第五章电容传感器.ppt
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1、第五章第五章 电容传感器电容传感器章节导入:章节导入:电容传感器以各种类型的电容作为传感元件,电容传感器以各种类型的电容作为传感元件,通过它将被测量转化为电容量,然后再转化为电通过它将被测量转化为电容量,然后再转化为电压、电流、频率。压、电流、频率。本章要点:本章要点:1、电容传感器的类型及工作原理、电容传感器的类型及工作原理2、电容传感器的灵敏度及输出特性、电容传感器的灵敏度及输出特性3、电容传感器的测量转换电路、电容传感器的测量转换电路4、电容传感器的应用、电容传感器的应用12/20/20221电容传感器工作原理可以用平板电容说明:电容传感器工作原理可以用平板电容说明:改变式中改变式中 S
2、 S 极板面积,称变面积型传感器极板面积,称变面积型传感器 极板距离,称变极距型传感器极板距离,称变极距型传感器 介电常数,称变介质型传感器介电常数,称变介质型传感器 真空介电常数真空介电常数 相对介电常数,相对介电常数,无介质时空气介质无介质时空气介质 r=1r=1第一节第一节 电容式传感的结构形式及工作原理电容式传感的结构形式及工作原理12/20/20222一、变面积式电容传感器一、变面积式电容传感器 1 1、结构、结构 图图a是平板形直线位移式结构,其中极板是平板形直线位移式结构,其中极板1可以左右移动,可以左右移动,称为动极板。极板称为动极板。极板2固定不动,称为定极板。图固定不动,称
3、为定极板。图b b是同心圆筒形是同心圆筒形变面积式传感器。外圆筒变面积式传感器。外圆筒3 3不动,内圆筒不动,内圆筒4 4在外圆筒内作上、下在外圆筒内作上、下直线运动直线运动,5,5是导轨。图是导轨。图c c是一个角位移式的结构。极板是一个角位移式的结构。极板1 1的轴由的轴由被测物体带动而旋转一个角位移被测物体带动而旋转一个角位移 度时,两极板的遮盖面积度时,两极板的遮盖面积A A就减小,因而电容量也随之减小。就减小,因而电容量也随之减小。12/20/202232 2、变面积式电容传感器的特性、变面积式电容传感器的特性 平板电容:平板电容:当动极板移动当动极板移动X X后两极板间电容量为:后
4、两极板间电容量为:初始电容初始电容:电容的相对变化量电容的相对变化量:平板变面积型电容传感器灵敏度平板变面积型电容传感器灵敏度结论:结论:增大极板长度,减小极板距离都可提高灵敏度增大极板长度,减小极板距离都可提高灵敏度变面积式电容传感器灵敏度变面积式电容传感器灵敏度K K为常数;为常数;输出特性为线性;输出特性为线性;适合大位移测量。适合大位移测量。ab12/20/20224变面积式电容传感器的特性变面积式电容传感器的特性同心圆筒变面积式:同心圆筒变面积式:电容变化及灵敏度为电容变化及灵敏度为结论:结论:内外圆筒的半径差越小,灵敏度越高。内外圆筒的半径差越小,灵敏度越高。实实际际使使用用时时,
5、外外圆圆筒筒必必须须接接地地,这这样样可可以以屏屏蔽蔽外外界界干干扰扰,并并且且能能减减小小周周围围人人体体及及金金属属体体对对内内圆圆筒筒的的分分布布电电容容,减减小小误误差。差。2R2rxh034512/20/20225变面积式电容传感器的特性变面积式电容传感器的特性角位移式:角位移式:电容变化及灵敏度为电容变化及灵敏度为结论:结论:增加动极板和定极板的对数,灵敏度越高。增加动极板和定极板的对数,灵敏度越高。实实际际使使用用时时,动动极极板板接接地地,必必须须做做一一个个接接地地的的金金属属屏屏蔽盒,将定极板屏蔽。蔽盒,将定极板屏蔽。1212/20/20226二、变极距式电容传感器二、变极
6、距式电容传感器 初始电容初始电容 当当 减小减小 时,电容时,电容C C增加增加 2灵敏度为:灵敏度为:12/20/20227变极距式电容传感器的特性变极距式电容传感器的特性从上式得出结论:从上式得出结论:1 1、初始极距小,灵敏度高。、初始极距小,灵敏度高。2 2、非线性(缺点)、非线性(缺点)3 3、行程较小(两块极板短路)。、行程较小(两块极板短路)。采用差动形式:采用差动形式:1 1、提高传感器的灵敏度,减小、提高传感器的灵敏度,减小 非线性。非线性。2 2、外界的影响诸如温度、激励、外界的影响诸如温度、激励 源电压、频率变化等也基本源电压、频率变化等也基本 能相互抵消能相互抵消C1C
7、2d2d1xxC1C2L0-xL0+x12/20/20228三、变介电常数式三、变介电常数式 因为各种介质的相对介电常数不同,所以在电容器两极板因为各种介质的相对介电常数不同,所以在电容器两极板间插入不同介质时,电容器的电容量也就不同。利用这种原理间插入不同介质时,电容器的电容量也就不同。利用这种原理制成的传感器叫做变介电常数式传感器。例如:制成的传感器叫做变介电常数式传感器。例如:1、当当某某种种介介质质处处于于两两极极板板间间时时,介介质质厚厚度度 越越厚厚,电电容容量量也也就越大。就越大。2、当当介介质质厚厚度度保保持持不不变变、而而相相对对介介电电常常数数r改改变变,如如空空气气湿度变
8、化,介质吸入潮气(湿度变化,介质吸入潮气(r水水1)时,电容量将变大。)时,电容量将变大。3、当当被被测测液液体体(绝绝缘缘体体)的的液液面面在在两两个个同同心心圆圆金金属属管管状状电电极极间间上上下下变变化化时时,引引起起两两电电极极间间不不同同介介电电常常数数介介质质(上上半半部部分分为为空空气气,下下半半部部分分为为液液体体)的的高高度度变变化化,因因而而导导致致总总的的电电容容量量变变大。大。变变介介电电常常数数式式电电容容传传感感器器可可以以检检测测片片状状材材料料的的厚厚度度、性性质质,颗粒状物体的含水量以及测量液体的液位等。颗粒状物体的含水量以及测量液体的液位等。12/20/20
9、229三、变介电常数式三、变介电常数式 (几种介质的相对介电常数(几种介质的相对介电常数介质名称介质名称相对介电常数相对介电常数r r介质名称介质名称相对介电常相对介电常数数r r真空真空1 1玻璃釉玻璃釉3535空气空气略大于略大于1 1SiOSiO2 23838其他气体其他气体11.211.2云母云母5858变压器油变压器油2424干的纸干的纸2424硅油硅油23.523.5干的谷物干的谷物3535聚丙烯聚丙烯22.222.2环氧树脂环氧树脂310310聚苯乙烯聚苯乙烯2.42.62.42.6高频陶瓷高频陶瓷1016010160聚四氟乙烯聚四氟乙烯2.02.0低频陶瓷、压低频陶瓷、压电陶瓷
10、电陶瓷100010000100010000聚偏二氟乙聚偏二氟乙烯烯3535纯净的水纯净的水808012/20/202210第二节第二节 电容式传感器的测量转换电路电容式传感器的测量转换电路 电容传感器中电容值变化都很微小,不能直接显示记录,电容传感器中电容值变化都很微小,不能直接显示记录,必须将电容变化转换为电流、电压、频率的变化。必须将电容变化转换为电流、电压、频率的变化。一、桥式电路一、桥式电路桥式电路是电容传感器转换电路中最常见的电路之一。桥式电路是电容传感器转换电路中最常见的电路之一。u ui i 1MHz1MHz u ui i 1MHz1MHz u uo oC1C1C2C2CxCxC
11、3C3Cx1Cx1Cx2Cx2 u uo o单臂桥接法单臂桥接法差动接法差动接法12/20/202211n CxCx为电容传感器,当交流电桥平衡时,其平衡条件为电容传感器,当交流电桥平衡时,其平衡条件为:为:n当当CxCx变化时,变化时,即桥路有输出电压,上述指即桥路有输出电压,上述指单臂桥接法。单臂桥接法。n差动接法时,若差动接法时,若C Cx1x1=C=Cx2x2,因两电容上叠加的交流电压因两电容上叠加的交流电压值相等但相位相反,则值相等但相位相反,则 。若。若C CX1X1CCX2X2,因两因两电容上叠加的交流电压值不等相位相反,则电容上叠加的交流电压值不等相位相反,则 ,即桥路有输出电
12、压。即桥路有输出电压。相位由相敏检波电路分辨相位由相敏检波电路分辨 12/20/202212二、调频(二、调频(FMFM)电路电路 调调频频测测量量电电路路把把电电容容传传感感器器作作为为振振荡荡器器谐谐振振回回路路的一部分,当输入被测信号使电容发生变化时,振荡的一部分,当输入被测信号使电容发生变化时,振荡器器的的振振荡荡频频率率发发生生变变化化。其其中中L L为为固固定定电电感感,电电容容C C包包含含谐谐振振回回路路中中的的微微调调电电容容C1C1,传传感感器器电电缆缆分分布布电电容容CcCc以及变化电容以及变化电容Cx Cx 由于系统是非线性的,必须加入鉴频器将频率变由于系统是非线性的,
13、必须加入鉴频器将频率变化转化换为电压的变化。化转化换为电压的变化。12/20/202213 优点:抗干扰能力强,可以取得高电平的直流优点:抗干扰能力强,可以取得高电平的直流信号。已克服分布电容的影响。信号。已克服分布电容的影响。CxCxL L0 0调调频频振振荡荡器器限限幅幅器器鉴鉴频频器器放放大大器器f fUoUTTLTTL去计算机去计算机电压输出电压输出12/20/202214三、脉宽调制(三、脉宽调制(PWMPWM)电路电路电路组成:电路组成:A1A1、A2A2比比较较器器;FFFF双双稳稳态态触触发发器器;VD1VD1、VD2VD2与与电电阻阻组组成成充充放放电电回回路路;UfUf参参
14、考考直直流流电电压压;双双稳稳态态作作输输出出;电电容容Cx1Cx1、Cx2Cx2为传感器差动电容。为传感器差动电容。-+A1-+A2RsQQFFQ低通低通滤波器滤波器UfUoR1VD1R2VD2Cx1Cx212/20/202215电路分析:电路分析:设设接接通通电电源源时时A A高高B B低低,R1R1对对C1C1充充电电C C点点上上升升到到UfUf,比比较较器器A1A1输输出出极极性性改改变变,触触发发器器翻翻转转;A A低低B B高高,D1D1道道通通C1C1放放电电;同同时时B B点点经经C2C2充充电电使使A2A2翻转。翻转。C1=C2C1=C2C1=C2C1=C2,UCUCUCU
15、C、UDUDUDUD放电时间相同,输放电时间相同,输放电时间相同,输放电时间相同,输出平均电压出平均电压出平均电压出平均电压U0=0U0=0U0=0U0=0;C1C2C1C2C1C2C1C2,输出平均电压输出平均电压输出平均电压输出平均电压 U00 U00 U00 U00,若若若若C1C1C1C1C2C2C2C2,输出输出输出输出A A A A、B B B B两点的平均值两点的平均值两点的平均值两点的平均值等于等于等于等于UAUAUAUA、UBUBUBUB之差。之差。之差。之差。双稳态的两个输出端各产生一调制双稳态的两个输出端各产生一调制双稳态的两个输出端各产生一调制双稳态的两个输出端各产生一
16、调制脉冲,脉冲宽度受脉冲,脉冲宽度受脉冲,脉冲宽度受脉冲,脉冲宽度受C1C1C1C1、C2C2C2C2调制。输调制。输调制。输调制。输出为两端之差出为两端之差出为两端之差出为两端之差低通输出低通输出低通输出低通输出12/20/202216第三节第三节 电容式传感器的应用电容式传感器的应用 电容器的容量受三个因素影响,即:极距电容器的容量受三个因素影响,即:极距x、相对面积相对面积A 和极间介电常数和极间介电常数 。固定其中两个变。固定其中两个变 量,量,电容量电容量C 就是另一个变量的一元函数。只要想办就是另一个变量的一元函数。只要想办法将被测非电量转换成极距或者面积、介电常数法将被测非电量转
17、换成极距或者面积、介电常数的变化,就可以通过测量电容量这个电参数来达的变化,就可以通过测量电容量这个电参数来达到非电量电测的目的。到非电量电测的目的。12/20/202217一、电容板材在线测厚仪一、电容板材在线测厚仪测量过程:测量过程:电容测厚仪用于测量金属带材在轧制过程中的厚度变化。电容测厚仪用于测量金属带材在轧制过程中的厚度变化。带材是电容的动极板,总电容带材是电容的动极板,总电容CxCx=C1+C2=C1+C2作为桥臂。作为桥臂。利利C1C1、C2C2两两个个极极板板当当带带材材上上下下波波动动时时CxCx=C1+C2=C1+C2总总的的电电容容量量不不变;而带材的厚度变化使电容变;而
18、带材的厚度变化使电容CxCx变化。变化。CxCx=C1+C2=C1+C2蓝色为传动、辊绿色为轧辊、黄色为带材、红色为测蓝色为传动、辊绿色为轧辊、黄色为带材、红色为测量极板量极板12/20/202218二、硅微加工加速度传感器二、硅微加工加速度传感器 图示加速度传感器以微细图示加速度传感器以微细加工技术为基础,既能测量交加工技术为基础,既能测量交变加速度(振动),也可测量变加速度(振动),也可测量惯性力或重力加速度。其工作惯性力或重力加速度。其工作电压为电压为2.72.75.255.25V V,加速度测加速度测量范围为数个量范围为数个g g,可输出与加可输出与加速度成正比的电压也可输出占速度成正
19、比的电压也可输出占空比正比于加速度的空比正比于加速度的PWM 脉脉冲。冲。12/20/202219 1 1加速度测试单元加速度测试单元 2 2信号处理电路信号处理电路 3 3衬底衬底 4 4底层多晶硅(下电极)底层多晶硅(下电极)5 5多晶硅悬臂梁多晶硅悬臂梁 6 6顶层多晶硅(上电极)顶层多晶硅(上电极)技术指标:技术指标:灵敏度:灵敏度:500mV/g;量程:量程:10g 频率范围:频率范围:0.5-2000Hz;安装谐振点安装谐振点:8kHz;分辨力:分辨力:0.00004g;重量:重量:200g 安装螺纹:安装螺纹:M5 mm;线性误差:线性误差:1%1%12/20/2022201、测
20、量过程、测量过程 利用微电子加工技术,可以将一块多晶硅加工成多层结利用微电子加工技术,可以将一块多晶硅加工成多层结 构。在硅衬底上,制造出三个多晶硅电极,组成差动电容构。在硅衬底上,制造出三个多晶硅电极,组成差动电容C C1 1、C C2 2。图中的底层多晶硅和顶层多晶硅固定不动。中间层多晶硅图中的底层多晶硅和顶层多晶硅固定不动。中间层多晶硅是一个可以上下微动的振动片。其左端固定在衬底上,所以相是一个可以上下微动的振动片。其左端固定在衬底上,所以相当于悬臂梁。当于悬臂梁。当它感受到上下振动时,当它感受到上下振动时,C C1 1、C C2 2呈差动变化。与加速度测呈差动变化。与加速度测试单元封装
21、在同一壳体中的信号处理电路将试单元封装在同一壳体中的信号处理电路将C C 转换成直流输转换成直流输出电压。它的激励源也做在同一壳体内,所以集成度很高。由出电压。它的激励源也做在同一壳体内,所以集成度很高。由于硅的弹性滞后很小,且悬臂梁的质量很轻,所以频率响应可于硅的弹性滞后很小,且悬臂梁的质量很轻,所以频率响应可达达1 1kHzkHz以上,允许加速度范围可达以上,允许加速度范围可达1010g g 以上以上。如果在壳体内的三个相互垂直方向安装三个加速度传感如果在壳体内的三个相互垂直方向安装三个加速度传感器,就可以测量三维方向的振动或加速度。器,就可以测量三维方向的振动或加速度。12/20/202
22、2212、加速度传感器在汽车中的应用、加速度传感器在汽车中的应用 加速度传感器安装在轿车上,可以作为碰撞传感器。当测加速度传感器安装在轿车上,可以作为碰撞传感器。当测得的负加速度值超过设定值时,得的负加速度值超过设定值时,微处理器微处理器据此判断发生了碰据此判断发生了碰 撞,于是就启动轿车前部的折叠式安全气囊迅速充气而膨胀,撞,于是就启动轿车前部的折叠式安全气囊迅速充气而膨胀,托住驾驶员及前排乘员的胸部和头部。托住驾驶员及前排乘员的胸部和头部。装有传感器装有传感器的假的假人人气囊气囊12/20/202222汽车气囊的保护作用汽车气囊的保护作用 使用加速度使用加速度传感器可以在传感器可以在汽车发
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