安全验收评价报告模版3463.docx

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1、XX项目安全验收评价报告XX项目目安全验验收评价价报告模模版1编制说说明1.1评评价依据据1、 中华人民民共和国国主席令令第700号中中华人民民共和国国安全生生产法2、 劳动部令令第3号号建设设项目（工工程）劳劳动安全全卫生监监察规定定3、 劳动部劳劳安字1999211号建建设项目目（工程程）职业业安全卫卫生设施施与技术术措施验验收办法法4、 国家安管管局安监监管技装装字220033377号安安全评价价通则5、 国家安管管局安监监管技装装字220033799号安安全验收收评价导导则6、 天津市安安管局津津安监管管字220022844号天天津市安安全评价价管理办办法7、 SJ3000022-92

2、2电子子工业职职业安全全卫生设设计规定定8、 国家、地地方、行行业有关关劳动安安全的法法规、规规定、规规范和标标准（详详见附件件1）9、 建设单位位提供的的中芯芯国际集集成电路路制造（天天津）有有限公司司项目安安全验收收的相关关资料。10、 中芯国际际集成电电路制造造（天津津）有限限公司委委托天津津泰山安安全科技技有限公公司进行行中芯芯国际集集成电路路制造（天天津）有有限公司司项目安安全验收收评价合合同书。1.2评评价目的的及评价价范围1、 评价目的的及评价价内容1） 安全验收收评价的的目的是是贯彻“安全第第一，预预防为主主”的方针针，为建建设项目目安全验验收提供供科学依依据，对对建设项项目未

3、达达到安全全目标的的系统或或单元提提出安全全补偿及及补救措措施，以以利于提提高建设设项目本本质安全全程度，满满足安全全生产要要求。2） 安全验收收评价内内容 检查建设设项目中中安全设设施是否否已与主主体工程程同时设设计、同同时施工工、同时时交付生生产和使使用；评评价建设设项目及及与之配配套的安安全设施施是否符符合国家家有关安安全生产产的法规规、规定定和技术术标准。 从整体上上评价建建设项目目的运行行状态和和安全管管理是否否正常、安安全、可可靠。2、 评价范围围根据本项项目安全全验收评评价技术术服务合合同书的的规定内内容，经经与建设设单位商商定：对对中芯天天津芯片片生产厂厂房、化化学品库库、污水

4、水处理站站以及变变配电站站、锅炉炉房、油油库、空空压站、冷冷冻站、水水泵房的的设备、设设施进行行劳动安安全验收收评价。 由由于公司司对工艺艺及产品品生产技技术保密密且芯片片生产线线工艺设设备自动动化程度度高，人人、机分分离，安安全性能能高，据据同行业业生产实实践，发发生事故故的可能能性极小小，对建建设项目目的总体体劳动安安全验收收评价结结果影响响较小，应应公司的的要求，在在芯片生生产厂房房劳动安安全验收收评价中中，在危危险危害害因素辨辨识分析析的基础础上，仅仅对其危危险性大大的芯片片生产的的辅助设设施进行行劳动安安全验收收评价。3主要危危险危害害因素分分析1、 物质的危危险危害害芯片生产产过程

5、中中，使用用多种化化学物品品，厂区区内设有有储存这这些化学学物品的的化学品品库，化化学品种种类达880种。按按照GBB136690-92常常用危险险化学品品的分类类及标志志规定定中对常常用危险险化学品品，按其其主要危危险特性性进行分分类，该该项目中中使用的的危险化化学品有有压缩气气体和液液化气体体，易燃燃液体、氧氧化剂、有有毒品、腐腐蚀品等等类别，这这些物质质的主要要危险危危害为：1） 有毒有害害气体（如如AsHH3、PHH3、SiiH4、COO等）如如泄漏与与空气混混合遇明明火易燃燃爆，有有的可在在空气中中自燃，有有的可致致人中毒毒、冻伤伤、窒息息、直至至死亡。2） 易燃液体体（如丙丙酮、异

6、异丙醇等等）如泄泄漏、挥挥发与空空气混合合形成爆爆炸气体体遇明火火、热源源可引发发火灾爆爆炸。3） 氧化剂（如如过氧化化氢等）如如泄漏与与有机物物还原剂剂、易燃燃物接触触可引起起火灾爆爆炸。4） 腐蚀品（如如酸类、碱碱类等）如如泄漏与与人体接接触可引引起化学学灼伤。这些危险险有害因因素的主主要物质质理化特特性，以以及化学学危险品品的贮存存、使用用的危险险性分析析详见化化学品库库单元.2、 设备设施施的固有有危险危危害生产设备备多，且且特种设设备的种种类、数数量多。电电气设备备有1110kVV和100kV变变配电站站的变压压器、配配电柜、以以及各厂厂房内用用电设备备及控制制系统；特种设设备有燃燃

7、气锅炉炉、空压压设备、冷冷冻设备备、压力力容器及及多种气气瓶和厂厂内机动动车辆；储存设设备有储储气罐、液液氮罐、液液氩罐、贮贮油设备备、硫酸酸罐、氢氢氧化钠钠罐等。其其主要危危险因素素有：1） 火灾爆炸炸油罐如本本身缺陷陷或安全全装置失失效或管管理不善善出现泄泄漏，遇遇明火可可引发火火灾、爆爆炸危险险。锅炉使用用燃料是是天然气气，天然然气为易易燃易爆爆气体，一一旦出现现泄漏遇遇明火可可引发火火灾。当当天然气气与空气气混合的的浓度达达到爆炸炸极限时时遇点火火源可引引发爆炸炸危险。2） 物理爆炸炸锅炉、压压力容器器（蒸发发器、冷冷凝器、储储气罐）设设备、气气瓶等，如如设备有有缺陷或或超压安安全附件

8、件失效或或使用不不当，可可引发物物理爆炸炸。3） 触电危险险变配电设设备、电电气线路路、用电电设备如如产品质质量不佳佳、绝缘缘性能不不良或因因运行不不当、机机械损伤伤、维修修不善导导致绝缘缘老化破破损或设设计、安安装不规规范，安安全净距距不足，或或违章操操作，均均可能引引发触电电危险。如如出现短短路、过过载、接接触不良良等，也也可引发发电气火火灾危险险。4） 静电危害害如火灾、爆爆炸危险险环境内内设备、管管路防静静电设计计或施工工不规范范，或在使用、输送、贮贮存易燃燃易爆物物质时所所产生的的静电电电荷不能能及时消消除，或或使用有有火花工工具、穿穿用不防防静电的的鞋、服服装而产产生静电电火花，均

9、均可能引引燃易燃燃易爆物物质，造造成火灾灾、爆炸炸。5） 高空坠落落危险凡2m以以上各类类高空作作业点位位，其梯梯、台、道道、护栏栏等常规规性防护护措施不不符合规规范要求求或损坏坏，可引引发高空空坠落危危险。6） 车辆伤害害厂内各类类运输车车辆如车车辆本身身缺陷，或或制动、音音响、灯灯光等失失效，道道路状况况不符合合规定要要求或误误操作可可引发车车辆伤害害。7） 机械伤害害空压站、冷冷冻站、水水泵房、锅锅炉房的的旋转、传传动设备备如无防防护罩或或损坏，可可引发机机械伤害害。8） 灼伤高温设备备、蒸气气管路等等表面，保保温、隔隔热效果果不好，易易形成烫烫伤事故故。各类类使用激激光源、红红外线光光

10、源的设设备、机机台上，如如因光源源密闭性性不好或或损坏或或操作不不当，致致使光源源直射观观察者眼眼睛，将将会造成成眼灼伤伤。9） 噪声危险险空压设备备、泵类类、风机机等设备备在运转转时可产产生噪声声危害。4评价方方法的选选取和评评价单元元的划分分4.1评评价方法法的选取取结合本项项目建设设内容及及已做劳劳动安全全预评价价的实际际，安全全验收评评价采用用以下两两种方法法：1、 安全检查查表（SSCL）依据国家家、行业业、地方方相关法法规、规规定及技技术标准准，针对对本工程程存在的的危险、危危害因素素，编制制安全检检查表，以以查验项项目在设设计、施施工、交交付生产产使用时时，所采采取的安安全防护护

11、设施及及技术措措施的全全面性和和可靠性性，并据据此提出出改进措措施及建建议。2、 专家现场场询问，观观察法（邀邀请公司司专业技技术人员员参加、配配合）。4.2评评价单元元的划分分依据已确确定的评评价范围围及建设设内容的的实际，本本项目的的安全验验收评价价划分如如下评价价单元。1、 总平面布布置及常常规安全全防护设设施安全全评价单单元2、 生产工艺艺及危险险化学品品使用安安全评价价单元3、 化学品库库安全评评价单元元4、 超纯水制制备设施施系统安安全验收收评价单单元5、 锅炉房安安全验收收评价单单元6、 油罐区、冷冷冻机房房、空压压站、水水泵房安安全评价价单元7、 污水处理理站安全全评价单单元8

12、、 供配电安安全评价价单元9、 安全生产产管理安安全评价价单元5.1.2安全全检查表表依据GBB501187-93 工厂厂企业总总平面设设计规范范、SSJ3000022-922电子子工业职职业安全全卫生设设计规定定、GGB43387-94工工业企业业厂内铁铁路道路路运输安安全规程程、GGBJ16-87建建筑设计计防火规规范(20001版)、GBB500074-20002石石油库设设计规范范、GGB28894-19996安安全标志志、GGB1661799-19996安安全标志志使用导导则等等相关法法规、标标准及现现场状况况编制总总平面布布置及常常规安全全防护设设施安全全检查表表，检查查项目及及内

13、容见见表5.1.22-1。总平面布布置安全全检查表表 表55.1.2-11序号检查项目目及内容容依据法规规检查结果果备注1厂址选择择1.1厂址选择择在全面面考察，其其自然和和社会环环境应优优先选在在工程地地质、水水文、气气象条件件符合安安全卫生生要求，交交通便利利，协作作方便，环环境较为为清洁的的地区。SJ3000022-9222.2.2符合要求求。1.2厂址应位位于生活活区最小小频率风风向的上上风侧，避避免建在在已建工工厂烟囱囱主导风风向的下下风侧。2.2.41.3厂址应具具有满足足生产、生生活及发发展规划划所需要要电源和和给排水水条件。GB5001877-9332.0.5满足要求求1.4厂

14、址应与与交通线线路、车车站、港港口顺捷捷合理联联接，厂厂所区尽尽量靠近近公路干干道。GB5001877-9332.0.4交通便利利。1.5地震断层层和设防防烈度低低于九度度地震区区。GB5001877-9332.0.11七度设防防。2总平面布布置2.1厂区应根根据生产产、工艺艺特点按按功能分分区布置置。一般般可分为为厂前区区、主要要生产区区、辅助助生产区区、仓库库区和动动力区。SJ3000022-9222.3.2按功能分分为办公公区、生生产区、公公用工程程区、预预留区。2.2由厂部办办公楼、多多层厂房房、厂区区主入口口等组成成的厂前前区，宜宜置于厂厂区最小小频率风风向的下下风侧。SJ30000

15、22-9222.3.52.3布局应满满足生产产加工过过程流程程。GB5001877-9332.0.11流程顺畅畅。2.4要求洁净净的生产产设施应应布置在在大气含含尘浓度度低、环环境清洁洁地段。洁洁净厂房房的布置置应符合合“洁净厂厂房设计计规范”的规定。GB5001877-9334.2.2符合要求求。2.5变配电站站宜位于于负荷中中心，或或靠近主主要用户户。不受受粉尘、水水雾、腐腐蚀性气气体影响响。对于于大容量量的总降降压站，尚尚应在其其周围加加设围墙墙。SJ3000022-9222.3.15GB5001877-9333.4.4总降变设设在厂区区西南角角。各110kWW变电站站靠近负负荷中心心。

16、2.6空压站应应位于空空气洁净净地段，避避免靠近近散发爆爆炸性、腐腐蚀性和和有害气气体的粉粉尘等场场所。GB5001877-9334.3.42.7锅炉房宜宜布置在在厂区全全年最小小频率风风向的上上风侧。GB5001877-9334.3.7SJ3000022-9222.3.132.8污水处理理站应布布置在厂厂区边缘缘地带，位位于厂区区全年最最小频率率风向的的上风侧侧。应靠靠近污染染源，远远离水源源构筑物物及空调调空气入入口，四四周留有有必要的的卫生防防护距离离。SJ3000022-9222.3.16GB5001877-9333.4.22.9火灾危险险性属于于甲、乙乙、丙类类液体燃燃料罐区区的布置

17、置，应远远离明火火或散发发火花地地点。与耐耐火等级级为2、33级厂房房距离分分别为220m、225m，与与厂内主主干道距距离155m，与与次干道道距离110m。GB5001877-9334.6.5GB5000744-200024.0.8油罐区距距锅炉房房西侧外外墙155.2mm，距厂厂内道路路6m。2.100化学危险险品库，应应布置在在厂区最最小频率率风向的的上风侧侧及边缘缘地区，应应远离火火源，并并符合国国家现行行有关防防火规范范的规定定，防火火间距不不应少于于30mm。SJ3000022-9222.3.12基本符合合有关规规定。2.111工厂主要要建筑物物宜呈南南北向布布置，建建筑物的的方

18、位应应保证室室内有良良好的朝朝向、采采光和自自然通风风条件。SJ3000022-9222.3.3GB5001877-9332.0.1条件良好好。2.122厂区出入入口数量量不宜少少于2个个。人流流出入口口与货流流出入口口分开设设置。GB5001877-9334.7.4三个出入入口，人人、物分分流。2.133厂区应进进行绿化化，应在在道路及及围墙沿沿线植树树，空地地上种植植灌木，乔乔木和草草皮，厂厂前区布布置花坛坛，水池池以及厂厂标、雕雕型等建建筑小品品。SJ3000022-9222.3.203厂区道路路3.1运输线路路，满足足生产要要求，物物流顺畅畅，线路路短捷，人人流、货货流组织织合理。GB

19、5001877-9334.1.8人流、货货流组织织合理。3.2道路与主主要建筑筑物轴线线平行或或垂直，主主要生产产厂、仓仓库区、动动力区的的道路应应呈环形形布置。厂厂区尽头头端式道道路应有有足够的的消防车车回转场场地。SJ3000022-9222.3.17GB5001877-9335.3.1呈环形布布置。有有回转场场地。3.3厂区主干干线双向向行驶路路宽5m，单向向行驶路路宽3.55m；并有有单向行行驶标记记，且能能形成环环形通道道；人行行道00.755m；沿主主干线人人行道11.5mm。GB5001877-9335.3.55.3.6厂区道路路21mm、155m、112m、77m。有有人行道道

20、。3.4职工上下下班时间间内，人人流密集集的出入入口和路路段，应应停止行行驶货运运和机动动车辆。GB43387-945.1.83.5易燃易爆爆区、储储存库区区将道路路划分为为限制车车辆通行行或禁止止车辆通通行的路路段，并并设标志志。GB43387-945.1.4油罐区、化化学品库库道路未未划分限限行路段段。无标标志。3.6厂区道路路在弯道道交叉路路口的横横净距范范围内，不不得有妨妨碍驾驶驶员视线线的障碍碍物。GB43387-945.1.103.7厂区道路路应设置置交通标标志。GB43387-945.1.3无交通标标志。3.8路面平整整、路基基稳固、边边坡整齐齐、排水水良好。GB43387-94

21、5.1.1良好。3.9有完好的的照明设设施。GB43387-945.1.1完好。4常规安全全防护设设施4.1架空平台台、走道道、钢梯梯应符合合国家现现行固固定式工工业平台台、工业业防护栏栏杆、钢钢直梯、钢钢斜梯等等标准的的规定。凡凡采用直直梯的场场所，应应采取防防护措施施，相邻邻两层的的直梯宜宜错开设设置。SJ3000022-9222.6.72.6.8厂区平台台、钢梯梯基本符符合要求求。4.2厂区各种种井、沟沟应有盖盖板。SJ3000022-9222.6.10有盖板。4.3道路上部部管架和和栈桥等等障碍物物，在干干道上的的净高不不得小于于5m。SJ3000022-9222.3.184.4凡容易

22、发发生事故故危及安安全的场场所，应应设置安安全标志志。必要要处尚应应设置声声光、色色或声光光结合的的紧急警警告信号号。SJ3000022-9222.9.1安全标志志不齐全全，不醒醒目。4.5各种输送送气体、液液体及其其它物料料的管道道，均应应按国家家及电子子工业有有关规定定涂色。SJ3000022-9222.9.2未按规定定涂色。4.6厂房、动动力站房房的安全全出口及及疏散通通道、应应设置明明显的标标志。SJ3000022-9222.9.3不齐全。4.7安全标志志的涂色色，应符符合国家家现行安安全标志志及安安全色标标准的规规定。SJ3000022-9222.9.4不规范。5.1.3综合合评价分

23、分析1、 危险危害害辨识1） 厂区建（构构）筑物物如间距距小，道道路狭窄窄，路面面不平整整、不畅畅通，若若人流、物物流不能能有效分分流，车车辆无回回车场地地或车辆辆刹车、音音响、灯灯光等出出现问题题，易引引发车辆辆伤害事事故。2） 厂区内丙丙烷站、化化学品库库（室），油油罐区、1110KKV变电电站等易易燃、易易爆、易易中毒，及及要害部部位无安安全标志志，无限限行、禁禁行等交交通标志志。易造造成误入入及违章章等，引引发中毒毒、燃爆爆、触电电等伤害害。3） 厂区内若若坑、孔孔、井及及走台、平平台无防防护围栏栏或盖板板，直梯梯、斜梯梯不符合合有关规规定都可可引发碰碰、磕、摔摔伤和坠坠落伤害害。4）

24、 厂区内若若道路无无路标无无交通标标志，过过路工业业管路无无限高标标志，可可造成各各种车辆辆随意超超速，任任其闯越越工业管管路架设设较低区区域，易易造成车车辆交通通事故或或设备损损害事故故。2、 问题与建建议厂区总平平面布置置根据生生产、工工艺特点点按功能能分区布布置，能能够满足足生产加加工过程程流程要要求，建建（构）筑筑物安全全距离基基本符合合有关规规定要求求，厂区区道路与与主要建建筑物轴轴线平行行或垂直直，主要要生产区区、库区区、动力力区的道道路呈环环形布置置，能满满足消防防车畅通通和回转转的要求求，厂区区各种井井、沟有有盖板、平平台、走走台、钢钢梯基本本符合有有关标准准要求。但但仍有一一

25、些问题题应引起起注意。需需采取相相应措施施以消除除可能导导致事故故发生的的隐患。1） 油罐区与与锅炉房房和厂区区道路的的间距未未达到GGB5000744石油油库设计计规范的的要求。应应按油罐罐区评价价单元的的建议完完善其防防火防爆爆措施并并控制储储油量。2） 凡容易发发生事故故危及安安全的场场所，安安全出入入口，应应设置齐齐全醒目目的安全全警示标标志。安安全标志志的涂色色应符合合国家现现行的安安全标志志及安安全色标标准的规规定。3） 厂区工业业管路应应按GBB72331-887工工业管路路的基本本识别色色和识别别符号规规定，基基本识别别色应涂涂刷在管管路全长长上或在在管路上上涂刷宽宽1500m

26、m的的色环或或在管路路上用基基本识别别色胶带带缠绕宽宽1500mm的的色环。基本识别别色色环环应涂刷刷在所有有管路交交叉、阀阀门和穿穿孔西侧侧等的管管路上以以及其他他需要识识别的部部位。在在管路上上用识别别符号标标识管内内流体性性质、名名称和流流向。4） 厂区道路路应设置置显示道道路名称称、方向向、车辆辆限速的的交通标标志。在在易燃易易爆的生生产区域域应根据据需要可可将部分分道路划划分出限限制或禁禁止车辆辆通行的的路段，并并设置标标志。5.1.4评价价结论厂区总平平面布置置综合考考虑有利利生产，方方便工作作的要求求，各建建（构）筑筑物按功功能分区区，生产产工艺流流程短捷捷便利，整整体布局局合理

27、、厂厂区道路路呈环形形布置，消消防通道道畅通、照照明完好好，人、物物分流，并并为企业业发展留留有余地地和空间间，基本本符合GGB5001877工业业企业总总平面设设计规范范的要要求，只只要按照照检查表表和建议议的内容容给予补补充完善善，可为为实现安安全生产产创造更更为有利利的条件件。5.2生生产工艺艺及危险险化学品品使用安安全评价价单元支援车车间危险险化学品品使用、储储存、安安全措施施情况如如表5.2.11-3所所示：危险化学学品使用用、储存存及安全全措施表表表5.2.11-3序号储存场所名称储存危险险化学品品名称气柜数量量（个）安全设施施1毒性气体室砷化氢混混合气（AAsH33/H2）110

28、%氦氦气/氮氮气工艺艺吹扫、TTGM报报警、消消防水喷喷淋、排排风、火火灾声光光报警、sshutt doown 按钮、劳劳动防护护用品专专柜、双双套管输输送，内内套管为为真空，设设侦测器器，介质质泄漏时时，报警警。1.5%锗烷/氢气（GGeH44/H2）11%磷化化氢/氮氮气混合合气（PPH3/N2）15%磷化化氢/氮氮气混合合气（PPH3/N2）22易燃气体体室氨气（NNH3）810%氦氦气/氮氮气工艺艺吹扫、TTGM报报警、氨氨、氟环环境监测测报警、消消防水喷喷淋、排排风（酸酸碱性排排风系统统分开）、火火灾声光光报警、sshutt doown 按钮、劳劳动防护护用品专专柜。一氧化碳碳（CO

29、O）3二氯硅烷烷（SiiH2Cl2）1二氟甲烷烷（CHH2F2）150pppm乙硼硼烷/氢氢气（BB2H6/H2）1氟甲烷（CCH3F）2100pppmBB2H6/N215% BB2H6/N22100pppm乙乙硼烷/氢气（BB2H6/H2）210%氨氨气/氮氮气1C4F6613腐蚀性气气体室Cl2210%氦氦气/氮氮气工艺艺吹扫、TTGM报报警、消消防水喷喷淋(CClF33无)、排排风、火火灾声光光报警、sshutt doown 按钮、劳劳动防护护用品专专柜。ClF332HBr2HCl11SiF4414氧化气体体室NF3910%氦氦气/氮氮气工艺艺吹扫、TTGM报报警、消消防水喷喷淋、酸酸性

30、排风风、火灾灾声光报报警、sshutt doown 按钮、劳劳动防护护用品专专柜。N2O730%OO2/Hee65惰性气体体室1.2%He+N2110%氦氦气/氮氮气工艺艺吹扫、TTGM报报警、消消防水喷喷淋、排排风、火火灾声光光报警、sshutt doown 按钮、劳劳动防护护用品专专柜。C4F882CHF331C2F661CO21CF42CHF332SF62He14%H22/N216酸室HCl CDMM1设排风系系统、收收集井、吸吸收棉、双双套管输输送、内内设泄漏漏报警侦侦测器、PPEH在在线型火火灾声光光报警装装置，自自动水喷喷淋装置置。BOE CDMM1HF CCDM2NOE CDMM

31、1HNO33CDMM1H3POO4 CDDM1H2SOO4 CDDM2HF1000:11 CDDM17Basee Rooom（碱室）NH4OOH1设排风系系统、收收集井、吸吸收棉、双双套管输输送内设设泄漏报报警侦测测器，PPEH在在线型火火灾声光光报警装装置，自自动水喷喷淋装置置、消防防器材。H2O222SD-1118溶剂室ACT9940 CDMM1设溶剂排排风系统统、收集集井、吸吸收棉、双双套管输输送、内内设泄漏漏报警侦侦测器、PPEH在在线型火火灾声光光报警装装置，自自动水喷喷淋装置置、消防防器材。EG-0011EBR110A11PA-01CCDM15.2.2危险险危害辨辨识与分分析1、

32、火灾、爆爆炸各类易燃燃液体、易易燃气体体在生产产、储存存、输送送过程中中，一旦旦因设备备材质缺缺陷、制制造质量量差、机机械损伤伤等原因因致使设设备密封封效果不不好、包包装容器器破损以以及人员员误操作作，造成成物料泄泄漏，如如作业现现场通风风不良，与与空气混混和达到到爆炸极极限，遇遇有火源源可能发发生火灾灾、爆炸炸；2、 腐蚀、中中毒、化化学灼伤伤清洗、扩扩散、光光刻、蚀蚀刻等生生产区、酸酸室、BBasee rooom、碱碱室、溶溶剂室等等腐蚀性性化学品品生产、储储存、使使用场所所内，盛盛装酸、碱碱性腐蚀蚀品磷酸酸、盐酸酸等设备备、容器器以及输输送管路路因材质质缺陷，制制造质量量差，搬搬运、使使

33、用过程程机械损损坏、倾倾翻，造造成物料料泄漏，如如人体接接触泄露露的酸、碱碱性物质质将会引引起严重重的化学学灼伤；同时各各类腐蚀蚀性气体体、毒性性气体因因盛装气气瓶、输输送管路路、使用用设备腐腐蚀、制制造缺陷陷等原因因造成泄泄漏，人人接触或或吸入有有毒、腐腐蚀性气气体，均均会造成成人员中中毒。3、 物理爆炸炸各类压力力容器（包包括气瓶瓶）、管管道，如如果设备备、管道道因材质质缺陷、设设计不合合理、制制造焊接接质量差差、腐蚀蚀等使其其强度降降低以及及安全阀阀、压力力表等附附件失灵灵等，可可能发生生容器、管管道不能能承受设设计压力力而发生生爆炸，造造成人员员伤亡，设设备损坏坏。4、 高温灼伤伤高温

34、设备备、蒸气气管路等等表面，保保温、隔隔热效果果不好，易易形成烫烫伤事故故。5、 激光、红红外线辐辐射灼伤伤在各类使使用激光光源、红红外线光光源的设设备、机机台上，如如因光源源密闭性性不好或或损坏或或操作不不当，致致使光源源直射观观察者眼眼睛，将将会造成成眼灼伤伤。6、 高频、噪噪声伤害害在离子植植入区，使使用离子子植入机机等高频频设备；清洗、光光刻、蚀蚀刻区使使用各类类清洗机机、蚀刻刻机、微微影机等等产生噪噪声的设设备，如如上述各各类设备备高频、噪噪声防护护措施不不当或损损坏都会会对人员员造成物物理因素素伤害。7、 高处坠落落当去废溶溶剂储罐罐等相对基基准面标标高超过过2m设备备进行检检查、

35、操操作或维维修设备备时，若若未按标标准设置置钢梯、护护栏、平平台或设设置不完完善，作作业人员员去检查查、操作作或检修修时，稍稍不慎会会发生高高处坠落落事故。8、 触电各类用电电设备、照照明、配配电系统统线路保保护接零零未接或或失效，线线路绝缘缘损坏、线线路短路路等均可可能发生生触电事事故。9、 电气火灾灾电气设备备、配电电系统未未按规定定装设漏漏电保护护器、过过电压保保护等装装置或失失效，线线路绝缘缘损坏、短短路，以以及防爆爆场所电电气设备备、线路路、照明明不符合合防爆要要求等均均会发生生电气火火灾。10、 雷电危害害建筑物防防雷设计计不合理理、施工工不规范范、接地地电阻值值不符合合规范要要求

36、，当当雷击建建筑物、电电力设备备、线路路等时，会会产生雷雷电过电电压，在在雷电波波及的范范围内会会导致严严重损坏坏建筑物物、设备备并可能能危及人人身安全全。雷电电火花还还可能引引发易燃燃易爆物物质的火火灾、爆爆炸，造造成严重重的生命命、财产产损失。11、 静电危害害如火灾、爆爆炸危险险环境内内（如：光刻、清清洗区、扩扩散区、可可燃气体体储藏间间等）设设备、管管路防静静电设计计或施工工不规范范，在使使用、输送、贮贮存易燃燃易爆物物质时所所产生的的静电电电荷，不不能及时时消除，随随着时间间延续，静静电荷将将越聚越越多，静静电电压压逐渐升升高，当当达到一一定程度度时，发发生放电电火花；或使用用有火花

37、花工具、穿穿用不防防静电的的鞋、服服装而产产生静电电火花等等，均可可能引燃燃易燃易易爆物质质，造成成火灾、爆爆炸。5.2.3 安安全检查查表依据GBBJ166-877建筑设计计防火规规范（220011版）、GGB5001877工厂厂企业总总平面设设计规范范、SSJ3000022-922电子工工业职业业安全卫卫生设计计规定、GBJJ19-877采暖暖通风与与空气调调节设计计规范（220011年版）、GB50073-2001洁净厂房设计规范、GB5083-99生产设备安全卫生设计总则、GB12801-91生产过程安全卫生要求总则、GB2893-2001安全色、GB2894-96安全标志、GB156

38、03-95常用化学危险品贮存通则、国务院令第344号危险化学品安全管理条例等法规、标准、规范编制安全检查表，查验结果详见表5.2.3-1。生产工艺艺及危险险化学品品使用单单元安全全检查表表 表表5.22.3-1序号检查项目目及内容容依据法规规检查结果果备注1建筑结构构及平面面布置1.1生产厂房房耐火等等级不应应低于二二级。GBJ116-8873.2.1均为二级级。1.2若多层生生产厂房房耐火等等级为二二级，其其防火分分区最大大允许占占地面积积为40000mm2。（因因有自动动水喷淋淋系统，防防火分区区最大允允许占地地面积增增加一倍倍）GBJ116-8873.2.1占地面积积40000m22。1

39、.3有爆炸危危险的生生产厂房房（生产产车间、易易燃气体体室、硅硅烷室等等）宜独独立设置置。GBJ116-8873.4.1单独设置置。1.4有爆炸危危险的生生产厂房房（生产产车间、易易燃气体体室、硅硅烷室等等）应设设置必要要的泄压压设施，泄泄压设施施宜采用用轻质屋屋顶作为为泄压面面积。GBJ116-8873.4.2硅烷室屋屋顶泄爆爆、生产产车间、易易燃气体体室无泄泄压。1.5硅烷室泄泄压面积积与厂房房的体积积比值（mm2/m3）宜采采用0.050.222，体体积超过过10000m33的建筑筑，不宜宜小于00.033。GBJ116-8873.4.3约0.33。1.6生产车间间、易燃燃气体室室、硅烷

40、烷室等可可能散发发可燃气气体、可可燃蒸气气的厂房房应采用用不发火火地面。GBJ116-8873.4.6环氧地面面。1.7有爆炸危危险的该该甲乙类类厂房不不应设置置办公室室、休息息室如必必须贴邻邻布置，应应采用一一、二级级耐火等等级建筑筑物并应应采用耐耐火极限限不低于于3h的的非燃烧烧体防护护墙隔开开并设置置直通室室外或疏疏散楼梯梯的安全全出口。GBJ116-8873.4.81.8厂房结构构应满足足地震烈烈度7度度设防要要求，框框架抗震震等级二二级要求求。GB5001877-9332.0.47度设防防。1.9芯片光刻刻等对洁洁净度要要求较高高的主要要生产厂厂房，宜宜布置在在厂区最最小频率率风向的

41、的下风侧侧，并在在四周留留有绿化化场地。SJ3000022-9222.3.61.100易燃易爆爆工作间间宜设置置在单层层厂房内内，或设设在多层层厂房的的顶层端端部。SJ3000022-9223.6.12除硅烷室室单独设设置外，均均设在多多层厂房房一、二二层内。2洁净厂房房2.1洁净室应应设置人人员净化化、物料料净化室室和设施施。GB5000733-200014.3.1分别设置置人员、物物料净化化室。2.2洁净室内内噪声值值不应大大于700db（AA）。GB5000733-200014.4.165ddB。2.3洁净实验验室耐火火等级不不应低于于二级。GB5000733-200015.2.1二级。

42、2.4洁净室的的顶棚和和壁板应应为不燃燃烧体，且且不得采采用有机机复合材材料。GB5000733-200015.2.42.5洁净生产产与一般般生产区区域之间间应设置置不燃烧烧体隔断断措施。GB5000733-200015.2.5用防火墙墙和防火火门分隔隔。2.6洁净区与与非洁净净区、洁洁净区与与室外相相通的安安全疏散散门应向向疏散方方向开启启，并加加闭门器器。GB5000733-200015.2.92.7洁净厂区区应设置置事故排排风，洁洁净室事事故排风风换气次次数应采采用100200次/hh，事故故排风宜宜由常用用排风系系统与事事故排风风系统共共同保证证，事故故排风装装置的开开关应分分别设在在

43、洁净室室内和室室外便于于操作的的地点，事事故排风风应与报报警装置置联锁。SJ3000022-9227.0.10设置排风风系统，常常开；特特殊气体体室室外外设手动动开关，设设自动联联锁报警警。3作业环境境及工艺艺、设备备安全装装置3.1作业环境境3.1.1车间内人人工运输输通道宽宽度必须须1.00m。SJ3000022-9223.1.32.5mm3.1.2设备设施施之间应应留有相相应的操操作空间间、检修修空间、巡巡回检查查及安全全通道。SJ3000022-9223.1.43.1.3洁净厂房房应设置置供人员员疏散用用的应急急照明，并并应设置置指明应应急安全全出口的的疏散标标志。在在专用消消防出口口

44、处应设设红色应应急照明明灯。SJ3000022-9227.0.14设应急照照明、疏疏散标志志。3.1.4易燃易爆爆厂房的的人员疏疏散，通通道应保保持畅通通，并应应设置应应急照明明，疏散散指示标标志及排排烟措施施。SJ3000022-9223.6.133.1.5钢梯、平平台所设设置的护护栏的设设计应符符合有关关标准。GB40053.133-933GB40053.4-883第2.55.2条条废液收集集罐处平平台护栏栏不符要要求。3.2电子、化化学工艺艺安全3.2.1高能离子子注入机机应设在在人流最最少的区区域内，并并应有符符合国家家标准要要求的接接地及相相应的电电磁波、XX射线防防护措施施。SJ3000022-9223.2.3设置于人人流最少少的东侧侧，采取取隔离防防护措施施。3.2.2联动生产产线应有有紧急制制动装置置或联锁锁装置，危危险部位位应设置置醒目的的警告标标志；散散发毒气气的工序序应设置置排风；带电作作业的工工序需装装设自动动保护装装置。SJ300002