光电技术第8章(3).ppt
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1、光敏元件放大器A/D转换器存储器数字信号处理器计算机接口电路CMOS图像传感器三、三、CMOS图像传感器图像传感器 结构简单处理功能多成品率高价格低廉特点1969年(ComplementaryMetalOxideSemiconductor,CMOS)SEMImagingSystemPipeline图像传感器从事件光通量到输出电压的信号路径。这种变换接近线性的,并且由三个主要的参数控制,即外量子效率、积分时间(t)和转化增益。一个典型的0.18-um的CMOS图像传感器的光谱响应曲线CMOS光电二极管MOS场效应管MOS放大器MOS开关器件单元器件单元3.1 MOS场效应管场效应管MOS场效应管
2、的基本结构场效应管的基本结构MOS场效应管是一种具有表面场效应作用的单极性半导体器件。MOS衬底源极S漏极D栅极G MOS开关特性开关特性MOS开关电路MOS负载电阻MOS开关特性CMOS成像器件用MOS开关管作为寻址控制寻址控制和读出控制读出控制V2的栅极G与漏极D短接,工作在饱和状态,等效于一个阻值确定的电阻3.2 CMOS成像器件的像敏单元结构成像器件的像敏单元结构 像敏单元结构指每个成像单元的电路结构,是像敏单元结构指每个成像单元的电路结构,是CMOS图像传感器的核心组件。图像传感器的核心组件。像敏单元结构有两种类型,即像敏单元结构有两种类型,即被动像敏单元结构被动像敏单元结构和和主动
3、像敏单元结构主动像敏单元结构。PPS的像素包括一个光敏二极管和一个行选择MOS管。PPS(PassivePixelSensor)读取器以错列“旋转快门”的方式每次执行一行。在积分结束时,电荷经由列阵的电荷/电压放大器读取。然后行阵中的放大器和光敏二极管在下行读出开始之前重置。PPS的主要的优势是它较小的像素尺寸。缺点:其列读取器读取速度很慢,并且容易受到噪声和干扰的影响。APS(Active Pixel Sensor)FD(FloatingDiffusion)漏极漏极跟随器跟随器T2复位管复位管T1选通选通管管T33-TAPS的像素场效应管T1构成光电二极管的负载,它的栅极接在复位信号线上,当
4、复位脉冲到来时,T1导通,光电二极管被瞬时复位;复位晶体管源极跟随器晶体管行选择晶体管而当复位脉冲消失后,T1截止,光电二极管开始积分光信号。T2为源极跟随器,它将光电二极管的高阻抗输出信号进行电流放大。T3用做选址模拟开关,当选通脉冲到来时,T3导通,使被放大的光电信号输送到列总线上。而4-TAPS结构使用了一个铰接二极管,它较3-TAPS的像素的基本结构增加了一个传输门和一个悬浮式的扩散(FD)节点。在积分结束时,光敏二极管上的积聚电荷被转移到FD节点。然后被转移的电荷与3-T结构一样以电压的方式读取。光栅型有源像素结构每个像素中设置了一个A/D转换器DPS结构的CMOS图像传感器Digi
5、talPixel Sensor右图是DPS像素的简单的框图,它包括一个光电探测器,一个A/D转换器,以及在数字读出之前用来暂时存储数据的数字存储器优点:包括对CMOS工艺的更好的缩放比例以减小模拟电路功能要求,读相关列FPN的消除以及列读出噪声。更有意义的是,在每个像素中应用一个A/D转换器和存储器(使能大规模并行模数转换和高速数字读出),为高速“快照”数字成像提供了无限潜能。3.3 CMOS成像器件的原理结构成像器件的原理结构 CMOS成像器件的组成成像器件的组成 CMOS成像器件的组成原理框图如图成像器件的组成原理框图如图8-11所示,它的所示,它的主要主要组成部分是组成部分是像敏单元阵列
6、和像敏单元阵列和MOS场效应管集成电路,场效应管集成电路,而且这两部分是集成在同一硅片上的。像敏单元阵列由光而且这两部分是集成在同一硅片上的。像敏单元阵列由光电二极管阵列构成。电二极管阵列构成。如图中所示的像敏单元阵列按如图中所示的像敏单元阵列按X和和Y方向排列成方阵,方向排列成方阵,方阵中的每一个像敏单元都有它在方阵中的每一个像敏单元都有它在X,Y各方向上的地址,各方向上的地址,并可分别由两个方向的地址译码器进行选择;输出信号送并可分别由两个方向的地址译码器进行选择;输出信号送A/D转换器进行模数转换变成数字信号输出。转换器进行模数转换变成数字信号输出。图像信号的输出过程可由图像传感器阵列原
7、理图说图像信号的输出过程可由图像传感器阵列原理图说明。在明。在Y方向地址译码器(可以采用移位寄存器)的控制方向地址译码器(可以采用移位寄存器)的控制下,依次序接通每行像敏单元上的模拟开关(图中标志下,依次序接通每行像敏单元上的模拟开关(图中标志的的Si,j),),信号将通过行开关传送到列线上,再通过信号将通过行开关传送到列线上,再通过X方方向地址译码器(可以采用移位寄存器)的控制,输送到向地址译码器(可以采用移位寄存器)的控制,输送到放大器。放大器。如图所示图像信号经如图所示图像信号经Y方向地址译码器依次序接通每方向地址译码器依次序接通每行像敏单元上的模拟开关行像敏单元上的模拟开关Si,j,信
8、号将通过行开关传送到列信号将通过行开关传送到列线上,再通过线上,再通过X方向地址译码器的控制,输送到放大器。方向地址译码器的控制,输送到放大器。由于信号经行与列开关输由于信号经行与列开关输出,因此,可以实现逐行出,因此,可以实现逐行扫描或隔行扫描的输出方扫描或隔行扫描的输出方式。也可以只输出某一行式。也可以只输出某一行或某一列的信号。或某一列的信号。还可以选中所希望观测的某些点的信号输出,如图还可以选中所希望观测的某些点的信号输出,如图8-12中所示的第中所示的第i行、第行、第j列的信号。列的信号。在在CMOS图像传感器的同一芯片中,还可以设置其他数字图像传感器的同一芯片中,还可以设置其他数字
9、处理电路。例如,可以进行自动曝光处理、非均匀性补偿、处理电路。例如,可以进行自动曝光处理、非均匀性补偿、白平衡处理、白平衡处理、校正、黑电平控制等处理。甚至于将具有校正、黑电平控制等处理。甚至于将具有运算和可编程功能的运算和可编程功能的DSP器件制作在一起形成多种功能的器件制作在一起形成多种功能的器件。器件。3.4 CMOS图像传感器的工作流程图像传感器的工作流程 CMOS图像传感器的功能很多,组成也很复杂。由像敏单元,行列开关,地址译码器,A/D转换器等许多部分组成较为复杂的结构。应使诸多的组成部分按一定的程序工作,以便协调各组成部分的工作。为了实施工作流程,还要设置时序脉冲,利用它的时序关
10、系去控制各部分的运行次序;并用它的电平或前后沿去适应各组成部分的电气性能。CMOS图像传感器的典型工作流程图如图所示。a 初始化 初始化时要确定器件的工作模式,如:输出偏压、放大器的增益、取景器是否开通,并设定积分时间。b帧读出(YR)移位寄存器初始化 利用同步脉冲SYNC-YR,可以使YR移位寄存器初始化。SYNC-YR为行启动脉冲序列,不过在它的第一行启动脉冲到来之前,有一消隐期间,在此期间内要发送一个帧启动脉冲。c 启动行读出 SYNC-YR指令可以启动行读出,从第一行(Y0)开始,直至YYmax止;Ymax等于行的像敏单元减去积分时间所占去的像敏单元。g复位 帧复位是用同步信号SYNC
11、-YL控制的,从SYNC-YL开始至SYNC-YR出现的时间间隔便是曝光时间。为了不引起混乱,在读出信号之前应当确定曝光时间。d 启动X移位寄存器 利用同步信号SYNC-X,启动X移位寄存器开始读数,从X0起,至XXmax止;X移位寄存器存一幅图像信号。e 信号采集 A/D转换器对一幅图像信号进行A/D数据采集。f 启动下行读数 读完一行后,发出指令,接着进行下一行读数。(9)信号采样/保持为适应A/D转换器的工作,设置采样/保持脉冲,该脉冲由脉冲信号SHY控制。(8)输出放大器复位 用于消除前一个像敏单元信号的影响,由脉冲信号SIN控制对输出放大器的复位。3个同步脉冲SYNC-YL,SYNC
12、-YR和SYNC-X分别对器件中的3个移位寄存器进行初始化。其中SYNC-YL、SYNC-YR为分时操作的,由L/R信号的高、低电平控制。这些同步信号都是低电平有效。时钟信号CLCK-Y用于启动下一行,该信号为下降沿有效。时钟信号SIN用于使输出放大器复位,它是高电平有效的,在读数结束时起作用,将输出放大器复位。复位以后,信号存储在输出放大器中,而后,SIN又重新回到低电平。利用第一个复位脉冲使像敏单元复位。SYNC-X启动,读出信号与时钟信号分别控制每个像敏单元信号的读出;读出结束后,SHY重新回到高电平。时钟信号SHY控制信号的采样与保持,此信号为低电平时对信号进行采集。若要进行曝光控制,
13、则需要在行信号读出期间对像敏单元进行复位,采用第二个复位脉冲,帧初始至第二个复位脉冲的时间间隔便是曝光时间(光积分时间)。3.5 CMOS成像器件的辅助电路成像器件的辅助电路 CMOS成像器件的重要优点是,在同一芯片可以集成很多电路,使得这种器件的功能多,但结构却很简单。(1)偏置非均匀性校正电路 在CMOS成像器件中,各像敏单元的偏置电压是不均匀的,可以在芯片中设置非均匀性校正电路进行校正,这对于弱信号场合特别有意义。例如,具有对数输出特性的器件,输出的每一数量级的电压仅为50mV左右,这与像敏单元的偏置非均匀在同一范围内,所以必须对其进行校正;而对于线性度要求高的场合,也要求校正非均匀性。
14、图8-22所示为采用硬件方法校正非均匀性的电路。设置了EPROM,在其中存了CMOS图像传感器的偏压非均匀性数据,它经过D/A转换后输送到差分放大器中。图像传感器的输出信号减去EPROM中存储的信号,便消除了像敏单元偏置信号非均匀的影响。(2)随机选址电路 在光学检测、机器人等许多应用中,都可能只需要采集部分图像数据,以节省时间和减少数据处理量,因而要求能够对图像进行随机采样。例如,成像器件的像素为10241024,而有用图像仅仅是其中随机分布的200200小区,若能随机采样出该小区图像,则有效数据量就只有总数据量的1/25,而帧频却可提高至25倍。可见此方法意义重大。随机采样方法的原理如图8
15、-23所示。其中的微处理器用于控制随机采样,它内部包含有存储器,用于储存成像器件的地址和输出的图像数据;设有3个加法器,其中两个用于混合选址信号,一个用于启动A/D,用地址总线或微处理器来控制选址和读出数据。(3)相关双采样电路KTC噪声是一种频率较低的噪声,它在一个像敏单元信号的读出过程中变化很小。消除KTC噪声的常用方法是相关双采样(CDS)。它的工作原理如图8-24所示,由于光电二极管的输出信号中既包含光电信号,也包含有复位脉冲电压信号,若在光电信号的积分开始t1时刻和积分结束t2时刻,分别对输出信号进行采样,并只提取二者的信号差且在t1t2期间复位电压不变,式 中不再包含复位电压,即消
16、除了复位引起的噪声。下面给出这种电路的频率特性,以便清晰地表明CDS有抑制低频信号的作用。U(t)被采样和保持后,其差值信号为式中,、T为采样信号的周期。对U(t)进行傅里叶(Fourier)变换,即得的频谱为 式中,fn是奈奎斯特频率。上式说明,几项频谱叠加的结果会造成频谱混淆现象,需要用一个矩形滤波器将n=1以上的频谱滤掉。这样CDS的传递函数T(f)便为 T(f)的曲线如图8-25所示,可见CDS对低频适用。在期间内,复位信号基本上不变,可作为直流信号。因此,将被CDS消除掉。另外,对于其他低频噪声,如1/f噪声,也有抑制作用。(4)对数特性的电路 当信号光强变化很大时,可以采用具有对数
17、特性的电路,以便满足动态范围的要求。但是这种结构对器件参数的变化很敏感,会因各像敏单元的偏置电流不同而增减固定图案噪声(EPN)。为了清除这种EPN,需要采用校正电路。如图8-26所示为一种具有对数运算功能的输出电路,它除具有一般主动像敏单元结构外,还增加有校正电流电路与选通开关电路。3.6 CMOS图像传感器的特性参数图像传感器的特性参数 CMOS图像传感器的特性参数与CCD的特性参数基本趋于一致;近年来,CMOS成像器件取得重大进展,已接近于CCD。a光谱性能与量子效率CMOS成像器件的光谱性能和量子效率取决于它的像敏单元(光电二极管)。图8-30所示为CMOS图像传感器的光谱响应特性曲线
18、。光谱范围为3501100nm,峰值响应波长在700nm附近,峰值波长响应度已达到0.4A/W。b填充因子填充因子填充因子是光敏面积对全部像敏面积之比,它对器件的灵敏度、噪声、时间响应、模传递函数MTF等的影响很大。因为CMOS图像传感器包含有驱动、放大和处理电路,它将占据一定的表面面积,因而降低了器件的填充因子。被动像元结构的器件具有的附加电路少,填充因子会大些;大面积的图像传感器结构,光敏面积所占比例大一些。提高填充因子使光敏面积占据更大的表面面积是充分利用半导体制造大光敏面图像传感器的关键。一般来说,提高填充因子的方法有以下两种。(1)采用微透镜法 如图8-31所示,CMOS成像器件的上
19、方安装一层矩形的面阵微透镜,它将入射到像敏单元的光线会聚到各个面积很小的光敏单元,使填充因子能提高到90%。(2)采用特殊的像元结构 图8-32所示为一种填充因子较高的CMOS像敏单元结构,它的表面为光电二极管和其他电路,二者是隔离的。在光电二极管的N+区下面增加了N区,用于接收扩散的光电子;而在N+的下面设置P+静电阻挡层,用于阻挡光电子进入其他电路。图8-33所示为像元两个截面的电位分布图。两个截面电位分布的差别主要在A截面的P+区和B截面对应的N区,前者的电位很低,将阻挡光电子进入,而后者的电位很高,对光电子有吸引作用。在种结构的像元上,表层光电二极管、电路及其阻挡层均很薄,且透明,入射
20、光透过后到达外延的光敏层,所产生的光电子几乎可以全部扩散到光电二极管中。尽管光电二极管表面积不大,但收集光的面积却为整个像元的表面积,因此,等效填充因子接近100%。c 输出特性与动态范围输出特性与动态范围CMOS器件有4种输出模式:线性模式、双斜率模式、对数特性模式和校正模式。它们的动态范围相差很大,特性也有较大的区别。图8-34所示为4种输出模式的曲线。(1)线性输出模式 线性输出模式的输出与光强成正比,适用于要求进行连续测量的场合。它的动态范围最小,而且在线性范围的最高端信噪比最大。在小信号时,因噪声的影响增大,信噪比很低。(2)双斜率输出模式 双斜率输出模式是一种扩大动态范围的方法。它
21、采用两种曝光时间,当信号很弱时采用长时间曝光,输出信号曲线的斜率很大;而当信号很强后,用短时间曝光,曲线斜率便会降低,从而扩大动态范围。为了改善输出的平滑性,采用多种曝光时间模式,使输出曲线是由多段直线拟合而成,会平滑得多。(3)对数输出模式 对数输出模式的动态范围更大,可达几个数量级,无需对相机的曝光时间进行控制,也无需对镜头的光圈进行调节。此外,在CMOS器件中,很容易设计出具有对数响应的电路。另外,因为人眼对光的响应也接近对数关系,故,该模式具有良好的使用性能。(4)校正模式校正模式的输出规律如下:式中,U为信号输出电压,E是输入光强,k为常数,而为校正因子。为小于1的系数,显然,它也使
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