无尘室基本架构课件.ppt

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1、Enabling Your SuccessConfidentialandProprietaryInformationofAltusTechnologyInc.A member of group1無塵室基本架構無塵室基本架構講師：潘岳偉講師：潘岳偉2007/11/29Enabling Your SuccessConfidentialandProprietaryInformationofAltusTechnologyInc.A member of group2無塵室基本架構無塵室基本架構一，何謂無塵室無塵室原名CleanRoom，亦名潔淨室。潔淨室定義為將空間範圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除，

2、而得到一個相當潔淨的環境，亦即這個潔淨環境中的微塵粒子相當少。亦即將空氣中的塵埃、壓力、溫度、濕度、氣流分佈之情形及速度控制在一定範圍之空間二，無塵室基本架構地板隔牆天花板空調照明風淋室傳遞箱洩壓風門Enabling Your SuccessConfidentialandProprietaryInformationofAltusTechnologyInc.A member of group3Enabling Your SuccessConfidentialandProprietaryInformationofAltusTechnologyInc.A member of group4無塵室之組成

3、無塵室之組成Enabling Your SuccessConfidentialandProprietaryInformationofAltusTechnologyInc.A member of group5地板地板Epoxy導電地板導電地板(1000級以上級以上)Enabling Your SuccessConfidentialandProprietaryInformationofAltusTechnologyInc.A member of group6地板地板適用場所集中載重N(KGF)極限載重N(KGF)產品種類一般電腦室4900(500)14700(1500)500型潔淨室6860(70

4、0)20580(2100)700型鋁合金高架地板鋁合金高架地板(1000級以下級以下)Enabling Your SuccessConfidentialandProprietaryInformationofAltusTechnologyInc.A member of group7地板地板Enabling Your SuccessConfidentialandProprietaryInformationofAltusTechnologyInc.A member of group8地板參數及標准地板參數及標准Enabling Your SuccessConfidentialandProprieta

5、ryInformationofAltusTechnologyInc.A member of group9隔牆隔牆(庫板庫板)P U庫板庫板隔板厚度隔板厚度42mm 寬寬900mm 鋼板鋼板0.5mm 構成材料構成材料 硬質發泡硬質發泡PU隔熱性能隔熱性能 0.44kcal/h 隔音性能隔音性能 25dB金屬隔熱板金屬隔熱板(防火一小時防火一小時)隔板厚度隔板厚度60mm 寬寬900mm 鋼板鋼板0.5mm 構成材料構成材料 石膏石膏隔熱性能隔熱性能?kcal/h 隔音性能隔音性能 25dB不燃鋁蜂巢板不燃鋁蜂巢板隔板厚度隔板厚度42mm 寬寬900mm 鋼板鋼板0.5mm 構成材料構成材料 鋁

6、蜂巢鋁蜂巢隔熱性能隔熱性能 2.7kcal/h 隔音性能隔音性能?不燃紙蜂巢板不燃紙蜂巢板隔板厚度隔板厚度42mm 寬寬900mm 鋼板鋼板0.5mm 構成材料構成材料 紙蜂巢紙蜂巢隔熱性能隔熱性能 1.4kcal/h 隔音性能隔音性能 20.5dBEnabling Your SuccessConfidentialandProprietaryInformationofAltusTechnologyInc.A member of group10天花板天花板模組化天花板模組化天花板 Ceiling Grad模組化模組化 高精密高精密 高強度高強度 替換性高及延伸性替換性高及延伸性可任意變更過濾機佔

7、積率及任意提升潔淨度可任意變更過濾機佔積率及任意提升潔淨度(class10001)Enabling Your SuccessConfidentialandProprietaryInformationofAltusTechnologyInc.A member of group11空調空調外氣空調箱外氣空調箱(MAU Make Air Unit)功能：提供無塵室正壓及調節濕度功能：提供無塵室正壓及調節濕度抽風式外氣空調箱乾盤管乾盤管(Dry Coil)功能：調節無塵室溫度功能：調節無塵室溫度(除顯熱除顯熱)使用使用13之冰水之冰水風車過濾機組風車過濾機組(FFU Fan-Filter Unit)功

8、能：提供平穩低噪音之運轉及良好之氣體流量分配，可功能：提供平穩低噪音之運轉及良好之氣體流量分配，可 提供潔淨空氣之高提供潔淨空氣之高 要求，使用於極低微粒粉塵粒子於要求，使用於極低微粒粉塵粒子於 無塵環境中無塵環境中 風量風量 15-30 m3/minEnabling Your SuccessConfidentialandProprietaryInformationofAltusTechnologyInc.A member of group12乾盤管系統乾盤管系統(Dry Coil)13冰水冰水IN OUT乾盤管功能主要為調節無塵室內之溫度乾盤管功能主要為調節無塵室內之溫度利用利用13 以上之

9、冰水流經熱交換器以除去無塵室內之顯熱以上之冰水流經熱交換器以除去無塵室內之顯熱(不除濕不除濕)需需13 以上冰水之原因為防止乾盤管產生冷凝水以上冰水之原因為防止乾盤管產生冷凝水由電磁二通閥控制冰水流量以達到所需控制之溫度由電磁二通閥控制冰水流量以達到所需控制之溫度Enabling Your SuccessConfidentialandProprietaryInformationofAltusTechnologyInc.A member of group13FFU系統系統FFU：Fan Filter Unit 風機濾網機組風機濾網機組 安裝於無塵室天花板上方，其功能為將天花板上方之較低溫空氣吹送

10、至無塵內，於風安裝於無塵室天花板上方，其功能為將天花板上方之較低溫空氣吹送至無塵內，於風機組下方並安裝機組下方並安裝HEPA Filter以過濾微塵粒子以過濾微塵粒子特點風量(m/min)機型採用高效率.低噪音渦輪風扇15-30風機濾網機組Enabling Your SuccessConfidentialandProprietaryInformationofAltusTechnologyInc.A member of group14Enabling Your SuccessConfidentialandProprietaryInformationofAltusTechnologyInc.A m

11、ember of group15Enabling Your SuccessConfidentialandProprietaryInformationofAltusTechnologyInc.A member of group16Enabling Your SuccessConfidentialandProprietaryInformationofAltusTechnologyInc.A member of group17照明照明無塵室之照度一般要求無塵室之照度一般要求700Lux以上以上淚滴型照明燈具淚滴型照明燈具嵌入式照明燈具嵌入式照明燈具Enabling Your SuccessConfi

12、dentialandProprietaryInformationofAltusTechnologyInc.A member of group18風淋室風淋室(Air Shower)人員及物料進入無塵室之緩衝通道，設於無塵室入口處，人員及物料進入無塵室之緩衝通道，設於無塵室入口處，具有以下功能：具有以下功能：人員管制人員管制AIR LOCK 氣鎖功能，防止交叉污染氣鎖功能，防止交叉污染風速風速20-25m/s吹落塵埃帶走功能，用以吹除人體衣服上及設備、物料、工吹落塵埃帶走功能，用以吹除人體衣服上及設備、物料、工 具的塵埃。具的塵埃。Enabling Your SuccessConfidentia

13、landProprietaryInformationofAltusTechnologyInc.A member of group19傳遞箱傳遞箱(Pass Box)傳遞箱傳遞箱(PASS BOX)為置於潔淨室隔間牆上之裝置為置於潔淨室隔間牆上之裝置功能：功能：做為潔淨室內外物品傳遞之緩衝區，其可防止於傳遞物品時由於門的開做為潔淨室內外物品傳遞之緩衝區，其可防止於傳遞物品時由於門的開 啟而破壞了潔淨室氣流與室壓啟而破壞了潔淨室氣流與室壓可減少作業人員走動的時間而防止外區塵埃的進入可減少作業人員走動的時間而防止外區塵埃的進入進出口具有不可同時開啟的聯鎖控制，以達到防止交叉污染進出口具有不可同時開啟

14、的聯鎖控制，以達到防止交叉污染 Enabling Your SuccessConfidentialandProprietaryInformationofAltusTechnologyInc.A member of group20洩壓風門洩壓風門為防止無塵室受到污染外氣的侵入，室內必須保持正壓。但為防止無塵室受到污染外氣的侵入，室內必須保持正壓。但 如果室內正壓太高，會造成門扇不昜關閉之問題，因此必須如果室內正壓太高，會造成門扇不昜關閉之問題，因此必須使用洩壓風門，藉以控制無塵室內保持一定的微正壓。使用洩壓風門，藉以控制無塵室內保持一定的微正壓。Enabling Your SuccessConf

15、identialandProprietaryInformationofAltusTechnologyInc.A member of group21MAU空調箱系統空調箱系統MAU-Make-up Air Unit 外氣空調箱外氣空調箱 用以維持無塵室正壓之調節濕度用以維持無塵室正壓之調節濕度OA：外界新鮮空氣：外界新鮮空氣初濾：初級濾網，用於初步過濾初濾：初級濾網，用於初步過濾particle，一般使用效率，一般使用效率30%之過濾網之過濾網冷盤管：經由冰水循環作用，達到除濕效果，冰水需低於冷盤管：經由冰水循環作用，達到除濕效果，冰水需低於11加熱盤管：經由加熱作用以提高進風溫度加熱盤管：經由

16、加熱作用以提高進風溫度風車：經由風車運轉將空氣送入無塵室內風車：經由風車運轉將空氣送入無塵室內袋濾：袋型濾網，中效過濾，一般使用效率袋濾：袋型濾網，中效過濾，一般使用效率80-85%之過濾網之過濾網HEPA：高效率過濾網，用於最終過濾，一般使用效率：高效率過濾網，用於最終過濾，一般使用效率99.997%-0.3um之過濾網之過濾網加濕器：將水加熱成水蒸氣注入空氣中以提高空氣之濕度加濕器：將水加熱成水蒸氣注入空氣中以提高空氣之濕度Enabling Your SuccessConfidentialandProprietaryInformationofAltusTechnologyInc.A mem

17、ber of group22二次冰水系統二次冰水系統713混合站工作原理：混合站工作原理：功能：將功能：將7 之一次冰水轉換成之一次冰水轉換成13 之二次冰水供乾盤管等使用。之二次冰水供乾盤管等使用。原理：由進回水間之二通閥控制所需之二次冰水溫度原理：由進回水間之二通閥控制所需之二次冰水溫度(13)，若二次冰水溫度低於，若二次冰水溫度低於13 時，二通閥將開啟使較高溫之回水送時，二通閥將開啟使較高溫之回水送 入進水管內以提高進水溫度，當二次冰水溫度高於入進水管內以提高進水溫度，當二次冰水溫度高於13 時，二通閥將關閉以便使較低溫之時，二通閥將關閉以便使較低溫之7 冰水能進入而使溫度下冰水能進入而使溫度下 降。電磁二通閥靠比例式控制可有效將冰水控制於所需之溫度值，混合好之二次冰水再靠水泵送至乾盤管使用。降。電磁二通閥靠比例式控制可有效將冰水控制於所需之溫度值，混合好之二次冰水再靠水泵送至乾盤管使用。水泵最好採變頻方式控制，可有效控制出水水壓，防止出水壓過高，並有節約之功效水泵最好採變頻方式控制，可有效控制出水水壓，防止出水壓過高，並有節約之功效