《半导体器件CAD》课程教学大纲(模板).docx
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1、半导体器件CAD课程教学大纲一、课程简介课程中文名半导体器件CAD课程英文名Semiconductor device CAD课程代码083B24A课程学分3总学时数68课程类别口通识课程 口学科基础课 0专业课 口实验实践课 口其他课程性质必修 0选修 口其他课程形态口线上0线下口线上线下混合口其他考核方式口闭卷口开卷口一页开卷口面试口口试口答辩论文 回报告 大型作业 口课程作品其他开课学院物理科学与技术学院开课基层教 学组织微电子科学与工程系面向专业微电子科学与工程开课学期3.2学期课程负责人审核人先修课程半导体物理与器件1,半导体物理与器件2后续课程无课程网址无课程简介本课程是微电子科学与
2、工程专业选修课程。课程教学包括课 堂理论教学和上机操作,要求学生了解主流半导体器件仿真软件 与仿真技术,熟悉半导体工艺与器件的仿真规则与仿真流程,掌 握器件CAD软件的设计语言规则。课程主要内容有:半导体器件 物理特性计算机仿真的实现、典型的二维和三维集成工艺模拟系 统及其使用、典型的二维和三维器件特性分析系统及其使用、半 导体器件特性的计算机分析实例等。(英文) 无二、课程目标半导体器件CAD是微电子科学与工程专业一门专业选修课,包括理论讲 授与上机实验。本课程旨在让学生了解半导体器件的建模理论与仿真方法,掌握 业界主流半导体器件CAD软件的使用,同时培养学生核心价值观,树立科学的 世界观、
3、积极向上的人生观,以及爱岗敬业的事业观,立志成为有理想信念和人 文情怀的科技人才。通过教学活动,达到以下课程目标:表1课程目标序号具体课程目标课程目标1建立核心价值观,坚定勤奋学习、务实求真、报效祖国的理想信念。具备初步 的科学思维能力与解决工程问题的能力,立志成为有理想信念和人文情怀的科 技人才。课程目标2了解和掌握业界主流半导体器件CAD工具使用方法,可使用CAD工具创建器 件结构、构建器件网格、确定物理模型、进行仿真并分析仿真结果。课程目标3掌握基本的半导体器件与集成电路工艺流程设计和调试的方法与步骤;掌握设 计输入、编译、模拟、仿真、综合等器件与工艺设计基本过程;掌握应用TCAD 器件
4、工艺模拟工具进行集成电路设计及器件工艺模拟的方法和过程。课程目标4巩固所学半导体器件与微电子工艺相关的理论知识,提高运用所学知识分析和 解决微电子工艺流程和半导体器件工程设计问题的能力;经过查找资料、选择 方案、设计工艺流程和器件模型、编辑和验证模拟结果、撰写设计报告等一系 列实践过程,使学生得到一次较全面的器件与工艺流程设计工程实践训练,通 过理论联系实际,提高和培养创新能力,为后续课程的学习,毕业设计,毕业 后的工作打下基础。三、课程目标与毕业要求对应关系本课程的课程目标对科学教育专业毕业要求指标点的支撑情况如表2所示:表21微电子科学与工程专业:课程目标与毕业要求对应关系毕业要求毕业要求
5、指标点课程目标8职业规范8-1.通过思政、人文、社科、体质训练、军训等课程的学习, 理解世界观、人生观和价值观的基本意义及其影响。目标13研发解决方 案3-1.能针对当前业界使用的最先进微电子工艺的特定需求,完 成相应设计与实现。目标23-2.能针对微电子特种元器件的特定需求,完成相应设计与实 现。目标233针对复杂微电子数字集成电路和模拟集成电路问题,能够 从系统的角度权衡所涉及的相关因素、提出解决方案、完成系 统设计、实现和测试,能够体现创新意识。目标35使用现代工5-1.能够运用计算机辅助设计工具,对微电子工艺和器件进行目标4具模拟仿真,表达和解决微电子复杂科学与工程问题。四、课程目标与
6、教学内容和方法的对应关系表3课程目标与教学内容、教学方法的对应关系教学内容详细内容与要求教学方法课程目 标L半导体 工艺仿真 SENTAURUS PROCESS(1)教学内容 有限元法数值求解方法; BIPOLAR晶体管和MOSFET晶体管工艺流程与 工作原理; SENTAURUS基本仿真原理; 集成工艺仿真系统SENTAURUS PROCESS; 仿真结果查看与分析。(2)教学重点:有限元法数值求解方法;SENTAURUS PROCESS使用方法;器件工艺仿真流程与命令;仿 真结果的查看与分析。(3)教学难点:有限元法数值求解方法;SENTAURUS PROCESS使用方法与命令语言。(4)
7、教学要求:了解有限元分析的基本原理与CAD 软件的仿真过程,掌握SENTAURUS PROCESS工艺仿真 操作基本。思政融合点1:业内主流半导体器件CAD软件均为国外开发的,让学 生认识到在微电子CAD软件开发领域中国还是慢一 步、落后一些,进而激起学生的爱国热情、树立为中 华复兴而学习的责任和担当。课堂讲 授,上机 操作1, 2, 3,42.半导体 器件建模 SENTAURUS STRUCTURE EDITOR 与 器件特性(1)教学内容 使用图形界面创建2维MOSFET结构与3维FinFET 结构; 2维与3维结构创建命令; 器件仿真初始条件与边界条件定义方法; 仿真模型的选择与定义;课
8、堂讲 授,上机 操作1, 2, 3,4仿真SENTAURUSDEVICE 有限元求解的原理与数学过程; 仿真结果的查看与分析。(2)教学重点:2维与3维结构创建命令;仿真模型 的选择与定义。(3)教学难点:仿真物理模型对仿真结果精确度的影 响;器件仿真过程不收敛的解决方法。(4)教学要求:可使用图形界面与命令创建2维与3 维器件结构并进行器件电学特性仿真。思政融合点2:知识点:器件进行实际制备之前,都需要使用CAD软 件仿真对器件参数进行优化,进而获得器件最优参数。 思政拓展:大学生在做事情之前应多收集资料,进行合 理规划,避免盲目从事,高效高质量地完成任务目标。思政融合点3:知识点:器件建模
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