标准件仪器MSA分析.xls

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1、07年年测测量量系系统统分分析析（Samples 标标准准件件）序序号号量量具具名名称称:量量具具编编号号测测量量时时间间1膜厚测试仪Thickness Gauge（SSG-011）2007.11.162高度测定器Olympus Microscope for Lpmeasurement（SSG-031）2007.11.163投影仪Projector of incoming inspection（SSG-127）2007.11.16担担当当：%R&R判判定定结结果果2.14%可接受2.05%可接受0.07%可接受07年年测测量量系系统统分分析析（Samples 标标准准件件）量量具具重重复复性性

2、和和再再现现性性数数据据表表NO:版号:修订号:表格编号量具名称:膜厚测试仪基准件名称:标准件测量日期:2007/11/16量具编号:(SSG-011)测量参数:印刷厚度MSA担当:量具量程:None!参数规格:250m,500m评价人数3零件编号个数:2平均值试验次数6123456789101.A10.2510.5040.37752.20.2540.5050.37953.30.2520.5040.378040.2520.5050.378550.2520.5050.378560.2560.5050.38054.均值0.2530.505#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!

3、#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!0.3795.极差0.0050.0010.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.00066.B10.2450.5010.37307.20.2450.5030.37408.30.2430.5010.372040.2450.5020.373550.2450.5020.373560.2450.5030.37409.均值0.2450.502#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!0.37310.极差0.0020.0020.0000.0

4、000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.000411.C10.2500.5040.377012.20.2500.5040.377013.30.2500.5000.375040.2490.5030.376050.2490.5040.376560.2490.5040.376514.均值0.2500.503#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!0.376315.极差0.0010.0040.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0005零件均值0.2490.5

5、03#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!0.3760.2543极差均值0.0005试验次数23最大均值差0.0054D43.272.58均值上限0.377极差上限0.0013D300均值下限0.376极差下限0A21.881.02注:圈出那些超出控制限的值。查明原因並纠正。同一评价人采用最初的仪器重复这些读数或剔除这些值并由其余观测值再次平均并计算R和极限值.量量具具重重复复性性和和再再现现性性分分析析表表NO:版号:修订号:表格编号:量具名称：膜厚测试仪零件名称：Mask(Ag,封接面)分析日期：2007/11/1

6、6量具编号：(SSG-011)测量参数：印刷厚度MSA担当：量具量程：None!参数规格：200（-30，+70）m,板后1.8t评价人数量：3来自数据表：0.0010.00540.254试验次数 r=6零件数量 n=2测量系统分析%总变差（TV）重复性设备变差(EV)=100（0.0000.133）=0.0010.59试验次数K1=0.22%=0.00020.886230.5908再现性評价人变差(AV)=100（0.0030.133)=0.0050.520.00026=2.13%=0.0028评价人数23K20.70710.5231重复性和再现性(R&R)零件数量K3=100

7、（0.0030.133)20.7071=0.0000.00330.5231=2.14%=0.00340.446750.4030零件变差(PV)60.374270.3534=100（0.1330.133)=0.2543 0.5280.3375=100.0%=0.13390.3249100.3146总变差(TV)=1.41(0.1330.003)=0.0030.133=65.863=0.133判定：%R%RR R10%10%，测测量量系系统统可可以以接接受受！分析评价措施备注：所有计算都基于预期5.15(在正态分布曲线之下99.0%的面积)。K1为5.15d2，d2取决于试验次数（m）和零件数与

8、评价人的乘积（g)，並假设该值大于15。AV如果计算中根号下出现负值，评价人变差缺省为0。K2为5.15/d2*,式中d2*取决于评价人数量(m)和(g),g为1,因为只有单极差计算。K3为5.15/d2*,式中d2*取决于零件数(m)和(g),g为1,因为只有单极差计算。倱楋R噅牮臶K噁/222/222&噁池噅偬汒汒3KR噐P22&噐 RR噔)/(0%噔噅噅琩琯琨氰氥噔瑬噁硴噁汸)/&(0&%噔RRRR)/(0%噔噐噐RP摒噐砎椦牴献椱湵/AXARBXBRCX佃RPPX/BARRRX楍nX慍xXRLX2RAXLX2RDL屒4吳定期修复后量具更换新控制计划PPAP制定：审核：量

9、量具具重重复复性性和和再再现现性性数数据据表表NO:版号:修订号:表格编号量具名称:高度测定器基准件名称:标准件测量日期:2007/11/16量具编号:(SSG-031)测量参数:LP高度MSA担当:量具量程:None!参数规格:0.25mm,0.50mm评价人数3零件编号个数:2平均值试验次数6123456789101.A10.2520.4980.37482.20.2500.4970.37333.30.2530.5020.377040.2520.5020.377050.2550.5040.379360.2430.5030.37284.均值0.2510.501#DIV/0!#DIV/0!#D

10、IV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!0.3765.极差0.0120.0070.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.00196.B10.2490.4970.37287.20.2420.4970.36938.30.2470.4980.372540.2450.4970.370850.2450.4990.372060.2420.5010.37139.均值0.2450.498#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!0.37110.极差0.0070

11、.0040.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.001111.C10.2420.5020.371512.20.2410.5020.371313.30.2520.5040.377840.2530.5040.378350.2560.5050.380360.2540.5040.378814.均值0.2490.503#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!0.376315.极差0.0160.0030.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0000.0019

12、零件均值0.2480.501#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!#DIV/0!0.3740.2525极差均值0.001617试验次数23最大均值差0.0049D43.272.58均值上限0.376极差上限0.0042D300均值下限0.373极差下限0A21.881.02注:圈出那些超出控制限的值。查明原因並纠正。同一评价人采用最初的仪器重复这些读数或剔除这些值并由其余观测值再次平均并计算R和极限值.量量具具重重复复性性和和再再现现性性分分析析表表NO:版号:修订号:表格编号:量具名称：高度测定器零件名称：标准件分析日期：2007/

13、11/16量具编号：(SSG-031)测量参数：LP高度MSA担当：量具量程：None!参数规格：0.25mm,0.50mm评价人数量：3来自数据表：0.0020.00490.253试验次数 r=6零件数量 n=2测量系统分析%总变差（TV）重复性设备变差(EV)=100（0.0010.132）=0.0020.59试验次数K1=0.72%=0.00120.886230.5908再现性評价人变差(AV)=100（0.0030.132)=0.0050.520.00126=1.92%=0.0025评价人数23K20.70710.5231重复性和再现性(R&R)零件数量K3=100（0.

14、0030.132)20.7071=0.0010.00330.5231=2.05%=0.00340.446750.4030零件变差(PV)60.374270.3534=100（0.1320.132)=0.25250.5280.3375=100.0%=0.13290.3249100.3146总变差(TV)=1.41(0.1320.003)=0.0030.132=68.752=0.132判定：%R%RR R10%10%，测测量量系系统统可可以以接接受受！分析评价措施备注：所有计算都基于预期5.15(在正态分布曲线之下99.0%的面积)。K1为5.15d2，d2取决于试验次数（m）和零件数与评价人的

15、乘积（g)，並假设该值大于15。AV如果计算中根号下出现负值，评价人变差缺省为0。K2为5.15/d2*,式中d2*取决于评价人数量(m)和(g),g为1,因为只有单极差计算。K3为5.15/d2*,式中d2*取决于零件数(m)和(g),g为1,因为只有单极差计算。制定：审核：倱楋R噅牮臶K噁/222/222&噁池噅偬汒汒3KR噐P22&噐 RR噔)/(0%噔噅噅琩琯琨氰氥噔瑬噁硴噁汸)/&(0&%噔RRRR)/(0%噔噐噐RP摒噐砎椦牴献椱湵/AXARBXBRCX佃RPPX/BARRRX楍nX慍xXRLX2RAXLX2RDL屒4吳定期修复后量具更换新控制计划PPAP 量量具具

16、重重复复性性和和再再现现性性数数据据表表NO:版号:修订号:表格编号基准件名称:标准件测量日期:2007/11/15量具名称:投影仪测量参数:标准件MSA担当:量具编号:SSG-127参数规格:1.025.0（）评价人数3零件编号个数:10平均值试验次数3123456789101.A10.9961.2521.5002.0002.9995.00110.00314.99919.99925.0038.37522.20.9941.2541.5052.0013.0074.99910.00415.00720.00325.0038.37773.30.9911.2551.4991.9962.9975.005

17、10.00315.00020.00225.0048.37524.均值0.9941.2541.5011.9993.0015.00210.00315.00220.00125.0038.37605.极差0.0050.0030.0060.0050.0100.0060.0010.0080.0040.0010.00496.B10.9991.2561.5022.0052.9934.99810.00315.00119.99324.9978.37477.21.0071.2601.5002.0033.0005.00210.00514.99319.98825.0058.37638.31.0011.2461.5022

18、.0023.0005.00710.00214.99620.00225.0028.37609.均值1.0021.2541.5012.0032.9985.00210.00314.99719.99425.0018.375710.极差0.0080.0140.0020.0030.0070.0090.0030.0080.0140.0080.007611.C11.0041.2511.5021.9993.0025.00110.00015.00220.00625.0008.376712.21.0061.2501.5032.0023.0035.00010.00415.00420.00725.0048.378313

19、.31.0011.2531.5002.0033.0015.00010.00115.00220.00725.0048.377214.均值1.0041.2511.5022.0013.0025.00010.00215.00320.00725.0038.377415.极差0.0050.0030.0030.0040.0020.0010.0040.0020.0010.0040.0029零件均值0.9981.2541.5012.0012.9995.00210.00314.99919.99825.0028.375924.0043极差均值0.005133试验次数23最大均值差0.0017D43.272.58均值

20、上限8.3811极差上限0.0132D300均值下限8.3706极差下限0A21.881.02注:圈出那些超出控制限的值。查明原因並纠正。同一评价人采用最初的仪器重复这些读数或剔除这些值并由其余观测值再次平均并计算R和极限值.量量具具重重复复性性和和再再现现性性分分析析表表NO:版号:修订号:表格编号:量具名称：投影仪零件名称：标准件分析日期：2007/11/15量具编号：SSG-127测量参数：标准件 MSA担当：量具量程：None!参数规格：1.025.0（）评价人数量：3来自数据表：0.0050.001724.004试验次数 r=3零件数量 n=10测量系统分析%总变差（

21、TV）重复性设备变差(EV)=100（0.0037.552）=0.0050.59试验次数K1=0.04%=0.00320.886230.5908再现性評价人变差(AV)=100（0.0057.552)=0.0022.700.003103=0.06%=0.0046评价人数23.65K232.7重复性和再现性(R&R)零件数量K3=100（0.0067.552)20.7071=0.0030.00530.5231=0.07%=0.00640.446750.4030零件变差(PV)60.374270.3534=100（7.5527.552)=24.00430.3180.3375=100.0%=7.55

22、290.3249100.3146总变差(TV)=1.41(7.5520.006)=0.0067.552=1918.836=7.552判定：%R%RR R10%10%，测测量量系系统统可可以以接接受受！分析评价措施备注：所有计算都基于预期5.15(在正态分布曲线之下99.0%的面积)。K1为5.15d2，d2取决于试验次数（m）和零件数与评价人的乘积（g)，並假设该值大于15。AV如果计算中根号下出现负值，评价人变差缺省为0。K2为5.15/d2*,式中d2*取决于评价人数量(m)和(g),g为1,因为只有单极差计算。K3为5.15/d2*,式中d2*取决于零件数(m)和(g),g为1,因为只有单极差计算。制定：审核：倱楋R噅牮臶K噁/222/222&噁池噅偬汒汒3KR噐P22&噐 RR噔)/(0%噔噅噅琩琯琨氰氥噔瑬噁硴噁汸)/&(0&%噔RRRR)/(0%噔噐噐RP摒噐砎椦牴献椱湵/AXARBXBRCX佃RPPX/BARRRX楍nX慍xXRLX2RAXLX2RDL屒4吳定期修复后量具更换新控制计划PPAP

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