(6.3)--6微细加工技术6.3微细加工技术的发展与趋势.pdf
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6.3微细加工技术的发展与趋势6.3微细加工技术的发展与趋势18加工方法多样化两个领域：微机械加工、半导体化学加工；从单一加工技术向组合加工技术发展。从单纯硅材料向着多种类型材料发展,如玻璃、陶瓷、树脂等。提高微细加工的经济性,LIGA出现是微机械进行批量生产的范例。微细加工机理研究谢谢聆听
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