高分辨XRD测量及分析方法.ppt
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HRXRD测量及分析方法布拉格公式:布拉格公式:衍射基本原理X射线衍射仪X射线衍射是一种无损的研究材料结构的方法,高分辨X射线衍射(HRXRD)非常适合研究单晶和外延膜等晶体取向很好的材料。探测器样品台Cu(K)源单色器HRXRD基本光路图XRD图解扫描模式u Omega-scanu Omega-2theta scanu Phi-scanu Chi-scanRocking Curve Scan(扫描)扫描,也称摇摆,就是探测器固定在2位置,样品在左右摇摆,这时候探测器前面不加狭缝,处于开口状态。-2扫描,也叫联动,就是样品和探测器都在转动,从衍射峰位可以确定样品的晶格常数,从而确定外延膜样品晶格的应变。这时,探测器前一般要狭缝。衍射峰的半高宽与薄膜的厚度、组分及应变的不均匀性有关。Omega-2theta(-2)扫描Phi-scan扫描:取与样品表面有一定夹角的晶面衍射,如六方ZnO的表面为(0001),(1011)面与表面的夹角为61.60,先将样品倾斜61.60,然后样品绕表面法线旋转360,是为扫描,可以观察(1011)面衍射的空间分布。极图极图:样品从0-90逐步倾斜,每一步倾斜,做扫描,一系列扫描的数据合起来作图,就可以得到极图。可以研究特定的衍射,即固定的-2,在空间两个方位(和)上的分布。六方晶系的(0001)标准极图(c/a=1.863)
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