第7章光电式与光导式传感器part1.ppt
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1、 第七章第七章 光电式与光导式传感器光电式与光导式传感器1概概 述述一、光的特性一、光的特性光波是波长为光波是波长为10106nm的电磁波。其中可的电磁波。其中可见光的波长范围在见光的波长范围在380780nm,紫外线的波,紫外线的波长范围是长范围是10380nm,红外线的波长范围是,红外线的波长范围是780106nm。2光都具有反射、折射、散射、衍射、干涉光都具有反射、折射、散射、衍射、干涉和吸收等性质。由光的粒子说可知,光是和吸收等性质。由光的粒子说可知,光是以光速运动着的粒子(光子)流,一束频以光速运动着的粒子(光子)流,一束频率为率为的光由能量相同的光子所组成,每个的光由能量相同的光子
2、所组成,每个光子的能量为光子的能量为h普朗克常数,普朗克常数,6.62610-34Js;光的频率(单位光的频率(单位s-1)。)。可见,光的频率愈高(即波长愈短),光可见,光的频率愈高(即波长愈短),光子的能量愈大。子的能量愈大。3二、二、光源(发光器件)光源(发光器件)1.白炽光源白炽光源用钨丝通电加热作为光辐射源最为普通,用钨丝通电加热作为光辐射源最为普通,一般白炽灯的辐射一般白炽灯的辐射光谱是连续的光谱是连续的。发光范围:可见光、大量红外线和紫外线,发光范围:可见光、大量红外线和紫外线,所以任何光敏元件都能和它配合接收到光所以任何光敏元件都能和它配合接收到光信号。信号。特点:寿命短而且发
3、热大、效率低、动态特点:寿命短而且发热大、效率低、动态特性差,但对接收光敏元件的光谱特性要特性差,但对接收光敏元件的光谱特性要求不高,是可取之处。求不高,是可取之处。42.气体放电光源气体放电光源定义:定义:利用电流通过气体产生发光现象制利用电流通过气体产生发光现象制成的灯。成的灯。气体放电灯的光谱是气体放电灯的光谱是不连续不连续的,的,光谱与气光谱与气体的种类及放电条件有关体的种类及放电条件有关。改变气体的成。改变气体的成分、压力、阴极材料和放电电流大小,可分、压力、阴极材料和放电电流大小,可得到主要在某一光谱范围的辐射。得到主要在某一光谱范围的辐射。5低压汞灯、氢灯、钠灯、镉灯、氦灯是光低
4、压汞灯、氢灯、钠灯、镉灯、氦灯是光谱仪器中常用的光源,统称为谱仪器中常用的光源,统称为光谱灯光谱灯。例。例如低压汞灯的辐射波长为如低压汞灯的辐射波长为254nm254nm,钠灯的,钠灯的辐射波长为辐射波长为589nm589nm,可,可被用作被用作单色光源。单色光源。如果光谱灯涂以荧光剂,由于光线与涂层如果光谱灯涂以荧光剂,由于光线与涂层材料的作用,荧光剂可以将气体放电谱线材料的作用,荧光剂可以将气体放电谱线转化为更长的波长,通过对荧光剂的选择转化为更长的波长,通过对荧光剂的选择可以使气体放电发出某一范围的波长,如可以使气体放电发出某一范围的波长,如照明日光灯。照明日光灯。气气体放电灯消耗的能量
5、为白炽灯体放电灯消耗的能量为白炽灯1/2-1/31/2-1/36由由半导体半导体PNPN结结构成,其工作电压低、响应构成,其工作电压低、响应速度快、寿命长、体积小、重量轻,因此速度快、寿命长、体积小、重量轻,因此获得了广泛的应用。获得了广泛的应用。3.发光二极管(发光二极管(LEDLight Emitting Diode)7半导体中,由于空穴和电子的扩散,在半导体中,由于空穴和电子的扩散,在PNPN结处形成势垒,从而抑制了空穴和电子的结处形成势垒,从而抑制了空穴和电子的继续扩散。继续扩散。当当PNPN结上加有正向电压时结上加有正向电压时,势,势垒降低,电子由垒降低,电子由N N区注入到区注入到
6、P P区,空穴则由区,空穴则由P P区注入到区注入到N N区,称为少数载流子注入。所区,称为少数载流子注入。所注入到注入到P P区里的电子和区里的电子和P P区里的空穴复合,区里的空穴复合,注入到注入到N N区里的空穴和区里的空穴和N N区里的电子复合,区里的电子复合,这种这种复合同时伴随着以光子形式放出能量复合同时伴随着以光子形式放出能量,因而有发光现象。因而有发光现象。8 电电子子和和空空穴穴复复合合,所所释释放放的的能能量量E Eg g等等于于PNPN结结的的禁禁带带宽宽度度(即即能能量量间间隙隙)。所所放放出出的的光光子子能能量量用用hh表表示示,h h为为普普朗朗克克常常数数,为光的
7、频率。则为光的频率。则普朗克常数普朗克常数h h=6.610=6.610-34-34J.sJ.s;光速光速c c=310=3108 8m/sm/s;E Eg g的单位为电子伏(的单位为电子伏(eVeV),),1eV=1.6101eV=1.610-19-19J J。9hchc=19.8=19.81010-26-26mm WW s=12.4s=12.41010-7-7mm eVeV可见光的波长可见光的波长 近似地认为在近似地认为在7 71010-7-7mm以下,以下,所以制作发光二极管的材料,其禁带宽度至所以制作发光二极管的材料,其禁带宽度至少应大于少应大于 h c/=1.8 eV 普通二极管是用
8、锗或硅制造的,这两种材料普通二极管是用锗或硅制造的,这两种材料的禁带宽度的禁带宽度E Eg g分别为分别为0.67eV0.67eV和和1.12eV1.12eV,显然不能使用。显然不能使用。10通通常常用用的的砷砷化化镓镓和和磷磷化化镓镓两两种种材材料料固固溶溶体体,写写作作GaAsGaAs1-x1-xP Px x,x x代代表表磷磷化化镓镓的的比比例例,当当x x0.350.35时时,可可得得到到Eg1.8eVEg1.8eV的的材材料料。改改变变x x值值还还可可以以决决定定发发光光波波长长,使使 在在550550900nm900nm间变化,它已经进入红外区。间变化,它已经进入红外区。11与与
9、此此相相似似的的可可供供制制作作发发光光二二极极管管的的材材料料见见下表:下表:材料材料材料材料波长波长波长波长/nm/nm/nm/nm材料材料材料材料波长波长波长波长/nm/nm/nm/nmZnSZnSZnSZnS340340340340CuSe-ZnSeCuSe-ZnSeCuSe-ZnSeCuSe-ZnSe400400400400630630630630SiCSiCSiCSiC480480480480ZnZnZnZnx x x xCdCdCdCd1-x1-x1-x1-xTeTeTeTe590590590590830830830830GaPGaPGaPGaP565,680565,680565
10、,680565,680GaAsGaAsGaAsGaAs1-x1-x1-x1-xP P P Px x x x550550550550900900900900GaAsGaAsGaAsGaAs900900900900InPInPInPInPx x x xAsAsAsAs1-x1-x1-x1-x9109109109103150315031503150InPInPInPInP920920920920InInInInx x x xGaGaGaGa1-x1-x1-x1-xAsAsAsAs8508508508501350135013501350 LED LED材料材料12 发发光光二二极极管管的的光光谱谱特特
11、性性如如图图所所示示。图图中中砷砷磷磷化化镓镓的的曲曲线线有有两两根根,这这是是因因为为其其材材质质成成分分稍稍有有差差异异而而得得到到不不同同的的峰峰值值波波长长 p p 。除除峰峰值值波波长长 p p决决定定发发光光颜颜色色之之外外,峰峰的的宽宽度度(用用描描述述)决决定定光光的的色色彩彩纯纯度度,越小,其光色越纯。越小,其光色越纯。13发光二极管的光谱特性发光二极管的光谱特性0.20.20.40.40.60.60.80.8 1.01.0 0 060060070070080080090090010001000GaAsPGaAsPp=670nmp=670nmp=670nmp=670nmp=6
12、55nmp=655nmp=655nmp=655nmGaAsPGaAsPp=565nmp=565nmp=565nmp=565nmGaPGaPp=950nmp=950nmp=950nmp=950nmGaAsGaAs/nmnmnmnm相相相相对对对对灵灵灵灵敏敏敏敏度度度度14 发发光光二二极极管管的的伏伏安安特特性性与与普普通通二二极极管管相相似似,但但随随材材料料禁禁带带宽宽度度的的不不同同,开开启启(点点燃燃)电电压压略略有有差差异异。图图为为砷砷磷磷化化镓镓发发光光二二极极管管的的伏伏安安曲曲线线,红红色色约约为为1.7V1.7V开开启启,绿色约为绿色约为2.2V2.2V。15U U U U
13、/V/V/V/V I I I I/mAmAmAmA -10-10-10-10 -5-5-5-5 0 0 0 0 1 1 1 12 2 2 2GaAsPGaAsPGaAsPGaAsP(红红红红)GaAsPGaAsPGaAsPGaAsP(绿绿绿绿)图上的横坐标正负值刻度比例不同。图上的横坐标正负值刻度比例不同。一般而言,发光二极管的反向击穿电压大一般而言,发光二极管的反向击穿电压大于于5V5V,为了安全起见,使用时反向电压应为了安全起见,使用时反向电压应在在5V5V以下。以下。164 4、激光器、激光器激光是激光是2020世纪世纪6060年代出现的最重大科技年代出现的最重大科技成就之一,具有高方向
14、性、高单色性和成就之一,具有高方向性、高单色性和高亮度三个重要特性。激光波长从高亮度三个重要特性。激光波长从0.24m0.24m到远红外整个光频波段范围。到远红外整个光频波段范围。17激光器种类繁多,按工作物质分类:激光器种类繁多,按工作物质分类:u固体激光器固体激光器(如红宝石激光器)(如红宝石激光器)u气气体体激激光光器器(如如氦氦-氖氖气气体体激激光光器器、二二氧氧化碳激光器)化碳激光器)u半导体激光器半导体激光器(如砷化镓激光器)(如砷化镓激光器)u液体激光器液体激光器。18(1 1)固体激光器)固体激光器典型实例是红宝石激光器,是典型实例是红宝石激光器,是19601960年人类年人类
15、发明的第一台激光器。它的工作物质是固发明的第一台激光器。它的工作物质是固体。体。种类:红宝石激光器、掺钕的钇铝榴石激种类:红宝石激光器、掺钕的钇铝榴石激光器(简称光器(简称YAGYAG激光器)和钕玻璃激光器激光器)和钕玻璃激光器等。等。19特点:小而坚固、功率高,钕玻璃激光器特点:小而坚固、功率高,钕玻璃激光器是目前脉冲输出功率最高的器件,已达到是目前脉冲输出功率最高的器件,已达到几十太瓦。几十太瓦。固体激光器在光谱吸收测量方面有一固体激光器在光谱吸收测量方面有一些应用。利用阿波罗登月留下的反射镜,些应用。利用阿波罗登月留下的反射镜,红宝石激光器还曾成功地用于地球到月球红宝石激光器还曾成功地用
16、于地球到月球的距离测量。的距离测量。20(2 2)气体激光器)气体激光器工作物质是气体。工作物质是气体。种类:各种原子、离子、金属蒸汽、气体种类:各种原子、离子、金属蒸汽、气体分子激光器。常用的有分子激光器。常用的有氦氖激光器、氩离氦氖激光器、氩离子激光器、氪离子激光器,以及二氧化碳子激光器、氪离子激光器,以及二氧化碳激光器、准分子激光器激光器、准分子激光器等,其形状像普通等,其形状像普通的放电管一样,能连续工作,单色性好。的放电管一样,能连续工作,单色性好。它们的波长覆盖了从紫外到远红外的频谱它们的波长覆盖了从紫外到远红外的频谱区域。区域。21(3 3)半导体激光器)半导体激光器与与前前两两
17、种种相相比比出出现现较较晚晚,其其成成熟熟产产品品是是砷砷化化镓镓激激光光器器。特特点点:效效率率高高、体体积积小小、重重量量轻轻、结结构构简简单单,适适宜宜在在飞飞机机、军军舰舰、坦坦克克上上应应用用以以及及步步兵兵随随身身携携带带,如如在在飞飞机机上上作作测测距距仪仪来来瞄瞄准准敌敌机机。其其缺缺点点是是输输出出功功率率较较小小。目目前前半半导导体体激激光光器器可可选选择择的波长主要局限在红光和红外区域。的波长主要局限在红光和红外区域。22(4 4)液体激光器)液体激光器种类:螯合物激光器、无机液体激光器和种类:螯合物激光器、无机液体激光器和有机染料激光器,其中较为重要的是有机有机染料激光
18、器,其中较为重要的是有机染料激光器。它的最大特点是发出的激光染料激光器。它的最大特点是发出的激光波长可在一段范围内调节,而且效率也不波长可在一段范围内调节,而且效率也不会降低,因而它能起着其他激光器不能起会降低,因而它能起着其他激光器不能起的作用。的作用。2324一、一、外光电效应外光电效应物体内的电子逸出物体表面向外发射的现物体内的电子逸出物体表面向外发射的现象叫做象叫做外光电效应外光电效应。基于外光电效应的光电器件有基于外光电效应的光电器件有光电管、光光电管、光电倍增管电倍增管。第一节第一节 光电效应与光电器件光电效应与光电器件25爱因斯坦光电效应方程:爱因斯坦光电效应方程:1.1.光电子
19、能否产生,取决于光子的能量是光电子能否产生,取决于光子的能量是否大于该物体的表面电子逸出功否大于该物体的表面电子逸出功A A。2.2.一定时,产生的光电流和光强成正比。一定时,产生的光电流和光强成正比。3.3.逸出的光电子具有动能。逸出的光电子具有动能。26二、二、内光电效应内光电效应当光照在物体上,使物体的当光照在物体上,使物体的电导率电导率发生变发生变化,或化,或产生光生电动势产生光生电动势的效应。的效应。1光电导效应光电导效应在光线作用下,电子吸收光子能量从键合在光线作用下,电子吸收光子能量从键合状态过度到自由状态,而引起材料电导率状态过度到自由状态,而引起材料电导率的变化。的变化。基于
20、这种效应的光电器件有光敏电阻。基于这种效应的光电器件有光敏电阻。27自由电子所占能带自由电子所占能带不不存在电子所占能带存在电子所占能带价电子所占能带价电子所占能带禁带禁带禁带禁带导带导带导带导带价带价带价带价带EgEg电子能量电子能量E EhEg g当光照射到光电导体上时,若这个光电导当光照射到光电导体上时,若这个光电导体为本征半导体材料,且光辐射能量又足体为本征半导体材料,且光辐射能量又足够强够强,光电材料价带上的电子将被激发到导光电材料价带上的电子将被激发到导带上去,使光导体的电导率变大。带上去,使光导体的电导率变大。28势垒效应(结光电效应)势垒效应(结光电效应)光照射光照射PNPN结
21、时,若结时,若h h EgEg,使,使价带中的价带中的电子跃迁到导带,而产生电子空穴对,在电子跃迁到导带,而产生电子空穴对,在阻挡层内电场阻挡层内电场的作用下,电子偏向的作用下,电子偏向N N区外区外侧,空穴偏向侧,空穴偏向P P区外侧,使区外侧,使P P区带正电,区带正电,N N区带负电,形成光生电动势。区带负电,形成光生电动势。光生伏特效应:光生伏特效应:在光作用下能使物体在光作用下能使物体产生一定方向电动势的现象。产生一定方向电动势的现象。基于该效应基于该效应的器件有光电池和光敏二极管、三极管的器件有光电池和光敏二极管、三极管。P PN N29侧向光电效应侧向光电效应当半导体光电器件受光
22、照不均匀时,由载当半导体光电器件受光照不均匀时,由载流子浓度梯度将会产生侧向光电效应。流子浓度梯度将会产生侧向光电效应。当当光照部分吸收入射光子的能量产生电子光照部分吸收入射光子的能量产生电子空穴对时,光照部分载流子浓度比未受光空穴对时,光照部分载流子浓度比未受光照部分的大,就出现了照部分的大,就出现了浓度梯度浓度梯度,因而载,因而载流子要扩散。流子要扩散。301.光电管及其基本特性光电管及其基本特性 ()结构与工作原理结构与工作原理三、三、外光电效应器件外光电效应器件光电管和光电倍增管光电管和光电倍增管31()主要性能主要性能a a)光电管的伏安特性)光电管的伏安特性在一定的光照射下,对光电
23、器件的阴极所在一定的光照射下,对光电器件的阴极所加电压与阳极所产生的电流之间的关系称加电压与阳极所产生的电流之间的关系称为光电管的伏安特性。为光电管的伏安特性。真空光电管真空光电管 充气光电管充气光电管15015010010050502 20 020lm20lm40lm40lm60lm60lm80lm80lm100lm100lm120lm120lm4 46 68 810101212阴极电压阴极电压阴极电压阴极电压/V/V/V/VI I I IA A A A/AAAA2 20 01001005050弱光弱光弱光弱光强光强光强光强光1501504 46 68 810101212阴极电压阴极电压阴极
24、电压阴极电压/V/V/V/VI I I IA A A A/AAAA32b b)光电管的光照特性)光电管的光照特性当光电管的阴极和阳极之间所加的电压一当光电管的阴极和阳极之间所加的电压一定时,光通量与光电流之间的关系。定时,光通量与光电流之间的关系。光照特性曲线的光照特性曲线的斜率称为光电管斜率称为光电管的灵敏度。的灵敏度。光电管的光照特性光电管的光照特性2525505075751001002 20 00.50.51.51.5 2.02.0/1m/1mI IA A/AA1.01.02.52.51 133c)c)光电管的光谱特性光电管的光谱特性一般光电阴极材料不同的光电管有不同的一般光电阴极材料不
25、同的光电管有不同的红限频率,因此它们可用于不同的光谱范红限频率,因此它们可用于不同的光谱范围。另外,同一光电管对于不同频率的光围。另外,同一光电管对于不同频率的光的灵敏度不同。的灵敏度不同。以以GD-4GD-4型光电管为例,阴极是用型光电管为例,阴极是用锑铯锑铯材料材料制成,其制成,其红限红限 c c=700nm=700nm,对对可见光范围的可见光范围的入射光灵敏度比较高。适用于白光光源,被入射光灵敏度比较高。适用于白光光源,被应用于各种光电式自动检测仪表中。应用于各种光电式自动检测仪表中。34对对红外光源红外光源,常用,常用银氧铯银氧铯阴极,构成红阴极,构成红外探测器。外探测器。对对紫外光源
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