气体的生产、配制过程及控制.ppt
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1、气体的生产、配制过程及控制气体的生产、配制过程及控制12/18/20221华特气体主题介绍n培训目的:提高新进员工对工业气体和配气的初 步了解n培训内容:1.气体的基本常识 2.气体的分类 3.气体的充装n 4.配气n培训重点:生产与安全12/18/20222华特气体1.空气的组成组份体积百分数%氮氧氩二氧化碳氖氦氪氙其它78.0920.940.930.03318.1810-45.23910-41.13910-40.08610-4余一、气体的基本常识12/18/20223华特气体气体的分类1、永久性气体(Tc-10)2、高压液化气体(-10 Tc 70)3、低压液化气体(Tc 70)瓶装气体的
2、分类按GB16163瓶装压缩气体分类规定。按其临界温度临界温度(Tc)可划分为三类:12/18/20224华特气体气体的性质分类(按性质分)n一、易燃性气体:把自燃、易燃、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的硅烷气体只要与空气接触就会自燃。可燃易燃气体都有一定的着火燃烧爆炸范围,即上限、下限值。此范围越大的气体起爆炸燃烧危险性就越高。n二、毒性气体:这些气体在工作环境中的允许浓度极微,因此在贮存、输送以及使用的过程中都要特别小心。n三、腐蚀性气体:腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属,但在有水的环境下就显出很强的腐蚀性。这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。n四、惰性气体:惰性气体本身一
3、般不会直接对人体产生伤害,在气体传输中,相对于安全的要求不如以上气体严格。惰性气体具有窒息性,在密封空间若发生泄漏会使人窒息。n五、氧化性气体:这类气体有较强的氧化性,一般同时具有其他特性,如毒性或腐蚀性。12/18/20225华特气体分类图CH2F2 PH3CH4/Ar COH2 NH3 NF3 BCl3 N2OO2 HeCF412/18/20226华特气体气体的分类(按用途)n 激光混合气n纯气 特殊仪器用混合气n 焊接混合气n 保鲜混合气n 一般混合气 电光源混合气n 医疗及生物研究混合气n 消毒杀菌混合气n 检漏(报警)混合气n 高压混合气n 零级混合气n常用混合气n 外延(生长)n
4、化学气相淀积(CVD)n 电子工业用混合气体 掺杂n 蚀刻n 其它电子 12/18/20227华特气体工业气体和特种气体n工业气体:大宗量的、对纯度要求较低特种气体:为满足特定领域诮用途的,对气体纯度有特别要求的纯气或是混合气。特种气体门类众种。n没有绝对的分界,都可以是纯气或是混合气。n纯气充装 工艺流程图12/18/20228华特气体充装进仓抽检检验报废钢瓶加热钢瓶抽真空改作它用液体原料检验汽化液体泵贮罐退货气体回收降级使用报废空瓶 纯纯气气充充装装工工艺艺流流程程图图12/18/20229华特气体原料检验贮罐液体分装重量检测检验进仓退货待处理液体分装工艺流程液体分装工艺流程12/18/2
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