超低温水汽捕集泵工作原理.docx

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超低温水汽捕集泵工作原理南京丰尚制冷机械有限公司在使用油集中泵或分子泵的高真空环境中（lO-lOPa）都存在着肯定的残 余气体，其中80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽。由于水的分子量 比氮气、氧气、二氧化碳等气体的分子量小，分子泵和油集中泵对其抽空力量表 现较差，所以水蒸气对抽真空的速度影响最大，从而使产品的产量和质量受到影 响。深冷水汽捕集泵则是解决以上问题的上佳选择。深冷水汽捕集泵的工作原理：深冷机组将一段冷冻盘管（铜管或不锈钢管） 制冷到；20以下，将冷冻盘管放置在真空系统中的任何部位，由于水蒸气的水 分子呈无规章运到状态，最终撞击到盘管冷冻部位后，通过其表面的低温冷凝效 应,被凝聚成固体状态,水蒸气变成了固态冰,水分子不再进入真空系统中运动， 这就达到了一种抽真空的效果，从而大大缩短抽真空的时间（可缩短3060%的 抽气时间），获得干净的真空环境。这种特地在真空系统中捕集水蒸气（或气体 高沸点的气体）的设施被称之为“深冷水汽捕集泵”，它被广泛应用于真空镀膜、 航天军工、卫生医疗等领域。