电子能谱分析法精选文档.ppt
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1、电子能谱分析法课件本讲稿第一页,共十七页一、基本概念一、基本概念光电子能谱:光电子能谱:简称简称ESCAESCA(Electron Spectroscopy For Chemical Electron Spectroscopy For Chemical AnalysisAnalysis),由),由X X射线或紫外线作用于样品表面产生光电子,分析射线或紫外线作用于样品表面产生光电子,分析这些光电子能量分布得到的光电子能谱。实际上包括两种能谱:这些光电子能量分布得到的光电子能谱。实际上包括两种能谱:X X光电子能谱(简称光电子能谱(简称XPSXPS)和紫外线光电子能谱()和紫外线光电子能谱(UPS
2、UPS)。由于前者)。由于前者在实用方面比后者更普遍,所以常把在实用方面比后者更普遍,所以常把XPSXPS称为称为ESCAESCA。光电效应:光电效应:原子在原子在X-rayX-ray的作用下,内层电子得到能量而的作用下,内层电子得到能量而发生电离成为自由电子发生电离成为自由电子(光电子光电子)的现象。的现象。本讲稿第二页,共十七页费米能级(费米能级(Fermi levelFermi level):):反映电子在能带中填充能级水平反映电子在能带中填充能级水平高低的一个参数高低的一个参数。就一个由费米子组成的微观体系而言,每个费米子都就一个由费米子组成的微观体系而言,每个费米子都处在各自的量子能
3、态上。现在假想处在各自的量子能态上。现在假想 把所有的费米子把所有的费米子 从这些量子态上移开。从这些量子态上移开。之后再把这些费米子按照一定的规则(例如泡利原理等)填充在各个可供之后再把这些费米子按照一定的规则(例如泡利原理等)填充在各个可供占据的量子能态上,并且这种填充过程中每个费米子都占据占据的量子能态上,并且这种填充过程中每个费米子都占据 最低的可供占最低的可供占据的量子态。最后一个费米子占据着的量子态据的量子态。最后一个费米子占据着的量子态 即可粗略理解为费米能级。即可粗略理解为费米能级。物理意义是,该能级上的一个状态被电子占据的几率是物理意义是,该能级上的一个状态被电子占据的几率是
4、1/21/2。本讲稿第三页,共十七页X射线源(X-ray)过滤窗样品室能量分析器检测器扫描和记录系统真空系统(1.3310-51.3310-8Pa)磁屏蔽系统(110-8T)电子能谱仪结构方框示意图电子能谱仪结构方框示意图二、电子能谱仪结构及工作原理二、电子能谱仪结构及工作原理1 1、结构、结构本讲稿第四页,共十七页2 2、工作原理、工作原理本讲稿第五页,共十七页本讲稿第六页,共十七页光电子能量公式:光电子能量公式:E Ek k=hv-E=hv-Eb b-W-W能量衡算式:能量衡算式:本讲稿第七页,共十七页三、三、X射线光电子能谱谱图分析射线光电子能谱谱图分析本讲稿第八页,共十七页以银的光电子
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