精密与特种加工技术 第7章激光加工技术.ppt

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1、第7章 激光加工技术17.1 激光原理与特点激光原理与特点7.1.1 激光的产生激光最初被译作“莱塞”，即英语“Laser”，是“Light amplification by stimulated emission of radiation”(意为“辐射的受激发射光放大”)的缩写。后来在20世纪60年代初期，由钱学森建议，把光受激发射器改称为“激光”或“激光器”。世界上第一台红宝石激光器由美国科学家梅曼于1960年发明成功，随后各种激光器不断涌现，我国科学家王之江也于1961年在长春光机所研究成功我国第一台激光器。激光器作为20世纪四大发明之一，它为人们科学研究、生产提供一个新的方法，也给人类

2、的生活提供了很大方便，特别在是进入20世纪80年代以来，激光加工技术在工业上获得广泛的应用，成为工业上不可缺少的一种方法。21.光的自发辐射由于电子在原子外层的不同分布，具有不同的内部能量，从而形成所谓的能级。若原子处于内部能量最低的状态，则称原子处于基态。其他比基态能量高的状态，都称激发态。在热平衡情况下，绝大多数原子都处于基态。处于基态的原子，从外界吸收能量以后，将跃迁到能量较高的激发态。32.光的受激吸收当原子受到外来的能量为h21的光子作用(激励)下，处于低能级E1上的原子由于吸收一个能量为h21的光子而受到激发，跃迁到高能级E2上去，这种过程称为光的受激吸收。43.光的受激辐射当原子

3、受到外来的能量为h的光子作用(激励)时，处在高能级E2上的原子也会在能量为h的光子诱发下，从高能级E2跃迁到低能级E1，这时原子发射一个与外来光子一模一样的光子，这种过程称为光的受激辐射。57.1.2 激光工作原理1.粒子数反转在物质处于热平衡状态，高能级上的粒子数总是小于低能级的粒子数。由于外界能源的激励(光泵或放电激励)，破坏了热平衡，有可能使得处于高能级E2上的粒子数n2大大增加，达到n2n1。这种情况称为粒子数反转分布。一般可把原子从低能级n1激励到高能级n2以使在某两个能级之间实现粒子数反转的过程称为泵浦(或抽运)。泵浦装置实质上是激光器的外来能源，提供光能、电能、热能、化学反应能或

4、原子核能等。激光泵浦装置的作用，是通过适当的方式，将一定的能量传送到工作物质，使其中的发光原子(或分子、离子)跃迁到激发态上，形成粒子数反转分布状态。62.谐振腔光学谐振腔装有两面反射镜，分置在工作物质的两端并与光的行进方向严格垂直。反射镜对光有一定的透过率，便于激光输出；但又有一定的反射率，便于进行正反馈。由于两反射镜严格平行，使在两镜间(即谐振腔内)往返振荡的光有高度的平行性，因而激光有好的方向性。3.激光振荡处于粒子数反转状态的激光工作物质，一旦发生受激发射，由于在激光工作物质的两端装上反射镜，光就在反射镜间多次来回反射。于是在反射镜之间光强度增大，有效地产生受激发射，形成急剧的放大。若

5、事先使一端的反射镜稍微透光，则放大后的一部分激光就能输出到腔外 74.激光放大处于激活状态的激光工作物质，当有一束能量为E=h21=E2-E1的入射光子通过该激活物质，这时光的受激辐射过程将超过受激吸收过程，而使受激辐射占主导地位。在这种情况下，光在激活物质内部将越走越强，使该激光工作物质输出的光能量超过入射光的能量，这就是光的放大过程。其实，这样一段激活物质就是一个放大器。87.1.3 激光特性激光器具有与普通光源很不相同的特性，一般称为激光的四性：方向性好、单色性好、相干性好以及高亮度。激光的这些特性不是彼此独立的，它们相互之间有联系。实际上，正是由于激光的受激辐射本质决定了它是一个相干光

6、源，因此其单色性和方向性好，能量集中。97.2 材料加工用激光器简介材料加工用激光器简介7.2.1 激光加工常用激光器激光器种类比较多，但在工业上最常用材料加工的激光器是CO2激光器和Nd：YAG激光器。CO2激光器产生的激光波长为10.6，电光转换效率为10%15%。107.2.2 激光加工基本设备的组成激光加工的基本设备包括激光器、电源、光学系统及机械系统等四大部分。(1)激光器：是激光加工的核心设备，它是把电能转换成光能，产生激光束。(2)激光器电源：为激光器提供电能以及实现激光器和机械系统自动控制。(3)光学系统：主要包括聚焦系统和观察瞄准系统。(4)机械系统：包括床身、数控工作台和数

7、控系统等。117.3 激光切割和打孔技术激光切割和打孔技术7.3.1 激光切割与传统的机械切割方式和其他切割方式(如等离子切割、水切割、氧溶剂电弧切割、冲裁等)相比，激光切割具有如下优点。(1)切缝细小，可以实现几乎任意轮廓线的切割。(2)切割速度高。(3)切口的垂直度和平行度好，表面粗糙度好。(4)热影响区非常小，工件变形小。(5)几乎没有氧化层。(6)几乎不受切割材料的限制，能切割易碎的脆性材料和极软、极硬的材料，既可以切割金属，也可以切割非金属如玻璃、陶瓷以及木材、布料、纸张等。(7)无力接触式加工，没有“刀具”磨损，也不会破坏精密工件的表面。(8)具有高度的适应性、加工柔性高，可以实现

8、小批量、多品种的高效自动化加工。(9)噪声小，无公害。127.3.2 激光打孔1.激光打孔的原理和方式在所有的打孔技术中激光打孔是最新的无屑加工技术。在工业用脉冲激光器中，光泵浦的Nd：YAG固体激光器调制后输出的脉冲峰值功率是比较高的。聚焦后焦点处的功率密度达到107W/cm2的量级。如此高的能量密度足以汽化任何已知的材料。激光打孔分为五个阶段：表面加热、表面熔化、汽化、气态物质喷射和液态物质喷射 132.激光打孔的特点及应用激光打孔的特点是速度快、效率高，现在最快每秒可以实现打100孔；打孔的孔径可以从几微米到任意孔径；可以实现在任何材料上打孔，如宝石、金刚石、陶瓷、金属、半导体、聚合物和

9、纸等；不需要工具，也就不存在工具磨损和更换工具，因此特别适合自动化打孔。另外，激光还可以打斜孔，如航空发动机上大量的斜孔加工。与其他高能束打孔相比，激光打孔不需要抽真空，能够在大气中进行打孔。147.4 激光焊接技术激光焊接技术 7.4.1 激光焊接技术的兴起及发展在激光出现不久就有人开始了激光焊接技术的研究，激光焊接技术是激光在工业应用的一个重要方面。激光焊接技术从小功率薄板焊接到大功率厚件焊接，由单工件加工向多工作台多工件同时焊接发展，以及由简单焊缝向复杂焊缝发展，激光焊接的应用也在不断发展。在航空工业以及其他许多应用中，激光焊接能够实现很多类型材料的连接，而且激光焊接通常具有许多其他熔焊

10、工艺所无法比拟的优越性，尤其是激光焊接能够连接航空与汽车工业中比较难焊的薄板合金材料，如铝合金等，并且构件的变形小，接头质量高，重现性好。157.4.2 激光焊接的原理及特点1.激光焊接原理(1)热传导热焊接。采用的激光光斑功率密度小于105W/cm2时，激光将金属表面加热到熔点和沸点之间。焊接时，金属材料表面将所吸收的激光能转变为热能，使金属表面温度升高而熔化，然后通过热传导方式把热能传向金属内部，使熔化区逐渐扩大，凝固后形成焊点或焊缝，这种焊接机理称为热传导热焊。16(2)激光深熔焊接。当激光光斑上的功率密度大于106W/cm2时，金属在激光的照射下被迅速加热，其表面温度在极短的时间内升高

11、到沸点，使金属熔化或汽化，产生的金属蒸气以一定速度离开熔池，逸出的蒸气对熔化液态金属产生一个附加压力，使熔池金属表面向下凹陷，在激光光斑下产生一个小凹坑。当光束在小孔底部继续加热时，所产生的金属蒸气一方面压迫坑底的液态金属使小坑进一步加深；另一方面，坑外飞出的蒸气将熔化的金属挤向熔池四周，此过程连续进行下去，便在液态金属中形成一个细长的孔洞而进行焊接，因此称之为激光深熔焊。172.激光焊接的特点激光焊接的特点(1)激光加热范围小，在同等功率和焊接厚度条件下，焊接速度高，热输入小，热影响区小，焊接应力和变形小。(2)激光可通过光导纤维、棱镜等光学方法弯曲传输、偏转、聚焦，特别适合于微型零件和远距

12、离或一些难以接近的部位的焊接。(3)一台激光器可供多个工作台进行不同的工作，既可用于焊接，又可用于切割、合金化和热处理，一机多用。18(4)激光在大气中损耗不大，可以穿过玻璃等透明物体，适用于在玻璃制成的密封容器里焊接能对人体产生副作用的材料；激光不受电磁场影响，不存在X射线防护，也不需要真空保护。(5)可以焊一般焊接方法难以焊接的材料，如高熔点金属等，甚至可用于非金属材料的焊接，如陶瓷、有机玻璃；焊后无需热处理，适合于某些对热输入敏感的材料的焊接。(6)属于非接触焊接；由于激光焊接的焊接接头没有严重的应力集中，表现出良好的抗疲劳性能和高的抗拉强度。197.4.3 激光焊接的形式与质量1.激光

13、焊接的接头形式202.影响焊接质量的工艺参数(1)脉冲能量E和功率密度。(2)激光脉冲宽度。(3)离焦量。(4)光束直径。(5)焊接速度。(6)保护气体。3.采用填充材料的激光焊接焊接大厚度板或接头存在较大间隙时，可以采用填充焊丝或粉末来填补缝隙，熔化的焊丝材料填满间隙而获得均匀连续的焊缝。高强铝合金焊接时，也需要采用填充焊丝来调节焊缝成分以消除焊接热裂纹。217.5 激光表面技术激光表面技术7.5.1 激光表面技术分类采用激光高能束流集中作用在金属表面，通过表面扫描或伴随有附加填充材料的加热，使金属表面由于加热、熔化、汽化而产生冶金的、物理的、化学的或相结构的转变，达到了金属表面改性的目的，

14、这种加工技术称为激光表面技术。据激光加热和处理工艺方法的特征，激光表面处理的种类很多，如下图列出了几种典型工艺。22激光表面技术的分类图 237.5.2 激光相变硬化1.激光相变硬化的原理激光相变硬化也称为激光淬火，是利于激光辐照的能量把金属材料表面快速加热至相变温度与熔点温度之间，然后利用材料本身对加热表面进行快速冷却使其发生固态相变产生硬化层的一种工艺方法。242.激光相变硬化的特点激光束硬化与传统的硬化方法相比，主要的特点有：(1)加热冷却速度快，处理效率高。(2)激光能量、光斑大小和形状以及激光作用时间可以精确控制，处理效果好。(3)只在需要的部位进行处理。(4)工件热变形小甚至基本无

15、变形。(5)激光束易于传输和导向，因此可以对复杂零件表面进行处理，如深孔和沟槽表面。(6)易于实现自动化控制，劳动生产率高。(7)节省能源，不产生环境污染。253.激光相变硬化的应用 激光相变硬化的应用很多，如平面类零件，导轨、刀片、叶片以及板状零件；圆环类零件，活塞环、汽缸涨圈、汽室涨圈、油封座、进气门、排气门、缸盖座口、各类轴承环等，以提高硬度和耐磨性为目的；套筒类零件，有汽车、拖拉机、船舶等发动机缸套或缸体、汽阀导管、电锤套简、各类衬套和泵筒等；各种轴类、长杆导柱等，异型类零件，如齿轮、模具、针布、钟表的擒纵叉、发动机飞锤、刀具、离合器连接件、花键套等。267.6 激激 光光 重重 熔熔

16、1.激光表面重熔的原理和特点激光重熔是在激光作用下使材料表面局部区域快速加热至熔化，随后借助于冷态的金属基体的热传导作用，使熔化区域快速凝固，形成结构极其细小的非平衡铸态组织的工艺技术。经激光重熔的零件表面硬度高，耐磨抗蚀性好。重熔的主要目的是改善材料的原始组织，特别是获得弥散细化效应。272.激光表面重熔的应用激光重熔硬化在含有铬的碳钢、工具钢、包括高速钢以及结构不锈钢和轴承钢的应用上具有明显的优越性。激光重熔硬化对改善材料性能具有明显的效果，工作寿命可相应延长数倍。铝合金的激光重熔硬化主要应用于铸态铝合金组织细化。287.7 激光合金化激光合金化 1.激光合金化的原理和特点激光合金化是在激

17、光重熔的基础上通过向熔化区内添加一些合金元素，熔化的基体材料和添加的合金元素由于激光熔池的运动而得到混合，凝固后形成以基体成分为基础而又不同于基体成分的新的合金层，以达到所要求的使用性能的工艺技术。292.激光合金化的应用有资料表明，为了提高中碳低合金钢的耐腐蚀性能，可以采用Cr-Mo粉末进行激光合金化处理。将Cr粉与Mo粉按Cr:Mo=4:1比例混合，用等离子喷涂在基材表面，形成约200厚的预置涂层。采用2kW CO2横流激光器，光斑直径1.75mm，功率密度6.25104W/cm2，扫描速度545mm/s，进行多道搭接扫描。钛和钛合金的激光气体表面氮化是一种提高材料耐腐蚀性能的常用技术。采

18、用5 kW横流CO2激光器，同轴送N2合金化气并加N2保护激光熔池。激光合金化层厚度达0.5mm，合金层的组织为富氮的基体，并分布TiN枝晶。307.8 激激 光光 熔熔 覆覆1.激光熔覆的原理激光熔覆是利用高能密度激光束将具有不同成分、性能的合金与基材表面快速熔化，在基材表面形成与基材具有完全不同成分和性能的合金层的工艺技术，是材料表面改性技术的一种重要方法。2.激光熔覆的特点与应用激光熔覆的主要目的是在廉价金属材料表面形成高性能的合金层，达到降低成本、提高零件表面耐磨、耐蚀及耐高温抗氧化等的综合性能。激光熔覆的合金材料包括自熔性合金材料、炭化物弥散或复合材料、陶瓷材料等。这类材料具有优异的

19、耐磨、耐蚀等性能，通常以粉末的形式使用。在激光熔覆工艺中还有单道、多道、单层、多层等多种形式。通过多道搭界和多层叠加，可以实现宽度和厚度的增加。激光熔覆时常出现气孔和裂纹等现象，应尽量防止。317.9 其他激光加工简介其他激光加工简介7.9.1 激光铣削技术与应用当聚焦的高能激光束作用于物体微小区域，瞬间可使任何材料熔化或者蒸发，激光铣削就是利用激光束按规定的图案，一层一层扫描剥离(或称烧蚀)材料，就像机械铣削过程一样对材料进行成形加工，这类似机械铣削加工，可以形象地把它称为激光铣削。利用激光铣削加工可以直接进行零件的成形加工，激光铣削加工具有很大的柔性，特别适合单件小批量生产。327.9.2

20、 激光快速成形技术1激光快速原型制造技术激光快速原型制造技术是指通过三维模型和体积单元叠加的方法生产制造模型或者零件的工艺，也定义为加成技术。其制造原理是在计算机上生成零件的CAD模型，通过特殊的软件对CAD模型进行切片处理，使一个复杂的三维零件转变成一系列的二维平面图形，计算机由此获得扫描轨迹指令。根据CAD给出的路线，数控系统控制激光束来回扫描，便可形成逐层堆积而形成的任意形状的实体模型。其类型主要有液体材料的固化(光敏树脂固化如SLA)的点-线-面、实体叠层制造(LOM)和区域选择激光烧结(SLS)。332.激光直接制造金属零件激光直接制造金属零件与区域选择激光烧结技术相似，其区别在于：

21、使用单组元粉末材料和在过程中粉末材料完全熔化。借助送粉器将一种或多种金属粉末经送粉喷嘴汇集送到激光形成的小熔池中，粉末熔化凝固后形成一个金属点。根据CAD给出的路线，用数控系统控制激光束来回扫描，便可形成金属线、金属面并逐层熔覆堆积出任意形状的金属实体零件。343.激光微细立体光刻激光微细立体光刻是把立体光刻技术(SLA)应用到微制造领域衍生出来的一种加工技术。它的特点是不受MEMS器件或系统结构形状的限制，可以加工包含自由曲面在内的任意三维结构。4.激光热成形其原理是利用激光束在短时间内对工件的中间进行加热，工件受热要膨胀，但工件承受了周围的阻力而不能膨胀，结果在受热区受到了压应力，一旦压应力达到了屈服极限，就会形成永久变形，如果控制好其变形就可以达到成形目的。35