表面粗糙度 钢材表面缺陷 轮廓测量仪 在线检测划痕凸起凹坑.docx
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1、表面粗糙度钢材表面缺陷轮廓测量仪在线检测划痕/凸起/凹坑表面粗糙度,是指加工表面具有的较小间距和微小峰谷不平度,其两波峰 或两波谷之间的距离(波距)很小(在1mm以下),它属于微观几何形状误 差。表面粗糙度越小,则表面越光滑。表面粗糙度的评定方法1/二维粗糙度评定1 ”Ra = - y dx/J。1近似为 Ra = ;2轮廓尊术平均偏圣Ra的确定在常规工业加工领域中,Ra是常用的表面粗糙度评定参数,其定义为在取 样长度L内,轮廓偏距的绝对值的算术平均值。2/三维粗糙度评定上述绝对值的平均值指示部为示例。实际上,所有的凹凸均为计算对象。随着工业制造越来越精密化,特别是半导体和3c电子行业,传统的
2、粗糙 度评定为二维参数评定,评定的时候在一条线上进行评定,不能够完整地反映 整个表面的全部信息,无法满足行业发展需求。表面形貌的三维评定方法是利用区域表面获得所需要的相关信息,给出表 面形成机理信息和研究表面的直观图像,三维评定从整体上对零件表面特征进 行描述,具有全局性。Sa为常用的三维表面粗糙度评定参数。j 淌1 N M。工忸(工,“必,卜市2自忸区,兀)Sa为表面算术平均高度,指轮廓表面内的点与中心面距离的算术平均或几 何平均值,在取样区域D上,被测量的轮廓面和建立的基准面之间的z坐标距 离的算术平均,即表面粗糙度曲面方程z坐标绝对值的算术平均,数学表达式 如下。3/钢材表面缺陷钢材表面
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