光学工程基础 (50).pdf

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1、精密仪器与机械学系精密仪器与机械学系1精密仪器系斐斐索干涉仪索干涉仪1、激光平面干涉仪、激光平面干涉仪2、激光球面、激光球面干涉仪干涉仪典型的双光束干涉系统及应用典型的双光束干涉系统及应用精密仪器与机械学系精密仪器与机械学系2通过对条纹数目或数目变化的统计通过对条纹数目或数目变化的统计；能获得以光的波长为单位的对光程差的计量能获得以光的波长为单位的对光程差的计量用于长度精密测量和产品质量检验用于长度精密测量和产品质量检验m(m)=(精密仪器系精密仪器与机械学系精密仪器与机械学系3分光板分光板标准平板标准平板被测平板被测平板精密仪器系斐斐索干涉仪索干涉仪精密仪器与机械学系精密仪器与机械学系4等厚

2、干涉型装置等厚干涉型装置1、激光平面干涉仪、激光平面干涉仪P-Q之间形成之间形成空气平板空气平板，等厚干涉，等厚干涉条纹定域在平板条纹定域在平板附近非接触式附近非接触式测量测量根据干涉条纹根据干涉条纹的的变化可变化可作各种测量检验作各种测量检验精密仪器系精密仪器与机械学系精密仪器与机械学系5精密仪器系应用：应用：（1）测量表面平面度）测量表面平面度e精密仪器与机械学系精密仪器与机械学系6平面度平面度ehe2eeP平面偏差：平面偏差：精密仪器系e应用：应用：（1）测量表面平面度）测量表面平面度精密仪器与机械学系精密仪器与机械学系7（2）测量表面局部误差）测量表面局部误差精密仪器系ae局部误差局部

3、误差 eeP精密仪器与机械学系精密仪器与机械学系8（3）测量平板的平行度和楔角）测量平板的平行度和楔角精密仪器系e 2n2nh=NDD2ne=h最大厚度差：最大厚度差：楔角楔角精密仪器与机械学系精密仪器与机械学系92、激光球面干涉仪（牛顿环）、激光球面干涉仪（牛顿环）（1）等厚条纹，里疏外密圆条纹）等厚条纹，里疏外密圆条纹（2）程差：）程差：=2nh+/2，中心为暗纹中心为暗纹精密仪器系精密仪器与机械学系精密仪器与机械学系10精密仪器系钠光灯照明白光照明激光球面干涉仪(牛顿环)实验精密仪器与机械学系精密仪器与机械学系11精密仪器系当球面平面相对拉开时，条纹如何变化？精密仪器与机械学系精密仪器与机械学系12应用：应用：（1）测大曲率半径）测大曲率半径mRnrm2精密仪器系精密仪器与机械学系精密仪器与机械学系13上上:标准样板标准样板下下:被检零件被检零件样板样板下陷下陷中心高中心高（2）检验样品表面质量）检验样品表面质量精密仪器系精密仪器与机械学系精密仪器与机械学系14(K为曲率差)8KD8RRD11hhh212212精密仪器系4NKD22h=N