MFC 流量计.ppt

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1、定义：定义：质量流量控制器,即Mass Flow Controller（缩写为MFC）。不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置,是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。质量流量计质量流量计/质量流量控制器的主要优点是什质量流量控制器的主要优点是什么？么？(1)流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计，压力及

2、温度的波动将导致较大的误差；对于质量流量计/质量流量控制器，则一般可以忽略不计。(2)测量控制的自动化质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示累积流量自动计量数据自动记录计算机管理等。对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。通常,模拟的MFC/MFM输入输出信号为0+5V或420mA,数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口,能非常方便地与计算机连接,进行自动控制。v(3)精确地定量控制流量 质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制对于不同气体的比例控制等特别有用。v(4)适用范围宽

3、 有很宽的工作压力范围，可以从真空直到10MPa;可以适用于多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如HCL）；有很宽的流量范围，最小流量范围可达05 sccm，最大流量范围可达0200 slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%,流量控制范围是满量程的2100%(量程比为-50:1),因此在很多领域得到广泛应用。经常采用的检查手段或方法及其检查内容有经常采用的检查手段或方法及其检查内容有哪些？哪些？（1）通用常规仪器检查（2）替代法 利用转换器和传感器间以及转换器内线路板部件间的互换性，以替代法判别故障所在位置。（3）信号踪迹法 用模拟信号器替代传感器，在液体未流动条件下提供流量信号，以测试电磁流量转换器。v 检查首先从显示仪表工作是否正常开始，逆流量信号传送的方向进行。用模拟信号器测试转换器，以判断故障发生在转换器及其后位仪表还足在转换器的上位传感器发生的。若足转换器故障，如有条件可方便地借用转换器或转换器内线路板作替代法调试；若是传感器故障需要试调换时，因必须停止运行，关闭管道系统，因涉及面广，常不易办到。特别是大口径流量传感器，试换工程量大，通常只有在作完其他各项检查，最后才下决心，卸下管道检查传感器测量管内部状况或调换。The end!Thank you!