光相位调制检测系统第六章.ppt
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1、第六章 光相位调制检测系统n6.1 光相位调制的检测n6.2 干涉测量技术n6.3 相位调制型光纤传感器6.1 光相位调制的检测测量原理:振幅、相位、频率、偏振的变化 光的强度的变化被测量一、迈克尔逊干涉仪n位移量 引起光强度变化的次数为N:n干涉仪所在介质的折射率 干涉仪光源在真空中的波长马赫-泽德干涉仪n优点:避免干涉光路中的光再返回光源,降低光源的不稳定噪声。nBS1、BS2为分束镜nPD1、PD2为光电探测器PD1=(2/0)L nL光程差 2n/0空间角频率6.2 干涉测量技术n激光干涉测长仪 1.激光光源 2.干涉系统:迈克尔逊干涉仪 3.光电显微镜用于:给出被测长度量的起始位置4
2、.干涉信号处理 光电探测;信号放大;判向;细分;可逆计数和显示记录光电计数器显示记录装置待测物体可移动平台光电显微镜激光光源BS激光干涉测长仪 应用:长度、角度、平面度、折射率、气体或液体含量、光学元件面形、光学系统像差、光学系统内部缺陷等的测量。光程变化光相位变化光强度变化位移 缺点:1.有小部分光束沿原路返回,影响激光器工作 2.由于干涉信号的变化,正负位移都是一样的,所以必须进行判向干涉信号的方向判别与计数 干涉信号的方向判别与计数正反位移的区分,正向移动加脉冲,反向移动减脉冲干扰造成的反向位移影响的消除移相原理原理1.移相 得到两路相互差/2的干涉条纹光强信号sin、cos.2.接收
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