传感器原理与应用技术_刘爱华第二版_2 应变式电阻传感器.ppt
![资源得分’ title=](/images/score_1.gif)
![资源得分’ title=](/images/score_1.gif)
![资源得分’ title=](/images/score_1.gif)
![资源得分’ title=](/images/score_1.gif)
![资源得分’ title=](/images/score_05.gif)
《传感器原理与应用技术_刘爱华第二版_2 应变式电阻传感器.ppt》由会员分享,可在线阅读,更多相关《传感器原理与应用技术_刘爱华第二版_2 应变式电阻传感器.ppt(107页珍藏版)》请在淘文阁 - 分享文档赚钱的网站上搜索。
1、第第2 2章章应变式电阻传感器应变式电阻传感器2.1 2.1 电阻应变式片电阻应变式片应变式传感器的核心元件是电阻应变片,它应变式传感器的核心元件是电阻应变片,它可将试件上的应力变化转换成电阻变化。可将试件上的应力变化转换成电阻变化。2.1.1 2.1.1 应变效应应变效应 导体或半导体在受到外界力的作用时,产导体或半导体在受到外界力的作用时,产生机械变形,机械变形导致其阻值变化,生机械变形,机械变形导致其阻值变化,这种因形变而使阻值发生变化的现象称为这种因形变而使阻值发生变化的现象称为应变效应应变效应。2.1.2 2.1.2 电阻应变片的结构和工作原理电阻应变片的结构和工作原理 对对于于一一
2、长长为为L、横横截截面面积积为为A、电电阻阻率率为为的的金金属丝,其电阻值属丝,其电阻值R为:为:如如果果对对电电阻阻丝丝长长度度作作用用均均匀匀应应力力,则则、L、A的的变变化化(d、dL、dA)将将引引起起电电阻阻R变变化化dR,dR可通过对上式的全微分求得:可通过对上式的全微分求得:电阻相对变化量为:电阻相对变化量为:若电阻丝是圆形的,若电阻丝是圆形的,则则A=r,对对r 微分微分得得dA=2r dr,则:,则:ll+dl2r2(r-dr)F图图2-1金属丝的应变效应金属丝的应变效应由由材材料料力力学学的的知知识识:在在弹弹性性范范围围内内,金金属属丝丝受受拉拉力力时时,沿沿轴轴向向伸伸
3、长长,沿沿径径向向缩缩短,则轴向应变和径向应变的关系为:短,则轴向应变和径向应变的关系为:y=-x (2-52-5)为金属材料的泊松系数。为金属材料的泊松系数。将(将(2-42-4)式、()式、(2-52-5)代入()代入(2-32-3)式得:)式得:KS称为金属丝的灵敏系数,表示单位应变所引起称为金属丝的灵敏系数,表示单位应变所引起的电阻的相对变化。的电阻的相对变化。对对于于确确定定的的材材料料,(1+2)项项是是常常数数,其其数数值值约约在在12之间,实验证明之间,实验证明d/x 也是一个常数。也是一个常数。上上式式表表示示金金属属丝丝的的电电阻阻相相对对变变化化与与轴轴向向应应变变成成正
4、比关系。正比关系。根据应力和应变的关系根据应力和应变的关系:应力应力=E,即,即 ,而而 dR,所以,所以 dR。1 1金属电阻应变片金属电阻应变片:丝式、箔式、薄膜式。丝式、箔式、薄膜式。(1)(1)金属丝式应变片:金属丝式应变片:将金属电阻丝将金属电阻丝(一般是合金,(一般是合金,电阻率较高,直径电阻率较高,直径约约0.02mm)粘贴在)粘贴在绝缘基片上,上面绝缘基片上,上面覆盖一层薄膜,使它们变成一个整体。覆盖一层薄膜,使它们变成一个整体。2.1.3 2.1.3 电阻应变片的分类电阻应变片的分类金属电阻应变片金属电阻应变片半导体电阻应变片半导体电阻应变片基片基片覆盖层覆盖层金属丝金属丝引
5、线引线图图图图2-2 2-2 2-2 2-2 金属丝应变片结构金属丝应变片结构金属丝应变片结构金属丝应变片结构(2 2)金属箔式应变片)金属箔式应变片 利用光刻、腐蚀等工艺制成一种很薄的金利用光刻、腐蚀等工艺制成一种很薄的金属箔栅,厚度一般在属箔栅,厚度一般在0.0030.010mm,粘贴在,粘贴在基片上,上面再覆盖一层薄膜而制成。其优点基片上,上面再覆盖一层薄膜而制成。其优点是表面积和截面积之比大,散热条件好,允许是表面积和截面积之比大,散热条件好,允许通过的电流较大,可制成各种需要的形状,便通过的电流较大,可制成各种需要的形状,便于批量生产。于批量生产。图图图图2-3 2-3 2-3 2-
6、3 箔式应变片箔式应变片箔式应变片箔式应变片(3 3)金属薄膜应变片)金属薄膜应变片 金属薄膜应变片是采用真空蒸镀或溅金属薄膜应变片是采用真空蒸镀或溅射式阴极扩散等方法,在薄的基底材料射式阴极扩散等方法,在薄的基底材料上制成一层金属电阻材料薄膜以形成应上制成一层金属电阻材料薄膜以形成应变片。变片。这种应变片有较高的灵敏度系数,允这种应变片有较高的灵敏度系数,允许电流密度大,工作温度范围较广。许电流密度大,工作温度范围较广。常常用用应应变变片片的的形形式式金属应变计金属应变计2 2半导体应变片半导体应变片 半半导导体体应应变变片片的的工工作作原原理理是是基基于于半半导导体体材材料料的的压压阻阻效
7、效应应而而制制成成的的一一种种纯纯电电阻阻性性元元件件 。当当半半导导体体材材料料某某一一轴轴向向受受外外力力作用时,其电阻率会发生变化。作用时,其电阻率会发生变化。当半导体应变片受轴向力作用时,其电当半导体应变片受轴向力作用时,其电阻相对变化为阻相对变化为:式中式中 为半导体应变片的电阻率的相对变为半导体应变片的电阻率的相对变化,其值与半导体敏感条在轴向所受的应力化,其值与半导体敏感条在轴向所受的应力之比为一常数。即之比为一常数。即代入(代入(2-102-10)式,得:)式,得:上上式式中中1+2项项随随几几何何形形状状而而变变化化,LE项项为为压阻效应,随电阻率而变化。压阻效应,随电阻率而
8、变化。实实验验证证明明LE比比1+2大大近近百百倍倍,所所以以1+2可可以以忽忽略略,因因而而半半导导体体应应变变片片的的灵灵敏敏系系数数为:为:半半导导体体应应变变片片的的突突出出优优点点是是体体积积小小,灵灵敏敏度度高高,频频率率响响应应范范围围宽宽,输输出出幅幅值值大大,不不需需要要放放大大器器,可可直直接接与与记记录录仪仪连连接接,使使测测量量系系统统简简单单。但但其其温温度度系系数数大大,应应变时非线性较严重。变时非线性较严重。2.2 2.2 电阻应变片的重要特性电阻应变片的重要特性2.2.1 2.2.1 灵敏度系数灵敏度系数金金属属应应变变丝丝的的电电阻阻相相对对变变化化与与它它所
9、所感感受受的的应应变变之之间间具具有有线线性性关关系系,用用灵灵敏敏度度系系数数K KS S表表示示。当当金金属属丝丝做做成成应应变变片片后后,其其电电阻阻应应变变特特性性与与金金属属单单丝丝情情况况不不同同。因因此此,须须用用实实验验方方法法对对应应变变片片的的电电阻阻应应变变特特性性重重新新测测定定。实实验验表表明明,金金属属应应变变片片的的电电阻阻相相对对变变化化与与应应变变 在很宽的范围内均为线性关系。在很宽的范围内均为线性关系。K为金属应变片的灵敏系数。为金属应变片的灵敏系数。测测量量结结果果表表明明,应应变变片片的的灵灵敏敏系系数数K恒恒小小于于线线材材的的灵灵敏敏系系数数KS。原
10、原因因主主要要是是胶胶层层传递变形失真及横向效应。传递变形失真及横向效应。即即:2.3.2 2.3.2 横向效应横向效应金金属属丝丝式式应应变变片片由由于于敏敏感感栅栅的的两两端端为为半半圆圆弧弧形形的的横横栅栅,测测量量应应变变时时,构构件件的的轴轴向向应应变变 使使敏敏感感栅栅电电阻阻发发生生变变化化,而而其其横横向向应应变变 r r也也使使敏敏感感栅栅半半圆弧部分的电阻发生变化。圆弧部分的电阻发生变化。bOlrdld0图图2-5 2-5 敏感栅半圆弧形部分敏感栅半圆弧形部分r应应变变片片的的这这种种既既受受轴轴向向应应变变影影响响,又又受受横横向向应应变变影影响响而而引引起起电电阻阻变变
11、化化的的现现象称为象称为横向效应横向效应。若若敏敏感感栅栅有有n根根纵纵栅栅,每每根根长长为为l,半半径径为为r,在轴向应变在轴向应变作用下,全部纵栅的变形视为作用下,全部纵栅的变形视为L1L1=n l 半圆弧横栅同时受到半圆弧横栅同时受到 和和r的作用,在任一微的作用,在任一微小段长度小段长度dl=r d上的应变上的应变可由材料力学公式可由材料力学公式求得求得 每个圆弧形横栅的变形量每个圆弧形横栅的变形量l 为为纵纵栅栅为为n根根的的应应变变片片共共有有n-1个个半半圆圆弧弧横横栅栅,全部横栅的变形量为全部横栅的变形量为应变片敏感栅的总变形为应变片敏感栅的总变形为敏敏感感栅栅栅栅丝丝的的总总
12、长长为为L,敏敏感感栅栅的的灵灵敏敏系系数数为为KS,则电阻相对变化为,则电阻相对变化为令:令:则:则:可可见见,敏敏感感栅栅电电阻阻的的相相对对变变化化分分别别是是 和和 r r作作用用的结果。的结果。当当r=0时,可得时,可得轴向灵敏度系数:轴向灵敏度系数:当当=0时,可得时,可得横向灵敏度系数横向灵敏度系数:横横向向灵灵敏敏系系数数与与轴轴向向灵灵敏敏系系数数之之比比值值,称称为为横横向效应系数向效应系数H。即:。即:可见,可见,r愈小、愈小、l愈大,则愈大,则H愈小。即敏感栅越窄、愈小。即敏感栅越窄、基长越长的应变片,其横向效应引起的误差越小。基长越长的应变片,其横向效应引起的误差越小
13、。应应变变片片粘粘贴贴在在被被测测试试件件上上,当当温温度度恒恒定定时时,其其加加载载特特性性与与卸卸载载特特性性不不重重合合,即即为为机械滞后机械滞后。1 1机械应变机械应变 R R卸载卸载加载加载指指示示应应变变 i i图图图图2-6 2-6 2-6 2-6 应变片的机械滞后应变片的机械滞后应变片的机械滞后应变片的机械滞后2.2.3 2.2.3 机械滞后、零漂及蠕变机械滞后、零漂及蠕变 机械滞后值还与应变片所承受的应变量机械滞后值还与应变片所承受的应变量有关,加载时的机械应变愈大,卸载时的有关,加载时的机械应变愈大,卸载时的滞后也愈大。所以,通常在实验之前应将滞后也愈大。所以,通常在实验之
14、前应将试件预先加、卸载若干次,以减少因机械试件预先加、卸载若干次,以减少因机械滞后所产生的实验误差。滞后所产生的实验误差。产生原因:应变片在承受机械应变后的残产生原因:应变片在承受机械应变后的残余变形,使敏感栅电阻发生少量不可逆变余变形,使敏感栅电阻发生少量不可逆变化;在制造或粘贴应变片时,敏感栅受到化;在制造或粘贴应变片时,敏感栅受到的不适当的变形或粘结剂固化不充分等。的不适当的变形或粘结剂固化不充分等。对对于于粘粘贴贴好好的的应应变变片片,当当温温度度恒恒定定时时,不不承承受受应应变变时时,其其电电阻阻值值随随时时间间增增加加而而变变化化的的特特性性,称称为应变片的为应变片的零点漂移零点漂
15、移。产产生生的的原原因因:敏敏感感栅栅通通电电后后的的温温度度效效应应;应应变变片的内应力逐渐变化;粘结剂固化不充分等。片的内应力逐渐变化;粘结剂固化不充分等。如如果果在在一一定定温温度度下下,使使应应变变片片承承受受恒恒定定的的机机械械应应变变,其其电电阻阻值值随随时时间间增增加加而而变变化化的的特特性性称称为为蠕蠕变变。一般蠕变的方向与原应变量的方向相反。一般蠕变的方向与原应变量的方向相反。产产生生的的原原因因:由由于于胶胶层层之之间间发发生生“滑滑动动”,使使力传到敏感栅的应变量逐渐减少。力传到敏感栅的应变量逐渐减少。在在一一定定温温度度下下,应应变变片片的的指指示示应应变变对对测测试试
16、值值的的真实应变的相对误真实应变的相对误差不超过规定范围差不超过规定范围(一般为(一般为10%)时的)时的最大真实应变值。最大真实应变值。真实应变是由于工真实应变是由于工作温度变化或承受作温度变化或承受机械载荷,在被测机械载荷,在被测试件内产生应力时试件内产生应力时所引起的表面应变。所引起的表面应变。2.2.4 2.2.4 应变极限应变极限j真实应变真实应变 g g指示应变指示应变 i i图图图图2-7 2-7 2-7 2-7 应变片的应变极限应变片的应变极限应变片的应变极限应变片的应变极限100%190%当当被被测测应应变变值值随随时时间间变变化化的的频频率率很很高高时时,需需考考虑虑应应变
17、变片片的的动动态态特特性性。因因应应变变片片基基底底和和粘粘贴贴胶胶层层很很薄薄,构构件件的的应应变变波波传传到到应应变变片片的的时时间间很很短短(估估计计约约0.2s),故故只只需需考考虑虑应应变变沿沿应应变变片片轴轴向向传传播播时时的的动动态态响应。响应。2.2.5 2.2.5 动态特性动态特性图图图图2-82-8应变片对应变波的动态响应应变片对应变波的动态响应应变片对应变波的动态响应应变片对应变波的动态响应01lxtx设设一一频频率率为为 f 的的正正弦弦应应变变波波在在构构件件中中以以速速度度 v 沿沿应应变变片片栅栅长长方方向向传传播播,在在某某一一瞬瞬时时t,应应变变量沿构件分布如
18、图所示。量沿构件分布如图所示。设一频率为设一频率为 f、波长为波长为的正弦应变波在构件的正弦应变波在构件中以速度中以速度v v沿应变片轴向传播,应变片栅长为沿应变片轴向传播,应变片栅长为l,应变片两端点的坐标是应变片两端点的坐标是x1、x2,应变片中点的坐,应变片中点的坐标是标是xt。瞬时。瞬时t 时应变波沿构件分布为时应变波沿构件分布为应变片中点的应变为应变片中点的应变为应应变变片片测测得得的的应应变变为为栅栅长长 l 范范围围内内的的平平均均应应变变m,而而不不是是xt点点的的应应变变,其其数数值值等等于于l 范范围围内内应应变波曲线下的面积除以变波曲线下的面积除以 l。即:即:平均应变平
19、均应变m与中点应变与中点应变t相对误差相对误差 为:为:可见,相对误差可见,相对误差的大小只决定于的大小只决定于l/的比值,下的比值,下表给出了表给出了l/为为1/10和和1/20时时的数值:的数值:可可见见,应应变变片片栅栅长长与与正正弦弦应应变变波波的的波波长长之之比比愈小,相对误差愈小,相对误差 愈小。愈小。(%)1.621.620.520.52误差误差的计算结果的计算结果1/201/201/101/10l/若若已已知知应应变变波波在在某某材材料料内内传传播播速速度度,由由(2-182-18)式式可可计计算算出出栅栅长长为为L的的应应变变片片粘粘贴贴在在某某种材料上的可测动态应变最高频率
20、。种材料上的可测动态应变最高频率。用用作作测测量量应应变变的的金金属属应应变变片片,希希望望其其阻阻值值仅仅随随应应变变变变化化,而而不不受受其其它它因因素素的的影影响响。实实际际上上应应变变片片的的阻阻值值受受环环境境温温度度(包包括括被被测测试试件件的的温温度度)影影响响很很大大。由由于于环环境境温温度度变变化化引引起起的的电电阻阻变变化化与与试试件件应应变变所所造造成成的的电电阻阻变变化化几几乎乎有有相相同同的的数数量量级级,从从而而产产生生很很大大的的测测量量误误差差,称称为为应应变变片片的的温度误差温度误差,又称,又称热输出热输出。2.32.3 温度误差及其补偿温度误差及其补偿2.3
21、.1 2.3.1 温度误差温度误差 因因环环境境温温度度改改变变而而引引起起电电阻阻变变化化的的两两个个主主要要因素:因素:应变片的电阻丝应变片的电阻丝(敏感栅敏感栅)具有一定温度系数;具有一定温度系数;电阻丝材料与测试材料的线膨胀系数不同。电阻丝材料与测试材料的线膨胀系数不同。设环境引起的构件温度变化为设环境引起的构件温度变化为t()时,粘时,粘贴在试件表面的应变片敏感栅材料的电阻温度贴在试件表面的应变片敏感栅材料的电阻温度系数为系数为t,则应变片产生的电阻相对变化为,则应变片产生的电阻相对变化为:由由于于敏敏感感栅栅材材料料和和被被测测构构件件材材料料两两者者线线膨膨胀胀系系数数不不同同,
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词:
- 传感器原理与应用技术_刘爱华第二版_2 应变式电阻传感器 传感器 原理 应用技术 刘爱华 第二 _2 应变 电阻
![提示](https://www.taowenge.com/images/bang_tan.gif)
限制150内