激光多普勒干涉仪介绍.ppt

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3、5198519851985年年年年单频激光单频激光单频激光单频激光干涉仪干涉仪干涉仪干涉仪1960196019601960年年年年 双双双双频激光频激光频激光频激光干涉仪干涉仪干涉仪干涉仪1975197519751975年年年年4Laser measurements are Optodyne business迈克逊干涉仪迈克逊干涉仪18601860年年年年MICHELSONMICHELSON干涉仪干涉仪干涉仪干涉仪白光白光白光白光参考镜参考镜参考镜参考镜反射镜反射镜反射镜反射镜分光镜分光镜分光镜分光镜探测器探测器探测器探测器产生干涉产生干涉产生干涉产生干涉测量光束测量光束测量光束测量光束参考光

4、束参考光束参考光束参考光束5Laser measurements are Optodyne business单频激光单频激光干涉仪干涉仪19601960年年年年单频激光单频激光单频激光单频激光干涉仪干涉仪干涉仪干涉仪激光激光激光激光角锥反射镜角锥反射镜角锥反射镜角锥反射镜角锥反射镜角锥反射镜角锥反射镜角锥反射镜分光镜分光镜分光镜分光镜探测器探测器探测器探测器测量光束测量光束测量光束测量光束参考光束参考光束参考光束参考光束产生干涉产生干涉产生干涉产生干涉6Laser measurements are Optodyne business线偏振光线偏振光线偏振光线偏振光线偏振光线偏振光线偏振光线偏振

5、光双双频激光频激光干涉仪干涉仪1970197019701970年年年年双双双双频激光频激光频激光频激光干涉仪干涉仪干涉仪干涉仪激光激光激光激光角锥反射镜角锥反射镜角锥反射镜角锥反射镜角锥反射镜角锥反射镜角锥反射镜角锥反射镜偏振分光镜偏振分光镜偏振分光镜偏振分光镜探测器探测器探测器探测器测量光束测量光束测量光束测量光束参考光束参考光束参考光束参考光束产生干涉产生干涉产生干涉产生干涉7Laser measurements are Optodyne business激光多普勒激光多普勒干涉仪干涉仪19851985年年年年LDDMLDDM电电电电光光光光调调调调制制制制、外外外外差式差式差式差式激光激

6、光激光激光角锥反射镜角锥反射镜角锥反射镜角锥反射镜探探探探测测测测器器器器光电调制光电调制光电调制光电调制8Laser measurements are Optodyne business位移测量安装比较位移测量安装比较9Laser measurements are Optodyne business对光方便对光方便10Laser measurements are Optodyne businessMCV-500MCV-500主要技术指标主要技术指标序号序号序号序号 技术指标名称技术指标名称技术指标名称技术指标名称 指指指指 标标标标 1 1 1 1激光稳定性激光稳定性激光稳定性激光稳定性 0

7、.10.10.10.1ppmppmppmppm (特殊订货可小于特殊订货可小于特殊订货可小于特殊订货可小于0.05ppm)0.05ppm)0.05ppm)0.05ppm)2 2 2 2分辨率分辨率分辨率分辨率 0.010.010.010.01微米微米微米微米 3 3 3 3测量精度测量精度测量精度测量精度(不确定度不确定度不确定度不确定度)1ppm 1ppm 1ppm 1ppm(特殊订货可小于特殊订货可小于特殊订货可小于特殊订货可小于0.5ppm)0.5ppm)0.5ppm)0.5ppm)4 4 4 4测量范围测量范围测量范围测量范围 15151515米米米米 (特殊订货可加长到特殊订货可加长

8、到特殊订货可加长到特殊订货可加长到100100100100米米米米)5 5 5 5光靶最大移动速度光靶最大移动速度光靶最大移动速度光靶最大移动速度 3.63.63.63.6米米米米/秒秒秒秒 6 6 6 6电源电压电源电压电源电压电源电压 90909090265VAC 265VAC 265VAC 265VAC 7 7 7 7电源频率电源频率电源频率电源频率 5050505060606060赫赫赫赫 8 8 8 8操作环境温度操作环境温度操作环境温度操作环境温度 5 5 5 5383838389 9 9 9高度高度高度高度 0 0 0 03000300030003000米米米米 10101010

9、相对湿度相对湿度相对湿度相对湿度 0 0 0 095%95%95%95%11Laser measurements are Optodyne businessMCV-500MCV-500选购附件的测量功能选购附件的测量功能振动振动振动振动测量测量测量测量角偏角偏角偏角偏测量测量测量测量滚珠丝杠滚珠丝杠滚珠丝杠滚珠丝杠动态测量动态测量动态测量动态测量圆形圆形圆形圆形轨迹轨迹轨迹轨迹主轴主轴主轴主轴精度精度精度精度分轴步进分轴步进分轴步进分轴步进对角线对角线对角线对角线 位移位移位移位移测量测量测量测量12Laser measurements are Optodyne business直线位移测量直

10、线位移测量靶标反射镜靶标反射镜靶标反射镜靶标反射镜MCV-500MCV-500MCV-500MCV-500反射镜移动方向反射镜移动方向反射镜移动方向反射镜移动方向13Laser measurements are Optodyne business非接触主轴精度测量非接触主轴精度测量MCV-500MCV-500MCV-500MCV-500主轴主轴主轴主轴聚光镜聚光镜聚光镜聚光镜MCV-500+DI-500MCV-500+DI-50014Laser measurements are Optodyne business陀罗径向跳动曲线陀罗径向跳动曲线l l采样：采样：采样：采样：20002000点点

11、点点/秒秒秒秒15Laser measurements are Optodyne business低频振动测量低频振动测量l l适用于最高为适用于最高为适用于最高为适用于最高为100Hz100Hz的低频振动测量的低频振动测量的低频振动测量的低频振动测量16Laser measurements are Optodyne business中频振动测量中频振动测量l l适用于最高为适用于最高为适用于最高为适用于最高为100KHz100KHz的中频振动测量的中频振动测量的中频振动测量的中频振动测量17Laser measurements are Optodyne business高频振动测量高频振动测量l l适用于极高频率的振动测量适用于极高频率的振动测量适用于极高频率的振动测量适用于极高频率的振动测量18Laser measurements are Optodyne businessMCV-5000系列激光干涉仪19Laser measurements are Optodyne businessX X轴上下同步测量实例轴上下同步测量实例20Laser measurements are Optodyne businessY Y轴左右同步测量实例轴左右同步测量实例21