/氮气混合气（PH3/N2）22易易气 体室氮气(NH3)810%氨气/氮气工艺吹打、TGM报警、氮、 第环境监刚报警、消防水喷淋、排风（酸 碱性排贝系统分开）、火灾声光报警、Shut down按钮、芹动防护用品专柜。一氧化碳（CO）3二氯硅烷（SiH2CI2）1二氟甲烷（CH2F2）150Ppm乙硼烷/氢气（B2H6/b）1氟甲烷（CH3F）2100ppmB2H6/N215% B2H6他2100ppm乙硼烷/氢气(B2HJH2)210%氨气/氮气1C4F613腐蚀性 气体室。2210%氮气/氮

8、气工艺吹打、TGM报警、消防 水喷淋（CR无）、排风、火灾声光报警、shut down按钮、劳动防护用品专柜。CIF32HBr2HCI11SiF414氧化气NF3910%氨气/氮气工艺吹打、TGM报警、消防N2O7序 n储存场所名称储存危险化学品名称气柜数量（个）安全设施体室30%02/He6水喷淋、酸性排风、火灾声光报警、Shut down按钮、劳动防护用品专柜。5惰性气 体室1.2%He+N2110%氮气/氮气工艺吹扫、TGM报警、消防 水喷淋、排风、火灾声光报警、shut down 按钮、劳动防护用品专柜。C4F82CHF31C2F61CO21CF42CHF32SF62He14%H2/N

9、216最室HCICDM1设排网系统、收集井、吸收棉、双套管输 送、内设泄漏报警侦测器、PEH在线型火 灾声光报警装置，自动水喷淋装置。BOECDM1HFCDM2NOECDM1HNO3CDM1H3PO4 CDM1H2sO, CDM2HF1OO:1 CDM17BaseRoom（减室）NH4OH1设排风系统、收集井、吸收棉、双套管输 送内设泄漏报警侦测器，PEH在线型火灾 声光报警装置，自动水喷淋装置、消防器 林。H2O22SD-118溶剂室ACT940 CDM1设溶剂排风系统、收集井、吸收棉、双套 管输送、内设泄漏报警侦刈器、PEH在线 型火灾声光报警装置，自动水喷淋装置、 消防器材。EG-O11

10、EBR1OA11 PA-01 CDM1危险危害辨识与分析 k火灾、爆炸各类易用液体、易燃气体在生产、情存、输送过程中，一旦因设备材质缺陷、制 造质量差、机械损伤等原因致使设备密封效果不好、包装容器破损以及人员误操 作，造成物料泄漏，如作业现场通风不良，与空气混和达到爆炸极限，遇有火源 可能发生火灾、爆炸;2、腐蚀、中毒、化学灼伤清洗、扩散、光刻、蚀刻等生产区、酸室、Base room,减室、溶剂室等腐蚀性化 学品生产、储存、使用场所内，盛装酸、碱性腐蚀品磷酸、盐酸等设备、容器以 及输送管路因材质缺陷，制造质量差，搬运、使用过程机械损坏、血翻，造成物 料泄漏，如人体接触泄露的酸、碱性物质将会引起

11、严重的化学灼伤；同时各类腐 蚀性气体、毒性气体因盛装气相、输送管潞、使用设备腐蚀、制造缺陷等原因造 成泄漏，大接触或吸入有毒、腐蚀性气体，均会造成人员中毒。3、物理爆炸各类压力容器（包括气瓶）、管道，如果设备、管道因材质缺陷、设计不合理、 制造焊接质量差、腐蚀等使其强度降低以及安全阀、压力表等附件失灵等，可能 发生容器、管道不能承受设计压力而发生爆炸，造成人员伤亡，设备损坏。4、高温为伤高温设备、蒸气管路等表面，保温、隔热效果不好，易形成烫伤事故。5、5光、红外线辐射灼伤在各类使用激光源、红外线光源的设备、机台上，如因光源密闭性小好或损坏或 操作不当，致使光源直射观察者眼睛，将会造成眼灼伤。6

12、、高颁、噪声伤害在离子植入区，使用离子植入机等高魏设备；清洗、光刻、蚀刻区使用各类清洗 机、蚀刻机、微影机等产生噪声的设备，如上述各类设备高频、噪声防护措施不 当或损坏都会对人员造成物理因素伤害。7、高处坠落当去废溶剂储罐等相对基准面标高超过2nl设备进行检查、操作或维修设备时， 若未按标准设置恻柳、护栏、平台或设置不完善，作业人员去检查、操作或检修 时,稍不慎会发生高处厘落事故。8、触电各类用电设备、照明、配电系统线路保护接等未接或失效，线路绝缘损坏、线路 短路等均可能发生触电事故。9、电气火灾电气设备、配电系统未按规定装设漏电保护器、过电压保护等装置或失效，线潞 绝缘损坏、短相，以及防爆场

13、所电气设备、线路、照明不符合防爆要求等均会发 生电气火灾。10、雷电危害建筑物防雷设计不合理、施工小规X、接地电阻值不符合规X要求，当雷击建筑 物、电力设备、线路等时，会产生雷电过电压，在雷电波及的XII内会导致严重 损坏建筑物、设备并可能危及人身安全。雷电火花还可能引发易热易爆物质的火 灾、爆炸，造成严重的生命、财产损失。11、静电危害如火灾、爆炸危险环境内（U:光刻、清洗区、扩散区、可热气体储藏间等）设 备、管路防静电设计或施工不规X,在使用、输送、贮存易燃易爆物质时所产生 的静电电荷，不能及时消除，随着时间延续,静甩荷将越聚越多,静电电压逐渐 升高，当达到一定程度时，发生放电火花；或使用

14、有火花工具、穿用不防静电的 鞋、服装而产生静电火花等，均可能引燃易燃易爆物质，造成火灾、爆炸。安全检查表依据GBJ16-87（建筑设计防火规X（2001版）、GB50187C工厂企业总平面设计规X、 SJ30002-92C电子工业职业安全卫生设计规定、GBJ19-87采暖通用与空气调节设计规X （2001年版）、GB50073-2001洁净厂房设计规X、GB5083-99生产设备安全卫生设计 总I、GB12801-91生产过程安全卫生要求总则、GB2893-2001安全色、GB2894-96 安全标志、GB15603-95常用化学危险品场存通则、国务院令第344号危险化学品 安全管理条例等法规

15、、标准、规X编制安全检查表，查验结果详见表523-1。生产工艺及危脸化学品使用单元安全检查表表序号检查项目及内容依据法规检查 结果备注1建筑结构及平面布置1.1生产厂房耐火等级不应低于二级。GBJ16-87V均为二级。1.2若多层生产房酎火等级为二级，其防火分 区最大允许占地面积为4000m2o（因有自动水 喷淋系统，防火分区最大允许占地面积增加 一倍）GBJ16-87V占地面积4000m2o序号检查项目及内容依据法规检查 结果备注1.3有爆炸危除的生产厂房（生产车间、易用气 体室、桂烷室等）宜独立段置。GBJ16-87V单独段置。1.4有爆炸危险的生产厂房（生产车间、易热气 体室、硅烷室等）

16、应设置必要的泄压设施， 泄压设施宜采用轻质屋顶作为泄压面积。GBJ16-87硅烷室屋顶泄爆、生 产车间、易热气体室 无泄压。1.5硅烷室泄压面积与厂房的体积比值（|72佃3） 宜采用0.050.22,体积超过1000R13的建筑, 不宜小于0.03。GBJ16-87V为 0.3o1.6生产车间、易燃气体室、硅烷室等可能散发 可热气体、可热蒸气的厂房应采用不发火地 而。GBJ16-87V环氧地面。1.7有爆炸危险的该甲乙类厂房不应设置办公 室、休息室如必须贴邻布置，应采用一、二 级耐火等级建筑物并应采用耐火极限不低于 3h的非热烧体防护墙隔开并设置直通室外或 疏散楼梯的安全出口。GBJ16-87

17、V1.8厂房结构应满足地震烈度7度设防要求，框 架抗震等级二级要求。GB50187-93V7度设防。1.9芯片光刻等对清净度要求较高的主要生产厂 房，宜布置在厂区最小独率风向的下风倒， 并在四周留有绿化场地。SJ30002-92V1.10易燃易爆工作间宜设置在单层厂房内，或设 在多层厂房的顶层端部。SJ30002-92X除硅烷室单独设置 外，均设在多层厂房 一、二层内。2清净厂房2.1浩净室应设置人员净化、物料净化室和设施。GB50073-2001V分别设置大员、物料 净化室。2.2洁净室内噪声值不应大于70db （A）。GB50073-2001Vw65dB。2.3洁净实验室耐火等级不应低于二

18、级。GB50073-2001V二级。2.4洁净室的顶棚和壁板应为不用烧体，且不得GB50073-2001V序号检查项目及内容依据法规检查 结果备注采用有机复合材料。2.5浩净生产与一般生产区帧之间应设置不然烧 体隔断措施。GB50073-2001V用防火墙和防火口介隔。2.6清净区与非清净区、洁净区与室外相通的安 全疏散门应向疏散方向开启,并加闭口落。GB50073-2001V2.7浩净厂区应设置事故排贝，浩净室事故排贝 换气次数应采用1020次/h,事故排贝宜由 常用排风系统与事故排风系统共同保证，事 故排网装置的开关应分刖设在清净室内和室 外便于操作的地点，事故排网应与报警装置 联镇。SJ

19、30002-92V设置排风系统，常开； 特殊气体室室外设手 旗开关，设自动联锁 报警。3作业环境及工艺、设备安全装置3.1作业环境车间内人工运输通道宽度必须zl.Om。SJ30002-92V2.5m拨备设施之间应留有相应的操作空间、检修 空间、巡回检查及安全通道。SJ30002-92V浩净厂房应设置供人员疏散用的应急照明， 并应设置指明应急安全出口的疏散标志。在 专用消防出口处应设红色应急照明灯。SJ30002-92V设应急照明、疏散标 志。易搀易爆厂房的人员疏散，通道应保持畅通， 并应设置应急照明，疏散指示标志及排涮措 施。SJ30002-92V的梯、平台所设置的护栏的设计应符合有关 标准。

20、GB4053,1 3-93GB4053.4-83第条X废液收集罐处平台护 栏不符要求。3.2电子、化学工艺安全高能离子注入机应设在大流最少的区域内， 并应有符合国家标准要求的接地及相应的电 磁波、X射线防护措脑。SJ30002-92V设置于人流最少的东 侧，采取隔离防护措 to联动生产线应有紧急制动装置或联锁装置， 危险部位应设置醒目的警告标志；散发毒气SJ30002-92V设置紧急制动，设置 警告标志及排网系序号检查项目及内容依据法规检查 结果备注的工序应设置排风；带电作业的工序需装设 自动保护装置。统，带电作业设置接 地政瘴、短路故障保 护装置。使用酸、减或有机溶剂进行清洗的段备，必 须装

21、设局部排用系统，使用有毒溶剂进行清 洗的设备应采取密闭措施；凡使用电气的化 学清洗设备，应有良好的接地。SJ30002-92V均设置。生产车间内应设置紧急冲淋装置及洗眼器。SJ30002-92V设置洗眼、淋浴器。对于存在激光幅射设备，应采取屏蔽等防护 措施。SJ30002-929.1V屏蔽光源保护措脑。3.3防火、防爆、防中毒输送易燧易爆介质的管道、管件、阀门、泵 的连接处必须严密，管道系统应采取接地措 施。SJ30002-92V管道系统通过管架接 地。易热工作间的设备、电气线路，开关、灯具 等，均应采用相应等级的防爆型产品。SJ30002-92V电气设备金属外壳应与PE线可靠连接。GB501

22、69-92V氢气、co和天然气管道不能通过烟道、通风 管、配电室和易热易爆物仓库。GB50028-93V管道应标志介质及流向。SJ30002-92V对有害气体、易用气体的作业区，应采取切 实有效的防根措施，提高自动化，采取密闭、 隔离生产。SJ30002-92V隔离操作、密闭生产。3.3,7车间空气中有害物质的浓度，必须符合工 业企业设计卫生标注的规定。SJ30002-92已做监凝，数据暂不 能提供。输送有毒、有害、易用、易爆及有腐蚀性气 体或液体的管道、管件、阀门，其材质、连 接方法，必须具有密封、耐压、防腐蚀、防 静电等相应措施。SJ30002-92V双套管输送，防腐内涂层。验收提供科学依

23、据，对建设项目未达到安全目标的系统或单元提出安全补偿及 补救措施，以利于提高建设项目本质安全程度，满足安全生产要求。2）安全脸收评价内容检查建设项目中安全设施是否已与主体工程同时设计、同时施工、同时交 件生产和使用；评价建设项目及与之配套的安全设施是否符合国家有关安 全生产的法规、规定和技术标准。从整体上评价建设项目的运行状态和安全管理是否正常、安全、可靠。2、评价X围根据本项目安全验收评价技术服务合同书的规定内容，经与建设单位商定：对中 芯XX芯片生产厂房、化学品库、污水处理站以及变配电站、耦炉房、油库、空 压站、冷冻站、水泵房的设备、设施进行劳动安全验收评价。由于公司对工艺及产品生产技术X

24、X且芯片生产线工艺设备自动化程度高，大、 机分离，安全性能高，据同行业生产实践，发生事故的可能性极小，对建设项目 的总体背动安全验收评价结果影响较小，应公司的要求，在芯片生产厂房芹动安 全验收评价中，在危险危害因素辨识分析的基础上，仅对其危险性大的苏片生产 的辅助段腼进行劳动安全验收评价。3主要危险危害因素分析1、物质的危除危害芯片生产过程中，使用多种化学物品，厂区内设有储存这些化学物品的化学品库, 化学品种类达80种。技照GB13690-92常用危险化学品的分类及标志规定中序号检查项目及内容依据法规检查 结果备注危险相同的生产，宜集中或相邻布置SJ30002-92V对于产生有害、有毒物质的厂

25、房，厂房内部 应采取便于清打、刷洗以及防止毒物附着和 积蓄的措施。SJ30002-92V防泄漏收集采用二次 容器，1.1倍容积。车间内各种明沟，应加段盖板。SJ30002-92V生产过程中工作服易污染、沾染，易经皮肤 吸收的剧毒物质，浩净度要求严格的厂房和 车间应设置洗衣房。SJ30002-92V设洗衣房。凡使用酸、减或有机溶剂进行化学清洗的设 备，必须装设局部排风联勤。SJ30002-92V有下列情况之一时，排风不应合为一个系统： 混合后能引起热烧或爆炸时；(1)混合后能引起雄烧、爆炸时；(2)易热易爆工作间排现与一般工作间排 MoSJ30002-92V均设置独立排风。氢气、煤气管道，在末端

26、、最高点等处应投 置放散管，放散管应高出屋顶；放散管上应 股阻火器。SJ30002-92V浩泽厂房内用于硅烷等容易自燃气体的风管 宜采用不锈钢管、排放含的、碱性气体的贝 管应采用不燧或经过防火处理的专用塑料贝 管或不锈钢风管。SJ30002-92V双层不惜纲、酸碱风 管采用ATC玻璃钢涂 层。4危险化学品的使用、输送与管理4.1危险化学品应按其类刖、性质分类、分堆、 分同储存、输送。性质相抵触的化学危险品， 严禁混放在一起。SJ30002-92V分配减有毒气体室、 硅烷室、易用气体室等。 支援车间分功能瓯4.2输送危除化学品的设备、附属仪表、器材等， 应根据危腌介质，采用必要的防泄漏、防腐 蚀

27、措施。输送腐蚀性较强的液体管道，不应 敷设在其它管道的上方，并不宜连接理地敷SJ30002-92V双层套管内设泄漏检机序号检查项目及内容依据法规检查 结果备注设。4.3储存有较强腐蚀性液体的设备应设置必要的 防溢出、随渗漏紧急处理设施。其基础及周 围地面应采取防腐蚀处理。SJ30002-92V全封闭输送机组，多种 报警联锁装置；周围设 置围堰。4.4对于输送具有较强腐蚀性液秣的化学药剂 泵、在其填料函或机械密封圈、法兰、圈门 易喷射泄漏处，应设置适当的安全防护。SJ30002-92V全封闭PLC程控泵组 无泄漏。泵为全封闭 型4.5输送有毒介质的设备、管道放空时，应加以 收集或处理，不得任意排

28、放。SJ30002-92V收集并加以洗涤。4.6易热、易爆的车间，应采用易于清洗、撞击 或磨擦时不产生火花的地面。SJ30002-92V桂烷室、易燃室符合要 求。4.7有爆炸危除的房间（如此烷室、易热气体室、 生产车间等），应设置泄压措施，安全出口不 应少于2个。其中一个直接对外，不超过loom? 的房间可设一个出口。GBJ16-87世烷室设泄压其余 无，安全出口均不少 于2个。4.8危险化学品使用场所应设置通讯、报警装置， 并保证在任何情况下均处于正常使用状态。危腌化学品安 全管理条例 第18条V设置应急通讯、自动、 手动报警装置。4.9应在危险化学品作业场所设置房1救设施，并 提供应急处理

29、的方法。工作场所安全 使用化学品规AE第17条V设置应急用品柜，提 供处理方法。4.10使用单位应对盛装、！C存危险化学品的设备， 采用颜色、标牌、标签等形式，标明其危除性。工作场所安全 使用化学品规AE第19条V储存柜上均有标识。4.11丙渐、双氧水等氧化剂不得在操作岗位附近 混合贮存，氧化剂应单独存放。GB15603-19956.7V单独存放。4.12废弃、过期的化学危险品及使用过的包装容 器必须妥善保管，不得随意摭弃，依据危除 废弃物的处置标准进行处置。关于加强化学 危险物品管理 的通知V4.13使用危险化学品，在XX市有关主管部门办理市安监局、市经正申办。序号检查项目及内容依据法规检查

30、 结果备注了登记手续，并取得使用许可证。委相关文件要 求4.14有关领导和从业人员必须接受法律、法规、 规章和安全知识、专业技术的培训，经考核 合格，方可上岗作业。危险化学品 安全管理条例 第四条已组织，尚未培训。5有毒气体控制装置5.1和烷、氯气、氨等有毒、易热、易爆气体的 纲新柜，离子刻蚀设备、离子注入机等使用 有害气体的作业点，应设事故排风装置。SJ30002-92V5.2使用珅烷、硅烷、氨等有毒工作间，宜设报 警装置及事故排风。报警装置宜与生产设备、 操作附联须，不工作，亦应定时进行排风。SJ30002-92V设置报警联勤装置及 事故排风。6电气6.1电气装置采用接地故障保护时，应做总

31、等电 位联接。SJ30002-92V等电位连接。6.2检测和控制仪表的电源和气源，停电或停气 可能使生产、动力设备造成重大事故时，必 须有备用电、气源。备用时应根据工艺、动 力要求确定，一般不小于15-30分钟。SJ30002-92V段发电机3台，压缩 空气备用气源2 30mino6.3停电或停气时，调节阀的阀位应处于安全位 置。SJ30002-92V6.4消防设施、防烟排烟系统、电动防火门窗、 火灾应急照明、消防用电设备，应采用单独 的供电回路，并当发生火灾切断生产、生活 用电时，应仍保证消防用电。其配电设备应 有明显标志。SJ30002-92V单独设置供电回路，UPS、EPS、SP 电源,

32、6.5在有爆炸危除环境内，敷设用气线路的沟道、 电缆或钢管，布穿越不同区域之间隔墙或楼 板处的孔河，应采用非热性材料严密堵塞。SJ30002-92V防火水泥堵塞c6.6电气设备线路必须安全可靠，照明应采用有防护罩 的灯具。SJ30002-92V线路穿管敷设，灯具 有防护罩。6.7在火灾、爆炸危脸环境内，可能产生静电危SJ30002-92V设备、管道均采取静序号检查项目及内容依据法规检查 结果备注害的设备、管道应采取静电接地措脑。电接地措施。6.8在重点防火、防爆作业区的人口处，应设计 人体导除静电装置；并配备个大防静电防护 用品。HG20571-95V设消除静电离子发生 器。7消防、报警设施7

33、.1建筑灭火器的配置应按建筑灭火器配置设 计规X的有关规定执行。GBJ16-87V7.2治净室及技术夹层应设置自动灭火系统。SJ30002-92V7.3生产厂房应段置火灾自动报警检恻系统。GB12801-91V7.4悌存、使用易用易爆物质的生产区、硅烷室、 易燃气体室等应设置可热气体监测报警装 置、事故排风及防爆段施。GBJ16-87SJ30002-92V设作业环境监侧报警 系统。7.5洁净厂房、有毒、易热气加间等可能散发可 搀、可爆和有毒、有害气体的场所应设置各 种可热、有毒、有害气体检漏报警装置。SJ30002-92V设置不同类型报警装 置。8气翔安全使用8.1使用气期应：采购和使用有制造

34、许可证的企业的合格产 品，不使用超期未检的气瓶。必须到已办理充装注册的单位或经销注册的 单位购气。气翔使用前应进行安全状况检查，对盛装气 体进行确认。气瓶放置地点不得靠近热源和明火，应保证 气加干燥。气枷立放时，应采取防止简例的措葩；夏季应防止爆晒；气瓶安全监察 规程第79条V各项措脑齐备,剌余 压力小于0.05Mpa自 动切换。序号检查项目及内容依据法规检查 结果备注严禁敲击、碰撞；严禁在气班上进行电焊引弧；期内气体不得用尽，必须留有剩余压力或重 量,氢气加剩余压力应不小于0.05Mpao8.2磷烷、御烷等有毒、易热、易爆气体钢翔， 必须放置在设有排风防护装置的金属柜内。 不工作时，应有自动

35、定时排风系统。SJ30002-92V长期通风。9安全标志9.1凡容易发生事故危及安全的场所，应设置安 全标志，必要处尚应设置声、光、色或声、 光结合的紧急警告信号。SJ30002-92V机台、气柜等均设置 安全标志。9.2厂房、动力站房的安全出口及疏散通道，应 设置明显的标志。SJ30002-92V9.3安全标志的涂色，应符合国家现行安全标 志及安全色标准的规定。GB2893-82GB2894-1996V9.4工业管路基本识别色应符合：绿色：水铝色：蒸气棕色：易燃液体黄褐色：气态或液态气体（空气、氧气除外）紫色：酸或减浅蓝色：空气或第气黑色：其它液体。GB7231-87未完全执行本国标。524

36、危险源综合分析与评价1、单元的主要危险因素SMIC中苏国除集成电路制造XX集成电路生产工艺复杂，同时使用多种易燧、易爆、有毒化学试剂和易燃、有毒气体，按照GBJ16-87 “生产的火灾危除性分类”为甲类，因此火灾、爆炸、中毒是本单元的主要危险因素，其次是腐蚀灼伤、物 理爆炸、高颁噪声伤害、静电危害等。2、已采取的主要安全技术、管理措施针对上述危险有害因素，为了确保生产工艺及支援车间的安全运行，企业已采取 的安全技术措施主要有：1 ）清净厂房、各类溶剂室、气体室等建筑结构、耐火等级符合国家相关现X要求;2）洁净室在产生有害气体工作区设置局部排风，同时设置火灾自动报警装置、火 灾排烟系统及应急照明

37、；3）将腐蚀性、易热、有毒、惰性气体分别设置在独立的房间内，硅烷单独设置在 独立的建筑物内；4）所有易燃、有毒、腐蚀性气体盛装的胡我安装在特制的气柜内，气柜带有阀门 盒和阀门屏，气柜内配备自动的氮气净化系统。5）有害气体在气相、阀门窗、工艺设备和有毒气体排放口设监测点，所有探头具 有高敏度报警功能;6）酸、耐、有机溶剂采用高纯氮气充填容器，利用双层管道输送至使用点，在双 层管道内设监测报警探头，所有化学品盛装容器、使用点均设置局部排风系统;7）在危险化学品生产、储存场所设置洗眼器及安全淋浴装置；8）本单元消防、报警、联锁装置的设置基本符合国家标准要求。3、问题与建议为了保证系统能峭安全运行，厂

38、方采取了一些安全措施，基本能峭实现安全生产。通过对作业现场安全现状考察与分析，还存在一些不符合规定的安全问题，具体问题和建议如下:1）因洁净室生产厂房、易热气体室未设置泄压设施，并且未按SJ30002-92标准 设置在多层厂房顶层，因此需采取有效措施，保蹿各类防火、防爆、排风系 统等安全装置、设施的齐备、完好及有效性。2）废液收集罐上的平台护栏需按标准要求修复；3）应按GB7231-87相关要求对工业管路涂敷基本管刖色。验收评价结论SMIC中芯国际集成电潞制造XX集成电胳生产工艺单元主要危险因素是各类可然气 体、易热液体以及有毒物料泄漏引发火灾、爆炸、中毒。浩等生产车间、支援车间设计、 施工以

39、及各类危险化学品安全使用、储存情况基本符合标准、规X和安全生产要求；项目 本质安全程度较高，各项安全装置基本齐全、有效。只要在生产过程中严格执行各项安全 生产管理制度和安全操作规程，可以实现安全生产。53化学品库安全评价单元化学品库安全枪查表序号检查项目及内容依据法规检查 结果备注1基本要求1.1化学危险品及贮存数量，必须经公安 部门批准。未经批准，不得随意设置 化学危险品贮存仓库。GB15603-19954.2V1.2危险化学品使用、储存企业，应当分 别向省、自治区、直辖市人民政府经 济贸易管理部门和设区的市级人民国务院令第344 号9条此项工作正在办理过程中。表 序号检查项目及内容依据法规

40、检查 结果备注政府负责危脸化学品安全监督管理 综合工作的部门办理登记注册手续。1.3贮存化学危险品的仓库，必须配备有 专业知识的技术人员。其库房及场所 应投专人管理，管理人员必须配备可 靠的个人安全防护用品。GB15603-19954.4V仓库配备有专业技术大员，专 门库管人员配备有安全防护 用品。1.4昭存化学危脸品的建筑物，区域内严 禁吸烟和使用明火。GB15603-19954.9V全厂禁灿，区域内不准使用明 火。1.5贮存的化学危险品应有明显的标志， 同一区域贮存两种或两种以上不同 级刖的危险品时，应按最高等级危险 物品的性能标志。GB15603-19954.6V各储存室门上标有所存放物

41、 品的火灾等级、毒性等级，反 应活性等级及所属物质分类 （或禁忌物品种类）的醛目标 志。2建筑物及段施2.1化学危险品库房的建筑耐火等级应 为二级，单层，建筑面积不大于 750nl2。GBJ16-87V该仓库的建筑面积777m2,梢 大于规X要求面积，视为合 格。2.2化学危险品库建筑耐火等级不应低 于二级，防火间距不应少于30m,消 防通道必须保证畅通。SJ30002-92V以T建筑物为中心，建筑物与 库区外的建筑物间距符合要 求，消防通道畅通。2.3贮存化学危险品的建筑物，不得有地 下室或其它地下建筑。GB15603-19955.1V没有2.4库房或每个防火隔间的安全出口数 目不宜少于2个

42、。GBJ16-87V库房对外有2个出入口，每个 储存间除有一个与主走廊相 通的口外，都有一个直接通向 建筑物外的紧急疏散门。2.5化学危险品库建筑设计，应符合安 全、防火规定。应采取隔热、通风、 防止阳光直射措施，保证库内空气流 通、干燥凉爽，应避免可热气体积聚， 并根品的种类、性质,采取相应SJ30002-92V该条要求本库都有相应的安 全设施给予保证，如不间断排 风、报井、水喷淋灭火、防雷、 消除静电、腐蚀液体流散收集 沟等，在下面分条检查。序号检查项目及内容依据法规检查 结果备注的防爆、泄压、防火、灭火、防雷、 报警、调温、防潮、消除静电、防护 围堤等安全措施。2.6心存易燃、易爆化学危

43、除品的建筑， 必须安装避雷段的。GB15603-1995V仓库屋顶设有避雷设葡并与 接地体相连。2.7化学危险品库房，必须安装通风设 备。GB15603-1995V库房有单独的通风系统，其设 施安装于主走廊的夹层内。2.8化学危险品库房，通排风系统应设有 导除静电的接地装置。GB15603-1995V金属板制成的通风管道与接 地网有电气连接。2.9化学危险品库的通风管应采用非燃 烧材料制作。GB15603-1995V通风管由不屈的金属薄板制 to2.10库房内敷设的配电线路，需穿金属管 或用非硬塑料管保护。公安部6号令第40条V2.11库区的每个库房应当在库房外单独 安装开关箱。公安部6号令第 41条V库房内照明开关、用电股备控