第二章电阻式传感器.ppt

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1、第第2章章 电阻式传感器电阻式传感器 2.1 电阻应变式传感器电阻应变式传感器 2.2 压阻式传感器压阻式传感器 2.3 热电阻传感器热电阻传感器 2.4 电位器式传感器电位器式传感器 2.5 电阻式传感器的应用实例电阻式传感器的应用实例 2.1 电阻应变式传感器电阻应变式传感器 2.1.1 电阻应变片的结构和材料电阻应变片的结构和材料电阻应变片由基底、敏感栅、覆盖层、引出线等组成。它的电阻应变片由基底、敏感栅、覆盖层、引出线等组成。它的基本结构如基本结构如图图2-1所示。所示。基底基底保持电阻丝固定的形状、尺寸和位置。一般为纸或保持电阻丝固定的形状、尺寸和位置。一般为纸或胶片物质，厚度为胶片

2、物质，厚度为0.020.04mm。敏感栅敏感栅实现应变实现应变(长度的相对变化长度的相对变化)电阻转换的敏感元电阻转换的敏感元件。其电阻值一般在件。其电阻值一般在100 以上。以上。覆盖层覆盖层用纸、胶做成覆盖在电阻丝上的保护层，起防潮、用纸、胶做成覆盖在电阻丝上的保护层，起防潮、防蚀、防损等作用。防蚀、防损等作用。引线引线它起着敏感栅与测量电路之间的过渡连接和引导作它起着敏感栅与测量电路之间的过渡连接和引导作用。用。根据敏感栅材料的不同，应变片主要分为金属电阻应变片和根据敏感栅材料的不同，应变片主要分为金属电阻应变片和半导体应变片两大类。半导体应变片两大类。1.金属电阻应变片金属电阻应变片下

3、一页返回2.1 电阻应变式传感器电阻应变式传感器此类应变片的结构形式有丝式、箔式和薄膜式此类应变片的结构形式有丝式、箔式和薄膜式3种，结构如种，结构如图图2-2所示。所示。(1)丝式应变片丝式应变片如如图图2-2(a)所示，它是将金属丝按图示形状弯曲后用黏合剂贴所示，它是将金属丝按图示形状弯曲后用黏合剂贴在衬底上而成，基底可分为纸基、胶基和纸浸胶基等。电阻在衬底上而成，基底可分为纸基、胶基和纸浸胶基等。电阻丝两端焊有引出线，使用时只要将应变片贴于弹性体上就可丝两端焊有引出线，使用时只要将应变片贴于弹性体上就可构成应变式传感器。它结构简单，价格低，强度高，但允许构成应变式传感器。它结构简单，价格

4、低，强度高，但允许通过的电流较小，测量精度较低，适用于对测量要求不很高通过的电流较小，测量精度较低，适用于对测量要求不很高的场合。的场合。(2)箔式应变片箔式应变片此类应变片的敏感栅是通过光刻、腐蚀等工艺制成。箔栅厚此类应变片的敏感栅是通过光刻、腐蚀等工艺制成。箔栅厚度一般在度一般在0.0010.005mm之间，它的结构如之间，它的结构如图图2-2(b)所示。箔所示。箔式应变片相对于丝式应变片其面积大，散热性好，允许通过式应变片相对于丝式应变片其面积大，散热性好，允许通过较大的电流。由于它的厚度薄，因此具有较好的可绕性，灵较大的电流。由于它的厚度薄，因此具有较好的可绕性，灵敏度系数较高。箔式应

5、变片还可以根据需要制成任意形状，敏度系数较高。箔式应变片还可以根据需要制成任意形状，适合批量生产。适合批量生产。上一页 下一页返回2.1 电阻应变式传感器电阻应变式传感器(3)金属薄膜应变片金属薄膜应变片它是采用真空蒸镀或溅射式阴极扩散等方法，在薄的基底材它是采用真空蒸镀或溅射式阴极扩散等方法，在薄的基底材料上制成一层金属电阻材料薄膜以形成应变片。这种应变片料上制成一层金属电阻材料薄膜以形成应变片。这种应变片有较高的灵敏度系数，允许电流密度大，工作温度范围较广。有较高的灵敏度系数，允许电流密度大，工作温度范围较广。它是近年来薄膜技术发展的产物。它是近年来薄膜技术发展的产物。2.半导体应变片半导

6、体应变片对一块半导体材料的某一轴向施加一定的载荷而产生应力时，对一块半导体材料的某一轴向施加一定的载荷而产生应力时，它的电阻率会发生变化，这种物理现象称为半导体的压阻效它的电阻率会发生变化，这种物理现象称为半导体的压阻效应。半导体应变片是利用半导体材料的压阻效应而制成的一应。半导体应变片是利用半导体材料的压阻效应而制成的一种纯电阻性元件，如种纯电阻性元件，如图图2-3所示。所示。半导体应变片有以下几种类型：半导体应变片有以下几种类型：(1)体型半导体应变片体型半导体应变片这是一种将半导体材料硅或锗晶体按一定方向切割成的片状这是一种将半导体材料硅或锗晶体按一定方向切割成的片状小条，经腐蚀压焊粘贴

7、在基片上而成的应变片。小条，经腐蚀压焊粘贴在基片上而成的应变片。上一页 下一页返回2.1 电阻应变式传感器电阻应变式传感器(2)薄膜型半导体应变片薄膜型半导体应变片这种应变片是利用真空沉积技术将半导体材料沉积在带有绝这种应变片是利用真空沉积技术将半导体材料沉积在带有绝缘层的试件上而制成。缘层的试件上而制成。(3)扩散型半导体应变片扩散型半导体应变片将将P型杂质扩散到型杂质扩散到N型硅单晶基底上，形成一层极薄的型硅单晶基底上，形成一层极薄的P型导型导电层，再通过超声波和热压焊法接上引出线，就形成了扩散电层，再通过超声波和热压焊法接上引出线，就形成了扩散型半导体应变片。型半导体应变片。2.1.2

8、电阻应变片的工作原理电阻应变片的工作原理1.电阻应变效应电阻应变效应导体或半导体材料在外力作用下产生机械变形时，它的电阻导体或半导体材料在外力作用下产生机械变形时，它的电阻值也相应地发生变化，这一物理现象称为电阻应变效应。值也相应地发生变化，这一物理现象称为电阻应变效应。上一页 下一页返回2.1 电阻应变式传感器电阻应变式传感器2.电阻应变片的工作原理电阻应变片的工作原理这里以金属丝为分析对象，设有一根长度为这里以金属丝为分析对象，设有一根长度为L、横截面积为、横截面积为A、电阻率为电阻率为的金属丝，从物理学的知识，我们知道其电阻值的金属丝，从物理学的知识，我们知道其电阻值R为为 当沿金属丝的

9、长度方向均匀受力时，上式的当沿金属丝的长度方向均匀受力时，上式的L、A、都将发都将发生变化，从而导致电阻值生变化，从而导致电阻值R发生变化。利用材料力学的知识，发生变化。利用材料力学的知识，通过理论上的公式推导，并经过大量的实验证明，可以得到：通过理论上的公式推导，并经过大量的实验证明，可以得到：电阻丝电阻的相对变化电阻丝电阻的相对变化R/R与与L/L的关系在很大范围内是线的关系在很大范围内是线性的，即性的，即 上式中的上式中的L/L通常简写为，称为电阻丝的轴向应变，所以上通常简写为，称为电阻丝的轴向应变，所以上式也常写成式也常写成 上一页 下一页返回2.1 电阻应变式传感器电阻应变式传感器式

10、中式中Ks是一个与材料固有特性有关的一个常数，称为电阻单是一个与材料固有特性有关的一个常数，称为电阻单丝的灵敏度。丝的灵敏度。从上式可以看出，应变与电阻变化率呈线性关系。使用应变从上式可以看出，应变与电阻变化率呈线性关系。使用应变片测量时，通常将其粘贴在被测对象表面上。当被测对象受片测量时，通常将其粘贴在被测对象表面上。当被测对象受力变形时，应变片的敏感栅也随同变形，其电阻值发生相应力变形时，应变片的敏感栅也随同变形，其电阻值发生相应变化，通过转换电路转换为电压或电流的变化，这样就能直变化，通过转换电路转换为电压或电流的变化，这样就能直接测量被测对象的应变。接测量被测对象的应变。通过弹性敏感元

11、件，可以将位移、力、力矩、加速度、压力通过弹性敏感元件，可以将位移、力、力矩、加速度、压力等物理量转换为应变，从而可用应变片测量上述各量，而做等物理量转换为应变，从而可用应变片测量上述各量，而做成各种应变式传感器。成各种应变式传感器。2.1.3 电阻应变片的工作特性及参数电阻应变片的工作特性及参数电阻应变片的工作特性和主要参数有以下几个方面。电阻应变片的工作特性和主要参数有以下几个方面。上一页 下一页返回2.1 电阻应变式传感器电阻应变式传感器1.灵敏系数灵敏系数K 式中式中K 为金属应变片的灵敏系数，与金属单丝的灵敏系数为金属应变片的灵敏系数，与金属单丝的灵敏系数Ks有一定差别，主要由实验测

12、得。大量实验结果表明，应变片有一定差别，主要由实验测得。大量实验结果表明，应变片的灵敏系数的灵敏系数K 恒小于金属丝线材的灵敏系数恒小于金属丝线材的灵敏系数Ks。究其原因主。究其原因主要是胶体的传递变形失真及横向效应两个方面。要是胶体的传递变形失真及横向效应两个方面。2.电阻值电阻值 应变片电阻值是指应变片没有粘贴、也不受力时，在室温下应变片电阻值是指应变片没有粘贴、也不受力时，在室温下测定的电阻值。目前应变片的电阻值测定的电阻值。目前应变片的电阻值(标称值标称值)也有一个系列，也有一个系列，如如60、120、350、600、1000 等，其中以等，其中以120 最为常用。实最为常用。实际使用

13、的应变片的阻值相对于标称值可能存在一些偏差，因际使用的应变片的阻值相对于标称值可能存在一些偏差，因此使用前要进行测量分选。此使用前要进行测量分选。3.最大工作电流最大工作电流上一页 下一页返回2.1 电阻应变式传感器电阻应变式传感器最大工作电流是指允许通过应变片而不影响其工作特性的最最大工作电流是指允许通过应变片而不影响其工作特性的最大电流值。当应变片接入测量电路后，在敏感栅中要流过一大电流值。当应变片接入测量电路后，在敏感栅中要流过一定的电流，此电流使得应变片温度上升，从而影响测量精度，定的电流，此电流使得应变片温度上升，从而影响测量精度，甚至烧毁应变片。通常在静态测量时，允许电流一般规定为

14、甚至烧毁应变片。通常在静态测量时，允许电流一般规定为25mA，动态测量时可达，动态测量时可达75100mA；箔式应变片可更大些。；箔式应变片可更大些。4.横向效应横向效应应变片受力时，不仅构件的轴向应变应变片受力时，不仅构件的轴向应变 使敏感栅电阻发生变化，使敏感栅电阻发生变化，而且其垂直于应变片轴向的横向应变而且其垂直于应变片轴向的横向应变r 也将使敏感栅半圆弧也将使敏感栅半圆弧部分的电阻发生变化。应变片的这种既受轴向应变影响又受部分的电阻发生变化。应变片的这种既受轴向应变影响又受横向应变影响而引起电阻变化的现象称为横向效应，如横向应变影响而引起电阻变化的现象称为横向效应，如图图2-4所示。

15、所示。通过公式推导以及大量的实验数据证明：敏感栅越窄通过公式推导以及大量的实验数据证明：敏感栅越窄(r 愈小愈小)、基长越长、基长越长(L愈大愈大)的应变片其横向效应引起的误差越小。的应变片其横向效应引起的误差越小。上一页 下一页返回2.1 电阻应变式传感器电阻应变式传感器5.迟滞迟滞应变片粘贴在被测试件上以后，在一定温度下，应变片电阻应变片粘贴在被测试件上以后，在一定温度下，应变片电阻相对变化相对变化i(R/R)(相当于应变传感器的输出，称做指示应变相当于应变传感器的输出，称做指示应变)与试件机械应变与试件机械应变m(L/L，实际应变，实际应变)之间加载和卸载的特之间加载和卸载的特性曲线并不

16、重合，这种现象称为应变片的迟滞。加载和卸载性曲线并不重合，这种现象称为应变片的迟滞。加载和卸载特性曲线之间的最大差值特性曲线之间的最大差值 称为最大迟滞误差。如称为最大迟滞误差。如图图2-5所示。所示。该值越小，传感器的性能越好。该值越小，传感器的性能越好。6.零漂与蠕变零漂与蠕变对于粘贴好的应变片，当温度恒定、不承受应变时，其电阻对于粘贴好的应变片，当温度恒定、不承受应变时，其电阻值随时间的变化而变化的特性，称为应变片的零点漂移，简值随时间的变化而变化的特性，称为应变片的零点漂移，简称零漂。如果在一定温度下，使应变片承受恒定的机械应变，称零漂。如果在一定温度下，使应变片承受恒定的机械应变，其

17、电阻值随时间的变化而变化的特性称为蠕变。其电阻值随时间的变化而变化的特性称为蠕变。实验证明，选用弹性模量较大的粘结剂和基底材料，适当减实验证明，选用弹性模量较大的粘结剂和基底材料，适当减小胶层和基底的厚度，并使之充分固化，有利于蠕变性能的小胶层和基底的厚度，并使之充分固化，有利于蠕变性能的改善。改善。上一页 下一页返回2.1 电阻应变式传感器电阻应变式传感器7.应变极限应变极限应变片电阻的相对变化与所承受的轴向应变成正比这一关系应变片电阻的相对变化与所承受的轴向应变成正比这一关系只在一定的范围内成立，当试件输入的真实应变超过某一限只在一定的范围内成立，当试件输入的真实应变超过某一限值时，应变片

18、的输出特性将出现非线性。在恒温条件下，使值时，应变片的输出特性将出现非线性。在恒温条件下，使非线性误差达到非线性误差达到10%时的真实应变值，称为应变极限，如时的真实应变值，称为应变极限，如图图2-6所示。应变极限是衡量应变计测量范围和过载能力的指标。所示。应变极限是衡量应变计测量范围和过载能力的指标。8.温度误差温度误差在采用应变片进行应变测量时，希望它的阻值变化只与应变在采用应变片进行应变测量时，希望它的阻值变化只与应变有关，而不受其他因素的影响。但是在应变片的实际应用中，有关，而不受其他因素的影响。但是在应变片的实际应用中，温度变化会导致应变片电阻变化，将会给测量带来误差。温温度变化会导

19、致应变片电阻变化，将会给测量带来误差。温度变化导致电阻变化的主要原因有两个，一是在温度变化时，度变化导致电阻变化的主要原因有两个，一是在温度变化时，敏感栅的电阻丝阻值随温度变化而变化；另一个是试件材料敏感栅的电阻丝阻值随温度变化而变化；另一个是试件材料和敏感栅材料线膨胀系数不一致时，环境温度变化会使敏感和敏感栅材料线膨胀系数不一致时，环境温度变化会使敏感栅产生附加变形，其电阻值也会改变。栅产生附加变形，其电阻值也会改变。上一页 下一页返回2.1 电阻应变式传感器电阻应变式传感器事实上，在常温下测量环境温度也很难保持恒定，所以必须事实上，在常温下测量环境温度也很难保持恒定，所以必须采取一定的措施

20、减小或消除温度变化的影响，这将在后续的采取一定的措施减小或消除温度变化的影响，这将在后续的内容中详细介绍。内容中详细介绍。2.1.4 电阻应变片的测量转换电路电阻应变片的测量转换电路电阻应变片的电阻变化范围很小，如果直接用欧姆表电阻应变片的电阻变化范围很小，如果直接用欧姆表(万用表万用表电阻挡电阻挡)测量其电阻的变化将十分困难，且误差很大。通常采测量其电阻的变化将十分困难，且误差很大。通常采用电桥电路，将应变片微小的电阻变化转化为易测量的电压用电桥电路，将应变片微小的电阻变化转化为易测量的电压或电流信号。通过电桥电路输出的信号既可用指示仪表或电流信号。通过电桥电路输出的信号既可用指示仪表(如电

21、如电压表压表)直接测量，也可以通过放大器放大作进一步的信号处理。直接测量，也可以通过放大器放大作进一步的信号处理。由于电桥测量电路简单，具有较高的精确度和灵敏度，能预由于电桥测量电路简单，具有较高的精确度和灵敏度，能预调平衡，易消除温度及环境的影响，因此在测量系统中被广调平衡，易消除温度及环境的影响，因此在测量系统中被广泛采用。泛采用。上一页 下一页返回2.1 电阻应变式传感器电阻应变式传感器按照所采用的激励电源不同，电桥可分为直流电桥和交流电按照所采用的激励电源不同，电桥可分为直流电桥和交流电桥。直流电桥主要的优点是所需的高稳定度直流电源较易获桥。直流电桥主要的优点是所需的高稳定度直流电源较

22、易获得；电桥输出是直流量，可以用直流仪表测量，精度较高；得；电桥输出是直流量，可以用直流仪表测量，精度较高；对传感器至测量仪表的连接导线要求较低；电桥的预调平衡对传感器至测量仪表的连接导线要求较低；电桥的预调平衡电路简单，仅需对纯电阻加以调整即可。但是零漂、温漂和电路简单，仅需对纯电阻加以调整即可。但是零漂、温漂和地电位的影响较大。交流电桥采用交流激励电源，结合调制地电位的影响较大。交流电桥采用交流激励电源，结合调制解调技术，能较好克服零漂和温漂的影响，但是其电路相对解调技术，能较好克服零漂和温漂的影响，但是其电路相对复杂。复杂。随着集成运算放大器和基准电源电路的发展，零漂和温漂对随着集成运算

23、放大器和基准电源电路的发展，零漂和温漂对直流电桥及其转换电路的影响越来越小，直流电桥得到了广直流电桥及其转换电路的影响越来越小，直流电桥得到了广泛的应用。这里主要介绍电阻应变片的直流电桥电路。泛的应用。这里主要介绍电阻应变片的直流电桥电路。1.电桥的工作原理电桥的工作原理图图2-7是直流电桥的基本形式。是直流电桥的基本形式。R1、R2、R3、R4称为桥臂电阻，称为桥臂电阻，Ei为电桥激励电压源。为电桥激励电压源。上一页 下一页返回2.1 电阻应变式传感器电阻应变式传感器当电桥输出端当电桥输出端b、d接入输入阻抗较大的仪表或放大器时，可接入输入阻抗较大的仪表或放大器时，可视为开路，输出电流为零，

24、输出电压为视为开路，输出电流为零，输出电压为Eo。此时输出电压。此时输出电压 由式由式(2-5)可见，欲使输出电压为零，即电桥平衡，应满足可见，欲使输出电压为零，即电桥平衡，应满足 式式(2-6)是直流电桥的平衡条件。适当选择各桥臂的电阻值，是直流电桥的平衡条件。适当选择各桥臂的电阻值，可使电桥测量前满足平衡条件，输出电压可使电桥测量前满足平衡条件，输出电压Eo=0。若桥臂电阻若桥臂电阻R1(如电阻应变片如电阻应变片)产生产生 变化时，输出电压变化时，输出电压 实际的测量电桥往往取实际的测量电桥往往取4个桥臂的初始电阻相等，即个桥臂的初始电阻相等，即称为全等臂电桥。此时式称为全等臂电桥。此时式

25、(2-7)可写成可写成 上一页 下一页返回2.1 电阻应变式传感器电阻应变式传感器一般情况下一般情况下 ，忽略分母中的，忽略分母中的 项，则项，则 式式(2-9)表明，电桥输出电压与电桥电源电压成正比，表明，电桥输出电压与电桥电源电压成正比，在在 的条件下，电桥输出电压也与桥臂电阻的变化的条件下，电桥输出电压也与桥臂电阻的变化率率 成正比。若电桥初始处于平衡状态，当各桥臂电阻均成正比。若电桥初始处于平衡状态，当各桥臂电阻均发生不同程度的微小变化发生不同程度的微小变化 、和和 时，电桥就失去时，电桥就失去平衡，此时输出电压平衡，此时输出电压 式式(2-10)为电桥输出电压与各桥臂电阻变化量的一般

26、关系式。为电桥输出电压与各桥臂电阻变化量的一般关系式。由于由于 ，忽略分母中的，忽略分母中的 项和分子中项和分子中 的高次项，对的高次项，对于最常用的全等臂电桥，式于最常用的全等臂电桥，式(2-10)可写为可写为 上一页 下一页返回2.1 电阻应变式传感器电阻应变式传感器2.电桥的连接方式电桥的连接方式在测试技术中，根据在工作时电阻值发生变化的桥臂个数分在测试技术中，根据在工作时电阻值发生变化的桥臂个数分为单臂电桥、差动半桥和差动全桥三种连接方式，如图为单臂电桥、差动半桥和差动全桥三种连接方式，如图2-8所所示。示。设图中均为全等臂电桥设图中均为全等臂电桥(如四个桥臂分别接入初始电阻相等的如四

27、个桥臂分别接入初始电阻相等的应变片应变片)，且电桥初始平衡。根据式，且电桥初始平衡。根据式(2-11)讨论三种连接方式讨论三种连接方式的输出电压。的输出电压。(1)单臂电桥单臂电桥如如图图2-8(a)所示，所示，R1为应变片，其余桥臂均为固定电阻。当为应变片，其余桥臂均为固定电阻。当R1的阻值变化的阻值变化R时，电桥输出电压时，电桥输出电压 上一页 下一页返回2.1 电阻应变式传感器电阻应变式传感器(2)差动半桥差动半桥如如图图2-8(b)所示，所示，R1、R2为应变片，发生应变时，其阻值分别为应变片，发生应变时，其阻值分别为且为且 、。当时，电桥输出电压。当时，电桥输出电压(3)差动全桥差动

28、全桥如如图图2-8(c)所示，所示，R1、R2、R3、R4为应变片，发生应变时，其为应变片，发生应变时，其阻值分别为且阻值分别为且 、。当当 时，电桥输出电压时，电桥输出电压 由此可见，电桥的接法不同，其灵敏度也不同，差动半桥接由此可见，电桥的接法不同，其灵敏度也不同，差动半桥接法的灵敏度比单臂电桥的灵敏度高一倍，差动全桥接法的灵法的灵敏度比单臂电桥的灵敏度高一倍，差动全桥接法的灵敏度最高。敏度最高。上一页 下一页返回2.1 电阻应变式传感器电阻应变式传感器综上所述，电阻应变片及其电桥电路将微小应变转换为电压综上所述，电阻应变片及其电桥电路将微小应变转换为电压输出。如果输出的电压比较微弱，则需

29、要通过信号放大器进输出。如果输出的电压比较微弱，则需要通过信号放大器进行。行。3.调零电路调零电路上述的单臂电桥、差动半桥和差动全桥等连接方式，其输出上述的单臂电桥、差动半桥和差动全桥等连接方式，其输出电压的计算都是假设电压的计算都是假设R1=R2=R3=R4=R计算出来的。实际使用计算出来的。实际使用中，由于生产工艺等因素的影响中，由于生产工艺等因素的影响R1、R2、R3、R4不可能严格不可能严格成比例关系，即使在未受力的时候，桥路的输出也不一定为成比例关系，即使在未受力的时候，桥路的输出也不一定为零。因此必须设置调零电路，如零。因此必须设置调零电路，如图图2-9所示。调节所示。调节RP，最

30、终可，最终可以使以使R1/R2=R4/R3，电桥趋于平衡，电桥趋于平衡，Eo被预调到零位。图中的被预调到零位。图中的R5是用于减小调节范围的限流电阻。这种方法在应变和力等是用于减小调节范围的限流电阻。这种方法在应变和力等相关测量仪器中被广泛使用。相关测量仪器中被广泛使用。上一页 下一页返回2.1 电阻应变式传感器电阻应变式传感器2.1.5 电阻应变片的温度误差及其补偿方电阻应变片的温度误差及其补偿方法法前面已经提到，在应变片的实际应用中，温度变化会导致应前面已经提到，在应变片的实际应用中，温度变化会导致应变片电阻变化，将会给测量带来误差。必须采取一定的措施变片电阻变化，将会给测量带来误差。必须

31、采取一定的措施减小或消除温度变化的影响，称之为温度补偿。常用的温度减小或消除温度变化的影响，称之为温度补偿。常用的温度补偿方法一是从电阻应变片的敏感栅材料及制造工艺上采取补偿方法一是从电阻应变片的敏感栅材料及制造工艺上采取措施，这是从应变传感器生产角度上来讲的；二是通过适当措施，这是从应变传感器生产角度上来讲的；二是通过适当的贴片技巧与桥路连接方法消除温度的影响，这是从应变传的贴片技巧与桥路连接方法消除温度的影响，这是从应变传感器应用角度上来讲的。这里主要介绍桥路补偿法。感器应用角度上来讲的。这里主要介绍桥路补偿法。如如图图2-10(a)所示试件，欲测量力作用下试件的应变时，采用所示试件，欲测

32、量力作用下试件的应变时，采用两片初始电阻值、灵敏系数和敏感元件都相同的应变片两片初始电阻值、灵敏系数和敏感元件都相同的应变片R1和和R2。R1贴在试件的测量点上，贴在试件的测量点上，R2贴在补偿块上。所谓补偿块，贴在补偿块上。所谓补偿块，就是与试件材料、温度相同，但不受力的试块，如就是与试件材料、温度相同，但不受力的试块，如图图2-10(b)所示。所示。R1和和R2处于相同温度场中，并按图处于相同温度场中，并按图2-8(b)接入电桥的相接入电桥的相邻臂上。当试件受力且环境温度变化时，应变片邻臂上。当试件受力且环境温度变化时，应变片R1的电阻变的电阻变化率化率 上一页 下一页返回2.1 电阻应变

33、式传感器电阻应变式传感器式中式中 由力由力F引起的引起的R1电阻变化率；电阻变化率；由温度变化引起的由温度变化引起的R1电阻变化率。电阻变化率。应变片应变片R2(称为温度补偿片称为温度补偿片)只有受温度变化引起的电阻变化只有受温度变化引起的电阻变化率率 因为因为 上一页 下一页返回2.1 电阻应变式传感器电阻应变式传感器由式由式(2-11)可知可知 算式中不包含与温度有关的项，所以桥路输出电压算式中不包含与温度有关的项，所以桥路输出电压Eo不受温不受温度的影响，减少了测量误差。度的影响，减少了测量误差。以上是单臂电桥的应用补偿方式，事实上当测量电路处于双以上是单臂电桥的应用补偿方式，事实上当测

34、量电路处于双臂半桥和全桥工作方式时，因为电桥相邻两臂同时受温度影臂半桥和全桥工作方式时，因为电桥相邻两臂同时受温度影响，产生大小相等、符号相同的电阻增量而相互抵消，从而响，产生大小相等、符号相同的电阻增量而相互抵消，从而实现桥路补偿的目的。实现桥路补偿的目的。2.1.6 电阻应变片的应用电阻应变片的应用电阻应变片除可直接用于测量试件的应变外，也可以制成各电阻应变片除可直接用于测量试件的应变外，也可以制成各种专门的应变式传感器，用于测量力、扭矩、加速度、压力种专门的应变式传感器，用于测量力、扭矩、加速度、压力等各种物理量。等各种物理量。上一页 下一页返回2.1 电阻应变式传感器电阻应变式传感器1

35、.应变测量应变测量用应变片除直接测量应变时，需将其粘贴在被测对象表面上。用应变片除直接测量应变时，需将其粘贴在被测对象表面上。当被测对象受力变形时，应变片的敏感栅也随同变形，其电当被测对象受力变形时，应变片的敏感栅也随同变形，其电阻值发生相应变化，通过转换电路转换为电压或电流的变化。阻值发生相应变化，通过转换电路转换为电压或电流的变化。这在前面有详细的叙述。这里简述应变片的粘贴工艺。这在前面有详细的叙述。这里简述应变片的粘贴工艺。(1)应变片的检查与选择应变片的检查与选择首先要对采用的应变片进行外观检查，观察应变片的敏感栅首先要对采用的应变片进行外观检查，观察应变片的敏感栅是否整齐、均匀，是否

36、有锈斑、短路、断路和折弯等现象。是否整齐、均匀，是否有锈斑、短路、断路和折弯等现象。其次要对选用的应变片的阻值进行测量，阻值选取合适将对其次要对选用的应变片的阻值进行测量，阻值选取合适将对传感器的平衡调整带来方便。传感器的平衡调整带来方便。(2)试件的表面处理试件的表面处理为了获得良好的粘合强度，必须对试件表面进行处理，清除为了获得良好的粘合强度，必须对试件表面进行处理，清除试件表面杂质、油污及疏松层等。一般的处理办法可采用砂试件表面杂质、油污及疏松层等。一般的处理办法可采用砂纸打磨，较好的处理方法是采用无油喷砂法，这样不但能得纸打磨，较好的处理方法是采用无油喷砂法，这样不但能得到比抛光更大的

37、表面积，到比抛光更大的表面积，上一页 下一页返回2.1 电阻应变式传感器电阻应变式传感器而且可以获得质量均匀的结果。为了表面的清洁，可用化学而且可以获得质量均匀的结果。为了表面的清洁，可用化学清洗剂如氯化碳、丙酮、甲苯等进行反复清洗，也可采用超清洗剂如氯化碳、丙酮、甲苯等进行反复清洗，也可采用超声波清洗。值得注意的是，为避免氧化，应变片的粘贴要尽声波清洗。值得注意的是，为避免氧化，应变片的粘贴要尽快进行。如果不立刻贴片，可涂上一层凡士林暂作保护。快进行。如果不立刻贴片，可涂上一层凡士林暂作保护。(3)底层处理底层处理为了保证应变片能牢固地贴在试件上，并具有足够的绝缘电为了保证应变片能牢固地贴在

38、试件上，并具有足够的绝缘电阻，改善胶接性能，可在粘贴位置涂上一层底胶。阻，改善胶接性能，可在粘贴位置涂上一层底胶。(4)贴片贴片将应变片底面用清洁剂清洗干净，然后在试件表面和应变片将应变片底面用清洁剂清洗干净，然后在试件表面和应变片底面各涂上一层薄而均匀的粘合剂。待稍干后，将应变片对底面各涂上一层薄而均匀的粘合剂。待稍干后，将应变片对准划线位置迅速贴上，然后盖一层玻璃纸，用手指或胶辊加准划线位置迅速贴上，然后盖一层玻璃纸，用手指或胶辊加压，挤出气泡及多余的胶水，保证胶层尽可能薄而均匀。压，挤出气泡及多余的胶水，保证胶层尽可能薄而均匀。(5)固化固化粘合剂的固化是否完全，直接影响到胶的物理机械性

39、能。关粘合剂的固化是否完全，直接影响到胶的物理机械性能。关键是要掌握好温度、时间和循环周期。键是要掌握好温度、时间和循环周期。上一页 下一页返回2.1 电阻应变式传感器电阻应变式传感器无论自然干燥还是加热固化都要严格按照工艺规范进行。为无论自然干燥还是加热固化都要严格按照工艺规范进行。为了防止强度降低、绝缘破坏以及电化腐蚀，在固化后的应变了防止强度降低、绝缘破坏以及电化腐蚀，在固化后的应变片上应涂上防潮保护层，防潮层一般可采用稀释的粘合胶。片上应涂上防潮保护层，防潮层一般可采用稀释的粘合胶。(6)粘贴质量检查粘贴质量检查首先是从外观上检查粘贴位置是否正确，粘合层是否有气泡、首先是从外观上检查粘

40、贴位置是否正确，粘合层是否有气泡、漏粘、破损等。然后是测量应变片敏感栅是否有断路或短路漏粘、破损等。然后是测量应变片敏感栅是否有断路或短路现象以及测量敏感栅的绝缘电阻。现象以及测量敏感栅的绝缘电阻。(7)引线焊接与组桥连线引线焊接与组桥连线检查合格后即可焊接引出导线，引线应适当加以固定。应变检查合格后即可焊接引出导线，引线应适当加以固定。应变片之间通过粗细合适的漆包线连接组成桥路。连接长度应尽片之间通过粗细合适的漆包线连接组成桥路。连接长度应尽量一致，且不宜过多。量一致，且不宜过多。2.力的测量力的测量(应变式力传感器应变式力传感器)上一页 下一页返回2.1 电阻应变式传感器电阻应变式传感器把

41、应变片粘贴到弹性元件表面把应变片粘贴到弹性元件表面(图图2-11)，弹性元件在力，弹性元件在力F的作的作用下发生应变，应变片也发生应变，两个应变在工程上通常用下发生应变，应变片也发生应变，两个应变在工程上通常被认为是一致的。由材料力学的知识可以知道试件的应被认为是一致的。由材料力学的知识可以知道试件的应 变变 =F/AE，其中，其中A是试件是试件(弹性元件弹性元件)的横截面面积，的横截面面积，E是试是试件件(弹性元件弹性元件)的弹性模量。一旦试件选定后，的弹性模量。一旦试件选定后，A与与E均是已知均是已知的参数，的参数，F与应变成正比，所以利用上述测量应变的方法即可与应变成正比，所以利用上述测

42、量应变的方法即可获知试件受力获知试件受力F的大小。的大小。作为测力传感器的弹性元件，其形式多种多样，远远不止作为测力传感器的弹性元件，其形式多种多样，远远不止图图2-11中这些。常见的有柱形、环形、梁形和轮辐形等。中这些。常见的有柱形、环形、梁形和轮辐形等。需要明确指出的是，应变片应用于力的测量时，应变片需要需要明确指出的是，应变片应用于力的测量时，应变片需要粘贴到弹性元件表面粘贴到弹性元件表面(由专业的生产厂家完成由专业的生产厂家完成)，形成一体化，形成一体化的应变式力传感器。应变式力传感器在使用时，被测的力是的应变式力传感器。应变式力传感器在使用时，被测的力是作用在弹性元件上而不是应变片上

43、，否则会损坏应变式力传作用在弹性元件上而不是应变片上，否则会损坏应变式力传感器。感器。上一页 下一页返回2.1 电阻应变式传感器电阻应变式传感器3.压力测量压力测量(应变式压力传感器应变式压力传感器)压力传感器主要用来测量流体的压力。视其弹性体的结构形压力传感器主要用来测量流体的压力。视其弹性体的结构形式。有单一式和组合式之分。式。有单一式和组合式之分。单一式是指应变计直接粘贴在受压弹性膜片或筒上。单一式是指应变计直接粘贴在受压弹性膜片或筒上。图图2-12为筒式应变压力传感器。图中为筒式应变压力传感器。图中(a)为结构示意图；为结构示意图；(b)为厚底为厚底应变筒；应变筒；(c)为为4片应变计

44、布片，工作应变计片应变计布片，工作应变计R1、R3b沿筒外壁沿筒外壁周向粘贴，温度补偿应变计周向粘贴，温度补偿应变计R2、R4贴在筒底外壁，并接成全贴在筒底外壁，并接成全桥。当应变筒内壁感受压力桥。当应变筒内壁感受压力P时，筒外壁的周向应变为：时，筒外壁的周向应变为：对厚壁筒：对厚壁筒：如图如图2-12所示，所示，上一页 下一页返回2.1 电阻应变式传感器电阻应变式传感器4.加速度测量加速度测量(应变式加速度传感器应变式加速度传感器)加速度传感器通常由弹性悬臂梁、质量块、应变片和壳体组加速度传感器通常由弹性悬臂梁、质量块、应变片和壳体组成，如成，如图图2-13所示。质量块固定在悬臂梁的一端，梁

45、的上下所示。质量块固定在悬臂梁的一端，梁的上下表面粘贴有应变片。测量时将传感器的壳体与被测对象刚性表面粘贴有应变片。测量时将传感器的壳体与被测对象刚性连接，在一定的频率范围内，质量块产生的加速度与被测加连接，在一定的频率范围内，质量块产生的加速度与被测加速度相等，因而作用于悬臂梁上的惯性力亦与被测加速度成速度相等，因而作用于悬臂梁上的惯性力亦与被测加速度成正比。应变式加速度传感器常用于低频振动测量。正比。应变式加速度传感器常用于低频振动测量。5.测量扭矩测量扭矩(应变式扭矩传感器应变式扭矩传感器)应变式扭矩传感器利用应变片将扭矩产生的剪应变转换为电应变式扭矩传感器利用应变片将扭矩产生的剪应变转

46、换为电阻值的变化。弹性元件为整体式薄壁筒，应变片在薄壁筒的阻值的变化。弹性元件为整体式薄壁筒，应变片在薄壁筒的同一圆周线上成同一圆周线上成45和和135方向粘贴。在实际制作与测量时，方向粘贴。在实际制作与测量时，沿轴的某断面的圆周方向每隔沿轴的某断面的圆周方向每隔90布置一个应变片，并将它们布置一个应变片，并将它们接成全桥电路，其展开图如接成全桥电路，其展开图如图图2-14所示。这种布置可提高扭所示。这种布置可提高扭矩传感器的输出灵敏度，并可消除轴向力和弯曲力的影响。矩传感器的输出灵敏度，并可消除轴向力和弯曲力的影响。上一页 返回2.2 压阻式传感器压阻式传感器 2.2.1 基本工作原理基本工

47、作原理压阻式传感器是利用半导体的压阻效应制成的。半导体材料压阻式传感器是利用半导体的压阻效应制成的。半导体材料受到应力作用时，其电阻率会发生变化，这种现象称为压阻受到应力作用时，其电阻率会发生变化，这种现象称为压阻效应。效应。当半导体受到外力时，电阻的变化率主要由当半导体受到外力时，电阻的变化率主要由 引起，即引起，即 根据半导体电阻理论可知根据半导体电阻理论可知 式中式中 沿某径向沿某径向L的压阻系数；的压阻系数；沿某径向沿某径向L的应力；的应力；半导体材料的弹性模量。半导体材料的弹性模量。则半导体材料的灵敏系数则半导体材料的灵敏系数 下一页返回2.2 压阻式传感器压阻式传感器如半导体硅，如

48、半导体硅，=(4080)10-11，=1.671011N/m2，则则 70140。显然半导体电阻材料的灵敏系数比金。显然半导体电阻材料的灵敏系数比金属丝要高属丝要高5070倍。倍。2.2.2 类型与特点类型与特点压阻式传感器主要有体型、薄膜型和扩散型等三种。体型是压阻式传感器主要有体型、薄膜型和扩散型等三种。体型是利用半导体材料的体电阻制成粘贴式的应变片；薄膜型是利利用半导体材料的体电阻制成粘贴式的应变片；薄膜型是利用真空沉积技术将半导体材料沉积在带有绝缘层的基底上而用真空沉积技术将半导体材料沉积在带有绝缘层的基底上而制成的；扩散型是在半导体材料的基片上用集成电路工艺制制成的；扩散型是在半导体

49、材料的基片上用集成电路工艺制成扩散电阻，作为测量传感元件。成扩散电阻，作为测量传感元件。压阻式传感器的优点是：灵敏度高，测量元件尺寸小，频率压阻式传感器的优点是：灵敏度高，测量元件尺寸小，频率响应高，横向效应小。但它的温度稳定性差，在较大的应变响应高，横向效应小。但它的温度稳定性差，在较大的应变下，灵敏度的非线性误差大。下，灵敏度的非线性误差大。2.2.3 压阻式传感器的应用压阻式传感器的应用(1)半导体应变片半导体应变片上一页 下一页返回2.2 压阻式传感器压阻式传感器这种传感器常用硅、锗等材料的体电阻制成粘贴式应变片，这种传感器常用硅、锗等材料的体电阻制成粘贴式应变片，如如图图2-15所示

50、，其使用方法与金属应变片相同。所示，其使用方法与金属应变片相同。这种传感器常用硅、锗等材料的体电阻制成粘贴式应变片，这种传感器常用硅、锗等材料的体电阻制成粘贴式应变片，如图如图2-15所示，其使用方法与金属应变片相同。所示，其使用方法与金属应变片相同。(2)压阻式压力传感器压阻式压力传感器图图2-16所示为一种可以插入心内导管的压阻式压力传感器。所示为一种可以插入心内导管的压阻式压力传感器。图中金属插片是为了对上下两个硅片进行加固用的，硅片与图中金属插片是为了对上下两个硅片进行加固用的，硅片与金属插片用绝缘胶粘合。为了导入方便，在传感器端部加一金属插片用绝缘胶粘合。为了导入方便，在传感器端部加