洁净厂房设计规范12015.docx

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1、洁净厂房设设计规范(部分章节节）GBJ733-84第一章 总总则第二章 空空气洁净度度等级第三章 总体设设计第五章 空空气净化第七章 工工业气体管管道第一章总则则第101 条洁洁净厂房设设计必须贯贯彻执行国国家的有关关方针政策策，做到技技术先进、经经济合理、安安全适用、确确保质量，符符合节约能能源和环境境保护的要要求。第102 条本本规范适用用于新建和和改建、扩扩建的洁净净厂房设计计，但不适适用于以细细菌为控制制对象的生生物洁净室室。本规范范有关防火火和疏散、消消防设施章章节的规定定，不适用用于建筑高高度超过224米的高高层洁净厂厂房和地下下洁净厂房房的设计。第103 条在在利用原有有建筑进行

2、行洁净技术术改造时，洁洁净厂房设设计必须根根据生产工工艺要求，因因地制宜、区区别对待，充充分利用已已有的技术术设施。第104条洁净净厂房设计计应为施工工安装、维维护管理、测测试和安全全运行创造造必要的条条件。第105条洁净净厂房设计计除应按本本规范执行行外，尚应应符合现行行的国家标标准、规范范的有关要要求。第二章空气气洁净度等等级第201条 空空气洁净度度应按表22.0.11规定划分分为四个等等级。空气洁净度度等级 表表2.0.1等 级 每立方米(每升)空空气中0.5微微米尘粒数数 每立方米(每升)空空气中5微米尘尘粒数 100 级级 351100(33.5) 1000 级 3511000(3

3、5) 250(0.255) 100000 级 351100000(3500) 25000(2.55) 1000000 级 3511000000(35500) 250000(255) 注：对于空空气洁净度度为1000级的洁净净室内大于于等于5微微米尘粒的的计算应进进行多次采采样。当其其多次出现现时，方可可认为该测测试数值是是可靠的。第202条洁净净室空气洁洁净度等级级的检验，应应以动态条条件下测试试的尘粒数数为依据。洁洁净室空气气洁净度的的测试，应应符合附录录二规定。第三章 总体设设计第一节洁净净厂房位置置选择和总总平面布置置第3.1.1条洁净净厂房位置置的选择，应应根据下列列要求并经经技术经济

4、济方案比较较后确定：一、应在大大气含尘浓浓度较低，自自然环境较较好的区域域；二、应远离离铁路、码码头、飞机机场、交通通要道以及及散发大量量粉尘和有有害气体的的工厂、贮贮仓、堆场场等有严重重空气污染染、振动或或噪声干扰扰的区域。如如不能远离离严重空气气污染源时时，则应位位于其最大大频率风向向上风侧，或或全年最小小频率风向向下风侧；三、应布置置在厂区内内环境清洁洁、人流货货流不穿越越或少穿越越的地段。第312条对于于兼有微振振控制要求求的洁净厂厂房的位置置选择，应应实际测定定周围现有有振源的振振动影响，并并应与精密密设备、精精密仪器仪仪表允许环环境振动值值进行分析析比较。第313条洁净净厂房最大大

5、频率风向向上风侧有有烟囱时，洁洁净厂房与与烟囱之间间的水平距距离不宜小小于烟囱高高度的122倍。第3.1.4条 洁洁厂厂房与交通通干道之间间的距离不不宜小于550米。第315条 洁洁净厂房周周围宜设置置环形消防防车道(可可利用交通通道路)，如如有困难时时，可沿厂厂房的两个个长边设置置消防车道道。第316条洁净净厂房周围围的道路面面层，应选选用整体性性好、发尘尘少的材料料。第317条洁净净厂房周围围应进行绿绿化。可铺铺植草坪、种种植对大气气含尘农度度不产生有有害影响的的树木，并并形成绿化化小区。但但不得妨碍碍消防操作作。第二节工艺艺布置和设设计综合协协调第321条 工工艺布置应应符合下列列要求：

6、一、工艺布布置合理、紧紧凑。洁净净室或洁净净区内只布布置必要的的工艺设备备以及有空空气洁净度度等级要求求的工序和和工作室。二、在满足足生产工艺艺要求的前前提下，空空气洁净度度高的洁净净室或洁净净区宜靠近近空气调节节机房，空空气洁净度度等级相同同的工序和和工作室宜宜集中布置置，靠近洁洁净区人口口处宜布置置空气洁净净度等级较较低的工作作室。三、洁净室室内要求空空气洁净度度高的工序序应布置在在上风侧，易易产生污染染的工艺设设备应布置置在靠近回回风口位置置。四、应考虑虑大型设备备安装和维维修的运输输路线，并并预留设备备安装口和和检修口。五、应设置置单独的物物料人口，物物料传递路路线应最短短，物料进进入

7、洁净区区之前必须须进行清洁洁处理。第322条洁净净厂房内宜宜少设隔间间，但在下下列情况下下可予以分分隔。一、按生产产的火灾危危险性分类类，甲、乙乙类与非甲甲、乙类相相邻的生产产区段之间间，或有防防火分隔要要求者。二、生产过过程中产生生较强噪声声或散发较较多热量、尘尘粒和有害害气体，且且不能采取取局部措施施加以控制制者。三、生产联联系少，并并经常不同同时使用的的两个生产产车间之间间。第323条洁净净厂房的平平面和空间间设计，宜宜将洁净区区、人员净净化、物料料净化和其其他辅助用用房进行分分区布置。同同时应考虑虑生产操作作、工艺设设备安装和和维修、气气流组织型型式、管线线布置以及及净化空气气调节系统

8、统等各种技技术设施的的综合协调调效果。第324条洁净净厂房设计计必须合理理确定各种种管线的平平面位置和和竖向标高高。第325条 洁洁净厂房内内各种固定定技术设施施(如送风风口、照明明器、回风风口、各种种管线等)的布置，宜宜首先考虑虑净化空气气调节系统统的要求。第三节 噪噪声控制第331条洁净净室内的噪噪声级，应应符合下列列要求：一、动态测测试时，洁洁净室内的的噪声级不不应超过770分贝AA。二、空态测测试时，乱乱流洁净室室的噪声级级不宜大于于60分贝贝A；层流流洁净室的的噪声级不不应大于665分贝AA。注：（1）由由于技术经经济条件限限制，或噪噪声大于770分贝AA对生产无无影响时，噪噪声级可

9、适适当放宽，但但不宜大于于75分贝贝A； （2）上上述噪声级级是指在室室内每一个个工作点人人耳位置（人人离开）的的测量值。对对于变动噪噪声，则取取相同位置置处在一个个正常工作作日内的等等效连续声声压级。第332条洁净净室的噪声声频谱限制制，应采用用倍频程声声太级；各各频带声压压级值不宜宜大于表33.3.22的规定。第333条洁净净厂房的平平、剖面布布置，应考考虑噪声控控制的要求求，其围护护结构应有有良好的隔隔声性能，并并宜使各部部分隔声量量相接近。第334条洁净净室内的各各种设备均均应选用低低噪声产品品。对于辐辐射噪声超超过洁净室室允许值的的设备，应应设置专用用隔声设施施(如隔声声间、隔声声罩

10、等)。第3.3.5条净化化空气调节节系统噪声声超过允许许值时，应应采取隔声声、消声、隔隔声振等控控制措施。除事故排风风外，应对对洁净室内内的排风系系统进行减减噪设计。第336条净化化空气调节节系统，根根据室内噪噪声级的要要求，风管管内风速宜宜按下列规规定选用：一、总风管管为6110米/秒秒。二、无送、回回风口的支支风管为668米/秒。三、有送、回回风口的大大风管为336米/秒。第337条洁净净厂房的噪噪声控制设设计必须考考虑生产环环境的空气气洁净度要要求，不得得因控制噪噪声而影响响洁净室的的净化条件件。第四节 振振动控制第3.4.1条洁净净厂房和周周围辅助性性站房内有有强烈振动动的设备(包括水

11、泵泵等)及其其通往洁净净室的管道道，应采取取积极隔振振措施。第342条对洁洁净厂房内内外各类振振源，应测测定其对洁洁净厂房的的综合振动动影响。如如受条件限限制，也可可根据经验验对综合振振动影响进进行评价。并并应与精密密设备、精精仪器仪表表的允许环环境振动值值进行比较较，以确定定对其采取取必要的隔隔振措施。第343条精密密设备、精精密仪器仪仪表的隔振振措施，应应考虑减少少发生量、保保持洁净室室内合理的的气流组织织等要求。当当采用空气气弹簧隔振振台座时，应应地气源进进行处理，使使其达到洁洁净室的空空气洁净度度等级。第五章空气气净化第一节 一一般规定第511条洁净净厂房内各各洁净室的的空气洁净净度等

12、级的的确定，应应符合下列列要求：一、洁净室室内有多种种工序时，应应根据各工工序的不同同要求，采采用不同的的空气洁净净度等级。二、在满足足人生产工工艺要求的的前提下，洁洁净室的气气流组级别别，宜采用用局部工作作区空气净净化和全室室空气净化化相结合的的形式。第5.1.2条 层流洁净净室和乱流流洁净室以以及运行班班次和使用用时间不同同的洁净室室，其净化化空气调节节系统均宜宜分开设置置。第513条洁净净室内的计计算温、温温度、应符符合下列规规定：一、满足生生产工艺要要求二、生产工工艺无温、湿湿度要求时时，洁净室室温度为220266度，温度度70度。第514条洁净净室内应保保证一定的的新鲜空气气量，其数

13、数值频取下下列风量中中的最大值值；一、乱流洁洁净室总送送风量的110%330%，层层流洁净室室总送风量量的244%。二、补偿室室内排风和和保持室内内正压值所所需的新鲜鲜空气量。三、保证室室内每人每每小时的新新鲜空气量量不小于440立方米米。第515条洁净净区的清扫扫，宜采用用移动式高高效真空吸吸尘器或设设置集中式式真空吸尘尘系统。洁洁净室内集集中式真空空吸尘系统统的管道，应应暗敷。第516条在净净化空气调调节系统设设计中，对对施工和维维护管理要要求，可按按附录四和和附录五的的规定。第二节洁净净室正压控控制第521条洁净净室必须维维持一定的的正压。不不同等级的的洁净室以以及洁净区区与非洁净净区之

14、间的的静压差，应应不小于44.9Paa，洁净区区与室外的的静压差，应应不小于99.8Paa。第522条洁净净室维持不不同的正压压值所需的的正压风量量，宜按下下式计算：Qq1（qL） （5.2.2） 式中 Q维持洁净净室正压值值所需的正正压风量(米3/时)； a根据围扩扩结构气密密性确定的的安全系数数，可取11.111.2； q当洁净净室为某一一正压值时时，其围护护结构单位位长度缝隙隙的渗漏风风量(米33/时米米)； L围扩结结构的缝隙隙长度(米米)。第523条围护护结构单位位长度缝隙隙的渗漏风风量，可按按表5.22.3采用用。压差（Paa） 门 窗 形 式非密闭门密闭门单层固定密密闭木窗单层固

15、定密密闭钢窗单层开启式式密闭钢窗窗传递窗壁板 漏风量量（米3/时米米）4.91741.00.73.52.00.39.82461.51.04.53.00.614.73082.01.36.04.00.819.63692.51.57.05.01.024.540102.81.78.05.51.229.444113.01.98.56.01.434.348123.52.19.07.01.539.252133.82.310.07.51.744.155154.02.510.58.01.949.060164.42.611.59.02.0第524条送风风、回风和和排风系统统的启闭联联锁。系统统开启时，联联轴和序应

16、应为先启动动送风机，再再启动回风风机和排风风机，系统统关闭时，则则闻锁程序序应相反。第525条非连连续运行的的洁净室，可可根据生产产工艺要求求设置值班班风机，并并应对新风风进行处理理。第三节 气气流组组织织和送风量量第531 气流流组织的选选择，应符符合下列要要求：一、洁净工工作区的气气流速度，应应满足空气气洁净度和和人体健康康的要求，并并应使洁净净工作区气气流流向单单一。二、回风口口宜均匀布布置在洁净净室下部。三、余压阀阀宜设在洁洁净室气流流的下风侧侧，不宜设设在洁净工工作区高度度范围内。第532条洁净净室的气流流组织和送送风量，宜宜按表5.3.2选选用。第533条乱流流洁净室的的送风量，应

17、应取下列规规定的最大大值；一、为控制制室内空气气洁净度所所需要的送送风量。二、按表55.3.22规定的送送风量。三、根据热热、湿负荷荷计算和稀稀释有害气气体所需的的送风量。四、按空气气平衡所需需要的送风风量。第5.3.4条当生生产工艺仅仅要求在洁洁净室内局局部工作区区达到更高高的空气洁洁净度时，其其气流组织织设计应使使洁净气流流首先流经经该工作区区，或在洁洁净室的不不同区域形形成不同气气流流型和和空气洁净净度等级的的洁净工作作区，其型型式可分别别按图5.3.4-1、5.3.4-2。第535条层流流洁净室内内不宜设置置洁净工作作台；乱流流洁净室内内可设置洁洁净工作台台，但其位位置应远离离回风口。

18、第536条洁净室内有局部排风装置时，其位置应设在工作区气流的下风侧。第四节空气气净化处理理第541条各等等级空气洁洁净度的空空气净化处处理，均应应采用初效效、中效、高高效空气过过滤器三级级过滤。注1：1000，0000级空气气净化处理理，可采用用亚高效空空气过滤器器代高效空空气过滤器器。第542条确定定集中式或或分散式净净化空气调调节系统时时，应综合合考虑生产产工艺特点点和洁净室室空气洁净净度等级、面面积、位置置等因素。凡凡生产工艺艺连续、洁洁净室面积积较大时，位位置集中以以及噪声控控制和振动动控制要求求严格的洁洁净室，宜宜采用集中中式净化空空气调节系系统。第543条净化化空气调节节系统设计计

19、应合理利利用回风，凡凡工艺过程程产生大量量有害物质质且局部处处理不能满满足卫生要要求，或对对其他工序序有危害时时，则不应应用回风。第544条净化化空气调节节系统除直直流式系统统和设置值值班风机的的系统外，应应采取防止止室外污染染空气通过过新风口参参入洁净室室内的防倒倒灌措施。第545条空气气过滤器的的选用布置置和安装方方式，应符符合下列要要求：一、初效空空气过滤器器不应选用用浸油式过过滤器。二、中效空空气过滤器器宜集中设设置在净化化空气调节节系统的正正压段。三、高效空空气过滤器器或亚高效效空气过滤滤器宜设置置在净化空空气调节系系统末端。四、中效、亚亚高效、高高效空气过过滤器宜按按额定风量量选用

20、。五、阻力、效效率相近的的高效空气气过滤器宜宜设置在同同一洁净室室内。六、高效空空气过滤器器安装方式式应简便可可靠，易于于检漏和更更换。第546条送风风机可按净净化空气调调节系统的的总送风量量和总阻力力值进行选选择，中效效、高效空空气过滤器器的阻力宜宜接其初阻阻力的两倍倍计算。第547条净化化空气调节节系统如需需电加热时时，应选用用管状电加加热器，位位置应布置置在高效空空气过滤器器的上风侧侧，并应有有防火安全全措施。第五节 采采暖通风第551条洁净净室的采暖暖型式，应应按下列不不同情况确确定：一、1000级、10000级、110，0000级洁净净室，不应应采用散热热器采暖，1100，0000级

21、洁洁净室，不不宜采用散散热器采暖暖。二、值班采采暖可利用用技术夹道道的散热器器进行间接接采暖。或或采用间歇歇运行净化化空气调节节系统，值值班风机系系统进行热热风采暖。第5.5.2条散热热器应采用用表面光滑滑不易积尘尘、便于清清扫的形式式。第553条洁净净室内产生生粉尘和有有害气体的的工艺设备备，应设局局部排风装装置、排风风罩的操作作口面积应应尽量缩小小。第554条局部部排风系统统在下列情情况下，应应单独设置置：一、非同一一净化空气气调节系统统。二、排风介介质混合后后能产生或或加剧腐蚀蚀性、毒性性、燃烧爆爆炸危险性性。三、所排出出的有害物物毒性相差差很大。第5.5.5条洁净净室的排风风系统设计计

22、，应采取取下列措施施：一、防倒灌灌措施。二、含有易易燃、易爆爆物质局部部排风系统统的防火、防防爆措施。第556条换鞋鞋室、存外外衣室、盥盥洗室、厕厕所和淋浴浴室等，应应采取通风风措施，其其室内的静静压值，应应低于洁净净区。第557条洁净净室事故排排风系统的的换气次数数，应采用用每小时115200次。事故排风装装置的控制制开关，应应分别设在在洁净室和和室外便于于操作的地地点，并应应与净化空空气调节系系统联锁，其其室内宜设设报警装置置。第六节 风风管和附件件第561条风管管断面尺寸寸的确定，应应考虑能对对风管内壁壁进行清洁洁处理，并并在适当位位置设置密密闭的清扫扫口。风管管壁厚按附附录六选用用。第

23、562条净化化空气调节节系统的新新风管、回回风总管，应应设置密闭闭调节阀。送送风机的吸吸入口处和和需要调节节风量处，应应设置密闭闭调节阀。送送风机的吸吸入口处和和需要调节节风量处，应应设置调节节阀。洁净净室内的排排风系统，应应设置调节节阀、止回回阀或密闭闭阀。总风风管穿过楼楼板和风管管穿过防火火墙处，必必须设置防防火阀。第563条净化化空气调节节系统的风风管和调节节阀以及高高效空气过过滤器的保保护网、孔孔板和扩散散孔板等附附件的制作作材料和涂涂料，应根根据输送空空气的洁净净要求及其其所处的空空气环境条条件确定。洁净室内排排风系统的的风管、调调节阀和止止回阀等附附件的制作作材料和涂涂料，应根根据

24、排除气气体的性质质及其所处处的空气环环境条件确确定。第564条在中中效和高效效的空气过过滤器前后后，应设置置测压孔。在在新风管和和送回风总总管以及需需要调节风风量的支管管上，应设设置风量测测定孔。第565条排除除腐蚀性气气体的风管管，可采用用塑料风管管，其他风风管以及风风管的保温温和游泳场场材料及其其粘结剂，应应采用非燃燃烧材料或或难燃烧材材料。第七章工业业气体管道道第一节 一一般规定第711条工业业气体管道道的干管，应应敷设在技技术夹层、技技术夹道内内。氢气和和氧气管道道且明敷，如如敷设在技技术夹层、技技术夹道内内时，应采采取良好的的通风措施施。引入洁净的的支管宜明明敷。第712条高纯纯气体

25、管道道设计，应应符合下列列要求：一、根据计计算确定管管径。二、管道系系统应尽量量短。三、不宜设设预留口。四、不应出出现“盲管管”等不易易吹除的部部位。五、干管不不支管上应应设置吹除除口。六、在管系系统上应设设置吹除口口。第7.13条穿过过洁净室墙墙壁或楼板板的气体管管道，应敷敷设在预埋埋套管内，套套管内的管管段不应有有焊缝。管管道与套管管之间应采采取可靠的的密封措施施。第714条氢气气和氧气管管道的末端端或最高点点宜设放散散管。放散散管应高出出屋脊1米米，并应设设在防雷保保护区内。第715条气体体净化装置置应根据气气源和生产产工艺对气气体统一计计划的要求求进行选择择。气体终终端净化装装置应设在

26、在靠近用气气点处。第716条气体体过滤器应应根据生产产工艺对气气体含尘量量的要求进进行选择。高高纯气体管管道应装设设高效气体体过滤器。第二节管道道材料、阀阀门和附件件7211条根据不不同的气体体及其纯度度和用途，管管道材料应应按下列规规定选用：一、气体纯纯度大小或或等于999.9999%时，应应采用不锈锈钢管。二、气体纯纯度大于或或等于999.99%时，宜采采用不锈钢钢管、铜管管、无缝钢钢管。三、气体纯纯度小于999.999%时，可可采用无缝缝钢管。四、管道与与设备的连连接段，宜宜采用金属属管道；如如为非金属属软管时，宜宜采用聚四四氟乙烯管管、聚乙烯烯管、不得得采用乳胶胶管。第722条高纯纯气

27、体管道道应采用密密封性能好好的低门和和附件，其其材料与管管道相适应应。阀门的的密合圈应应为有色金金属、不锈锈钢或聚四四氟乙烯材材料。阀门门的填塞料料应采用聚聚四氟乙烯烯材料。第723 高高纯气体管管道与附件件连接的密密封垫，应应采用不锈锈钢、有色色金属、聚聚四氟乙烯烯或氟橡胶胶材料。第三节管道道连接和清清洗第731条管道道连接应采采用焊接。高高纯气体管管道应采用用承插焊。第732条管道道与设备、阀阀门的连接接处，宜采采用法兰、螺螺纹或其它它密封性能能优良的连连接件。螺螺纹处宜采采用聚四氟氟乙烯带密密封。第733条 高纯性气气体管道内内的内壁、阀阀门和附件件在安装前前，应进行行清洗、脱脱脂等预处处理。第四节 安安全技术第741条 工工业气体管管道设计的的安全技术术，应符合合下列规定定；一、氢气管管道的支管管和放散管管上，应设设置回火防防止器。二、氢气和和氧气管道道应设置导导除静电装装置。三、各种气气体管道应应设明显标标志。第742条洁净净室内使用用氢气时，宜宜在室内设设置报警装装置。第743条各种种气瓶应集集中设置在在洁净厂房房外，当日日用气量不不超过一瓶瓶时，气瓶瓶可设置在在洁净室内内。