第二章 电阻式传感器.ppt
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1、传感器传感器与检测技术与检测技术董春利董春利 主编主编潘洪坤潘洪坤 执笔执笔大连职业技术学院电气电子工程系大连职业技术学院电气电子工程系20082008年年3 3月月全国高等职业教育规划教材省级精品课程配套教材第二章 电阻式传感器2.1电阻应变式传感器2.2固态压阻式传感器2.3热电阻式传感器2.4热敏电阻传感器 第一节第一节 电阻应变式传感器电阻应变式传感器 n n电阻应变式传感器电阻应变式传感器n n利用电阻应变片将利用电阻应变片将应变应变应变应变转换为转换为电阻变化电阻变化电阻变化电阻变化的传感器的传感器n n传感器由在弹性元件上粘贴电阻应变敏感元件构成传感器由在弹性元件上粘贴电阻应变敏
2、感元件构成n n当被测物理量作用在弹性元件上时,弹性元件的变当被测物理量作用在弹性元件上时,弹性元件的变形引起应变敏感元件的阻值变化,通过转换电路将形引起应变敏感元件的阻值变化,通过转换电路将其转变成电量输出,其转变成电量输出,电量变化的大小反映了被测物电量变化的大小反映了被测物电量变化的大小反映了被测物电量变化的大小反映了被测物理量的大小。理量的大小。理量的大小。理量的大小。n n应变式电阻传感器是目前应变式电阻传感器是目前测量力测量力测量力测量力、力矩力矩力矩力矩、压力压力压力压力、加加加加速度速度速度速度、重量重量重量重量等参数应用广泛的传感器。等参数应用广泛的传感器。一、电阻应变效应
3、电阻应变片的电阻应变片的工作原理工作原理工作原理工作原理是基于是基于应变效应应变效应应变效应应变效应,即在导体产生,即在导体产生 机械变形时,它的电阻值相应发生变化。机械变形时,它的电阻值相应发生变化。1 1应变效应的理论应变效应的理论应变效应的理论应变效应的理论 一根金属电阻丝,在其未受力时,原始电阻值为:一根金属电阻丝,在其未受力时,原始电阻值为:电阻丝的电阻率;L电阻丝的长度S电阻丝的截面积。当电阻丝受到拉力F作用时,电阻值相对变化量为:把单位应变能引起的电阻值变把单位应变能引起的电阻值变把单位应变能引起的电阻值变化称为电阻丝的灵敏度系数。化称为电阻丝的灵敏度系数。化称为电阻丝的灵敏度系
4、数。其物理意义:单位应变所引起的其物理意义:单位应变所引起的其物理意义:单位应变所引起的电阻相对变化的量电阻相对变化的量电阻相对变化的量 L/L是长度相对变化量,用应变表示;S/S为圆形电阻丝的截面积相对变化量;/为圆形电阻丝的电阻率相对变化量 将上述表达式带入原始公式电阻丝材料的泊松比,负号表示应变方向相反 2应变效应的结论(1)灵敏度系数)灵敏度系数 对金属材料电阻丝来说,灵敏度系数表达式中(对金属材料电阻丝来说,灵敏度系数表达式中(1+21+2)的值要比(的值要比(/)/大得多,而半导体材料的(大得多,而半导体材料的(/)/项的值比(项的值比(1+21+2)大得多。)大得多。大量实验证明
5、,在电阻丝拉伸极限内,电阻的相对变化大量实验证明,在电阻丝拉伸极限内,电阻的相对变化与与 应变成正比,即应变成正比,即K K为常数为常数(2)应变测量)应变测量 应变片测量应变的基本原理应变片测量应变的基本原理应变片测量应变的基本原理应变片测量应变的基本原理 应力应力 正比于电阻值的变化正比于电阻值的变化 二、电阻应变片的结构与特性敏感栅是应变片的核心部分,它粘贴在绝缘的基片上,其上再粘贴起保护作用的覆盖层,两端焊接引出导线。金属电阻应变片的敏感栅有丝式、箔式和薄膜式三种。应变片金属电阻应变片半导体电阻应变片基于压阻效应 金属电阻应变片由敏感栅、基片、覆盖层和引线等部分组成,如图所示。将直的电
6、阻丝绕成敏感栅后,虽然长度不变,应变状态相将直的电阻丝绕成敏感栅后,虽然长度不变,应变状态相同,但由于应变片敏感栅的电阻变化较小,因而其灵敏系数同,但由于应变片敏感栅的电阻变化较小,因而其灵敏系数K K较较电阻丝的灵敏系数电阻丝的灵敏系数K0K0小,这种现象称为应变片的小,这种现象称为应变片的横向效应横向效应横向效应横向效应。3 3应变片的温度误差应变片的温度误差应变片的温度误差应变片的温度误差 由于测量现场环境温度的改变而给测量带来的附加误差,称为由于测量现场环境温度的改变而给测量带来的附加误差,称为应变片的温度误差,应变片的温度误差,主要因素主要因素:n n 当试件和电阻丝线膨胀系数不同时
7、,由于环境温度的变化,当试件和电阻丝线膨胀系数不同时,由于环境温度的变化,电阻丝会产生附加变形,从而产生附加电阻。电阻丝会产生附加变形,从而产生附加电阻。2横向效应横向效应三、电阻应变片的测量电路通常采用通常采用直流电桥直流电桥 和和交流电桥交流电桥测量电路测量应变变测量电路测量应变变化而引起电阻变化。化而引起电阻变化。1 1直流电桥直流电桥直流电桥直流电桥(1 1)直流电桥平衡条件)直流电桥平衡条件 条件:条件:(2 2)电压灵敏度)电压灵敏度 电桥电压灵敏度是单位应变片电阻阻值相对变化电桥电压灵敏度是单位应变片电阻阻值相对变化引起的输出电桥电压的变化。引起的输出电桥电压的变化。对电压灵敏度
8、进行分析对电压灵敏度进行分析对电压灵敏度进行分析对电压灵敏度进行分析 电桥电压灵敏度正比于电桥供电电压,供电电压越高,电电桥电压灵敏度正比于电桥供电电压,供电电压越高,电桥电压灵敏度越高,但供电电压的提高受到应变片允许功桥电压灵敏度越高,但供电电压的提高受到应变片允许功耗的限制,所以要作适当选择;耗的限制,所以要作适当选择;电桥电压灵敏度是桥臂电阻比值电桥电压灵敏度是桥臂电阻比值n n的函数,恰当地选择桥的函数,恰当地选择桥臂比臂比n n的值,保证电桥具有较高的电压灵敏度。在电桥电的值,保证电桥具有较高的电压灵敏度。在电桥电压确定后,当压确定后,当R1=R2=R3=R4R1=R2=R3=R4时
9、,电桥电压灵敏度最高。时,电桥电压灵敏度最高。当电源电压当电源电压E E和电阻相对变化量和电阻相对变化量R1/R1R1/R1一定时,电桥的输一定时,电桥的输出电压及其灵敏度也是定值,且与各桥臂电阻阻值大小无出电压及其灵敏度也是定值,且与各桥臂电阻阻值大小无关。关。(3 3)电阻应变片的温度补偿方法)电阻应变片的温度补偿方法)电阻应变片的温度补偿方法)电阻应变片的温度补偿方法 l l温度补偿方法通常温度补偿方法通常有线路补偿法有线路补偿法有线路补偿法有线路补偿法和和应变片自补偿应变片自补偿应变片自补偿应变片自补偿两大类两大类 。l l电桥补偿原理:电桥补偿原理:一般按一般按R1=R2=R3=R4
10、R1=R2=R3=R4选取桥臂电阻。当选取桥臂电阻。当温度升高或降低温度升高或降低tt=t-t=t-t0 0时,两个应变片的因温度而引起的时,两个应变片的因温度而引起的电阻变化量相等,电桥仍处于平衡状态电阻变化量相等,电桥仍处于平衡状态(4 4)电阻应变片的非线性补偿方法)电阻应变片的非线性补偿方法)电阻应变片的非线性补偿方法)电阻应变片的非线性补偿方法 1 1)半桥差动电路)半桥差动电路)半桥差动电路)半桥差动电路 特点:特点:特点:特点:差动电桥无非线性差动电桥无非线性 误差误差,而且电桥电压灵敏度而且电桥电压灵敏度KU=E/2,KU=E/2,比单臂工作时提高一倍比单臂工作时提高一倍,同时
11、还具有温度补偿作用。同时还具有温度补偿作用。2 2)全桥差动电路)全桥差动电路)全桥差动电路)全桥差动电路 特点特点特点特点:全桥差动电路不仅没有非线性误差:全桥差动电路不仅没有非线性误差,而且电压灵敏度是而且电压灵敏度是单片的单片的4 4倍倍,同时仍具有温度补偿作用。同时仍具有温度补偿作用。必要性:由于应变电桥输出电压很小,一般都要加放大器,而直必要性:由于应变电桥输出电压很小,一般都要加放大器,而直流放大器易于产生零漂,因此应变电桥多采用交流电桥。流放大器易于产生零漂,因此应变电桥多采用交流电桥。电路:电路:调节电路:调节电路:2 2交流电桥交流电桥平衡条件:满足电阻平衡条件外,还必须满足
12、电容平衡条件,平衡条件:满足电阻平衡条件外,还必须满足电容平衡条件,为此在桥路上除设有电阻平衡调节外还设有电容平衡调节。为此在桥路上除设有电阻平衡调节外还设有电容平衡调节。四、应变式传感器应用 1应变式力传感器应变式力传感器被测物理量为荷重或力的应变式传感器,统称为应变式力传感器。其主要用作各种电子称与材料试验机的测力元件、发动机的推力测试、水坝坝体承载状况监测等。图2-9柱式、筒式力传感器应变片粘贴在弹性体外壁应力分布均匀的中间部分,对称地粘贴多片,电桥接线时应尽量减小载荷偏心和弯矩的影响,贴片在圆柱面上的位置及其在桥路中的连接如图(c)、(d)所示,R1和R3串接,R2和R4串接,并置于桥
13、路对臂上以减小弯矩影响,横向贴片作温度补偿用。2 2应变式压力传感器应变式压力传感器l l应变式压力传感器主要用来测量流动介质的动态或静态压应变式压力传感器主要用来测量流动介质的动态或静态压力。如动力管道设备的进出口气体或液体的压力、发动机力。如动力管道设备的进出口气体或液体的压力、发动机内部的压力变化,枪管及炮管内部的压力、内燃机管道压内部的压力变化,枪管及炮管内部的压力、内燃机管道压力等。力等。l l应变片压力传感器大多采用膜片式或筒式弹性元件。应变片压力传感器大多采用膜片式或筒式弹性元件。(a)应变变化图(b)应变片粘贴图2-10膜片式压力传感器一般在平膜片圆心处切向粘贴R1、R4两个应
14、变片,在边缘处沿径向粘贴R2、R3两个应变片,然后接成全桥测量电路。第二节第二节 固态压阻式传感器固态压阻式传感器一、半导体的压阻效应 n n压阻效应压阻效应 :n n固体受到作用力后,电阻率就要发生变化固体受到作用力后,电阻率就要发生变化 n n半导体材料的压阻效应特别强,即在半导体材料半导体材料的压阻效应特别强,即在半导体材料在某一轴向受外力作用时,其电阻率在某一轴向受外力作用时,其电阻率 发生的变化发生的变化较大。较大。1 1半导体压阻效应原理半导体压阻效应原理 对半导体材料对半导体材料:2 2半导体应变片的灵敏系数半导体应变片的灵敏系数半导体应变片的灵敏系数为:半导体应变片突出优点是灵
15、敏度高,比金属丝式高 5080倍,尺寸小,横向效应小,动态响应好。但它有温度系数大,应变时非线性比较严重等缺点。二、固态压阻式传感器的结构 n n按照结构划分,压阻式传感器主要有三种不同类型。按照结构划分,压阻式传感器主要有三种不同类型。n n体型半导体、薄膜型半导体、扩散型半导体。体型半导体、薄膜型半导体、扩散型半导体。1 1体型半导体应变片体型半导体应变片体型半导体应变片体型半导体应变片 体型半导体应变片是一种将半导体材料硅或锗晶体按体型半导体应变片是一种将半导体材料硅或锗晶体按定定方向切割成的片状小条,经腐蚀压焊粘贴在基片上而成的应方向切割成的片状小条,经腐蚀压焊粘贴在基片上而成的应变片
16、,其结构如图。变片,其结构如图。2 2薄膜型半导体应变片薄膜型半导体应变片 薄膜型半导体应变片是利用真空沉积技术,将半导体材料薄膜型半导体应变片是利用真空沉积技术,将半导体材料沉积在带有绝缘层的试件上而制成,其结构示意图见图。沉积在带有绝缘层的试件上而制成,其结构示意图见图。1-锗膜 2-绝缘层 3-金属箔基底 4-引线3 3扩散型半导体应变片扩散型半导体应变片 将将P P型杂质扩散到型杂质扩散到N N型硅单晶基底上,形成一层极薄的型硅单晶基底上,形成一层极薄的P P型导电型导电层,形成四个阻值相等的电阻条。再通过超声波和热压焊法接层,形成四个阻值相等的电阻条。再通过超声波和热压焊法接上引出线
17、就形成了扩散型半导体应变片。上引出线就形成了扩散型半导体应变片。1-N型硅2-P型硅扩散层3-二氧化硅绝缘层 4-铝电极 5-引线 三、固态压阻式传感器的测量电路 1恒流源供电电桥恒流源供电电桥 输出电压:输出电压:恒流源供电的全桥差动电路 电桥的输出电压与电阻变化成正比,与恒流源电流成正比,但与温度无关,因此测量不受温度的影响。l l零漂产生的原因是扩散电阻的阻值随温度变化而变化。零漂产生的原因是扩散电阻的阻值随温度变化而变化。l l灵敏度漂移是因为压阻系数随温度的变化而变化。灵敏度漂移是因为压阻系数随温度的变化而变化。2零点与灵敏度温度补偿零点与灵敏度温度补偿 零漂和灵敏度漂移补偿电路 u
18、并联电阻Rp/R2,串联电阻 Rs、R1用于抑制零位温漂。u串联电阻Rs起调零作用u并联电阻RP起补偿作用。u串联二极管VD,用于灵u敏度的温漂补偿。四、固态压阻式传感器的应用 固态压阻式传感器的灵敏系数大,分辨率高,应变的横向效应和机械滞后极小。固态压阻式传感器的灵敏系数大,分辨率高,应变的横向效应和机械滞后极小。频率响应高,体积小。它主要用于测量压力、加速度和载荷等参数。频率响应高,体积小。它主要用于测量压力、加速度和载荷等参数。1 1扩散型压阻式压力传感器扩散型压阻式压力传感器扩散型压阻式压力传感器扩散型压阻式压力传感器 (1 1)结构)结构 11低压腔低压腔 22高压腔高压腔 33硅杯
19、硅杯 44引线引线 55硅膜片硅膜片(2 2)工作原理)工作原理 四个电阻在应力作用下,阻值发生变化,电桥失去平衡,输出相应的电压,四个电阻在应力作用下,阻值发生变化,电桥失去平衡,输出相应的电压,电压与膜片两边的压力差成正比。电压与膜片两边的压力差成正比。四、固态压阻式传感器的应用(3 3)特点)特点 n n优点优点:n n体积小,结构比较简单,体积小,结构比较简单,n n动态响应也好,动态响应也好,n n灵敏度高,能测出十几帕的微压,灵敏度高,能测出十几帕的微压,n n长期稳定性好,滞后和蠕变小,频率响应高,长期稳定性好,滞后和蠕变小,频率响应高,n n便于生产,成本低。便于生产,成本低。
20、n n缺点:缺点:n n测量准确度受到非线性和温度的影响。测量准确度受到非线性和温度的影响。n n目前广泛使用的智能型扩散硅压阻式压力传感器,利用微处理器目前广泛使用的智能型扩散硅压阻式压力传感器,利用微处理器对输出的非线性和温度漂移进行补偿。比如:对输出的非线性和温度漂移进行补偿。比如:HoneywellHoneywell公司的公司的ST-3000ST-3000系列。系列。2 2压阻式加速度传感器压阻式加速度传感器(1 1)结构)结构)结构)结构 1-1-基座;基座;2-2-扩散电阻扩散电阻 3-3-质量块;质量块;4-4-硅梁硅梁(2 2)工作原理)工作原理)工作原理)工作原理 当悬臂梁自
21、由端的质量块受到外界加速度作用时,将感受到的加速度当悬臂梁自由端的质量块受到外界加速度作用时,将感受到的加速度转变为惯性力,使悬臂梁受到弯矩作用,产生应力。这时硅梁上四个转变为惯性力,使悬臂梁受到弯矩作用,产生应力。这时硅梁上四个电阻条的阻值发生变化,使电桥产生不平衡,从而输出与外界的加速电阻条的阻值发生变化,使电桥产生不平衡,从而输出与外界的加速度成正比的电压值。度成正比的电压值。(3 3)特点)特点)特点)特点 固态压阻式加速度传感器,具有频率动态响应好、结构比较简单、体固态压阻式加速度传感器,具有频率动态响应好、结构比较简单、体积小、精度高、灵敏度高,长期稳定性好,滞后和蠕变小,便于生产
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