先进制造技术-9激光加工技术教材课件.ppt
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1、2023/1/71一、激光加工系统的组成一、激光加工系统的组成(1)n激光加工机床如激光打孔机和激光切割机除具有一般机激光加工机床如激光打孔机和激光切割机除具有一般机床所需有的支承构件、运动部件以及相应的运动控制装置床所需有的支承构件、运动部件以及相应的运动控制装置外,主要应备有激光加工系统,它是由激光器、聚焦系统外,主要应备有激光加工系统,它是由激光器、聚焦系统和电气系统三部分组成的。和电气系统三部分组成的。1激光器激光器激光器由激光光源、光泵、聚光器和谐振腔组成,应用激光器由激光光源、光泵、聚光器和谐振腔组成,应用于加工的激光器主要有:于加工的激光器主要有:(1)固体激光器固体激光器具有稳
2、定性好的特点,但能量效率低,具有稳定性好的特点,但能量效率低,一般一般3%。由于输出能量小,主要用于打孔和点焊及薄。由于输出能量小,主要用于打孔和点焊及薄板的切割。板的切割。2023/1/72一、激光加工系统的组成一、激光加工系统的组成(2)YAG是固体激光中能发出最大功率的离子激光。是固体激光中能发出最大功率的离子激光。YAG的的结晶母材是由钇、铝和石榴石构成的,其中微量的钕离子起结晶母材是由钇、铝和石榴石构成的,其中微量的钕离子起激光作用。激光作用。YAG的激光波长为的激光波长为1.06m,相当于二氧化碳气,相当于二氧化碳气体激光波长的体激光波长的1/10。它的绿色的激光束可在脉冲或连续波
3、。它的绿色的激光束可在脉冲或连续波的情况下应用,波长短、聚光性好,的情况下应用,波长短、聚光性好,适于精密加工特别是在适于精密加工特别是在脉冲下进行孔加工最为有效,也可用于切削、焊接和光刻等。脉冲下进行孔加工最为有效,也可用于切削、焊接和光刻等。由于聚光性好,可通过光导纤维传输能量,适用于内腔加工由于聚光性好,可通过光导纤维传输能量,适用于内腔加工等特定切合,其能量效率不及等特定切合,其能量效率不及CO2气体激光源,最多不超过气体激光源,最多不超过3,目前产品的输出功率大多在,目前产品的输出功率大多在600W以下,最大已达以下,最大已达4kW。2023/1/73一、激光加工系统的组成一、激光加
4、工系统的组成(3)光泵光泵是使工作物质发生粒子反是使工作物质发生粒子反转产生受激辐射的激励光源,因转产生受激辐射的激励光源,因此光泵的发射光谱应与工作物质此光泵的发射光谱应与工作物质的吸收光谱相匹配。常用的光泵的吸收光谱相匹配。常用的光泵有脉冲氙灯和氪灯,脉冲氙灯的有脉冲氙灯和氪灯,脉冲氙灯的发光强度和频率较高,适用于脉发光强度和频率较高,适用于脉冲工作的固体激光器,而氪灯的冲工作的固体激光器,而氪灯的发光光谱能与发光光谱能与YAG的吸收光谱很的吸收光谱很好匹配,是好匹配,是YAG连续激光器的理连续激光器的理想光泵。为改善照射的均匀性,想光泵。为改善照射的均匀性,光泵可用双灯(如图光泵可用双灯
5、(如图1所示的件所示的件3有上、下两个)、三灯或四灯。有上、下两个)、三灯或四灯。2023/1/74一、激光加工系统的组成一、激光加工系统的组成(4)聚光器罩聚光器罩在光泵的外围,它是把光泵发生的光有效地、在光泵的外围,它是把光泵发生的光有效地、均匀地集中到工作物质上。聚光器中常用的是圆柱聚光均匀地集中到工作物质上。聚光器中常用的是圆柱聚光器和椭圆聚光器,也有球形、椭球和紧包形的聚光器。器和椭圆聚光器,也有球形、椭球和紧包形的聚光器。其要求为聚光均匀、散热好、结构简单、内壁反射率高其要求为聚光均匀、散热好、结构简单、内壁反射率高,表面粗糙度,表面粗糙度R0.04m以下,通常聚光效率达以下,通常
6、聚光效率达80。谐振腔谐振腔是光学反馈元件,它的作用是为光放大介质产是光学反馈元件,它的作用是为光放大介质产生光振荡。其类型对激光输出能量和发散角有很大影响生光振荡。其类型对激光输出能量和发散角有很大影响,常用的平行平面谐振腔由图,常用的平行平面谐振腔由图1中反射镜中反射镜1与与4组成,谐组成,谐振腔的长度为激光半波长的整倍数,反射镜平行度振腔的长度为激光半波长的整倍数,反射镜平行度10。2023/1/75一、激光加工系统的组成一、激光加工系统的组成(5)(2)气体激光器)气体激光器常用的工作物质有分子激光的二氧化碳常用的工作物质有分子激光的二氧化碳(CO2)和离子激光的氩气()和离子激光的氩
7、气(Ar),后者输出功率为),后者输出功率为25W,它的,它的10ns级短脉冲,使热影响区小,用于半导体、陶瓷级短脉冲,使热影响区小,用于半导体、陶瓷和有机物的高精度微细加工。而和有机物的高精度微细加工。而CO2激光器的功率在连续方激光器的功率在连续方式工作时可达式工作时可达45kW,脉冲式可达,脉冲式可达5kW,故在加工中应用,故在加工中应用最广。最广。CO2气体激光器气体激光器的波长为的波长为10.6m,处于红外线领域,处于红外线领域,因而其激光束为不可见光。它是在氦的体积分数约因而其激光束为不可见光。它是在氦的体积分数约80,氮的体积分数约氮的体积分数约15和和CO2的体积分数约的体积分
8、数约5的混合气体中的混合气体中进行放电形成粒子数反转的分子激光。它的能量效率通常进行放电形成粒子数反转的分子激光。它的能量效率通常为为510,高效装置甚至可达,高效装置甚至可达1015。2023/1/76一、激光加工系统的组成一、激光加工系统的组成(6)CO2激光器的工作原理图激光器的工作原理图如图如图2所示。所示。气体激光的激励气体激光的激励虽也可用虽也可用光泵的方法,但大多用直流光泵的方法,但大多用直流放电(图放电(图2)或高频放电的方)或高频放电的方式。式。谐振腔谐振腔由放电管两端的镜由放电管两端的镜面构成,一端是镀金凹镜,面构成,一端是镀金凹镜,另一端是锗或砷化镓平镜,另一端是锗或砷化
9、镓平镜,它们也兼作密封之用。它们也兼作密封之用。2023/1/77CO2激光器的输出功率与放电管的长度成正比,激光器的输出功率与放电管的长度成正比,低速轴流式的气体流速慢,输出功率小,约低速轴流式的气体流速慢,输出功率小,约5070W/m,但其输出功率稳定,易得到单模,一般用,但其输出功率稳定,易得到单模,一般用于百瓦级激光器。对于千瓦级的于百瓦级激光器。对于千瓦级的CO2激光器则采用气激光器则采用气体循环速度达体循环速度达100m/s的高速轴流式的激光器或气流的高速轴流式的激光器或气流及放电与激光光轴垂直的双轴直交型以及气流、放电及放电与激光光轴垂直的双轴直交型以及气流、放电与激光光轴三者互
10、相垂直的三轴直交型,可达到使激与激光光轴三者互相垂直的三轴直交型,可达到使激光器小型化。光器小型化。一、激光加工系统的组成一、激光加工系统的组成(7)2023/1/782.聚焦系统聚焦系统其作用是把激光束通过光学系统精确地聚焦至工其作用是把激光束通过光学系统精确地聚焦至工件上,并具有调节焦点位置和观察显示的功能。件上,并具有调节焦点位置和观察显示的功能。CO2激光器输出的是红外线,故要用锗单晶、砷化镓等红激光器输出的是红外线,故要用锗单晶、砷化镓等红外材料制造的光学透镜才能通过。为减少表面反射需外材料制造的光学透镜才能通过。为减少表面反射需镀金全反射镜。镀金全反射镜。一、激光加工系统的组成一、
11、激光加工系统的组成(8)2023/1/79一、激光加工系统的组成一、激光加工系统的组成(9)图图3为应用于为应用于CO2激激光切割机的透射式聚焦系光切割机的透射式聚焦系统。图中在光束出口处装统。图中在光束出口处装有喷吹氧气、压缩空气或有喷吹氧气、压缩空气或惰性气体惰性气体N2的喷嘴,用以的喷嘴,用以提高切割速度和切口的平提高切割速度和切口的平整光洁。工作台用抽真空整光洁。工作台用抽真空方法使薄板工件能紧贴在方法使薄板工件能紧贴在台面上。台面上。2023/1/7103电气系统电气系统电气系统包括激光器电源和控制系统两部分,电气系统包括激光器电源和控制系统两部分,其作其作用是供给激光器能量(固体激
12、光器的光泵或用是供给激光器能量(固体激光器的光泵或CO2激光器的激光器的高压直流电源)和输出方式(如连续或脉冲、重复频率高压直流电源)和输出方式(如连续或脉冲、重复频率等)进行控制。此外,工件或激光束的移动大多采用等)进行控制。此外,工件或激光束的移动大多采用CNC控制。控制。为了实现聚焦点位置的自动调整,尤其当激光切割为了实现聚焦点位置的自动调整,尤其当激光切割的工件表面不平整时,需采用焦点自动跟踪的控制系统,的工件表面不平整时,需采用焦点自动跟踪的控制系统,它通常用电感式或电容式传感器来实时检测,通过反馈它通常用电感式或电容式传感器来实时检测,通过反馈来控制聚焦点的位置,其控制精度的要求一
13、般为来控制聚焦点的位置,其控制精度的要求一般为0.050.005mm。一、激光加工系统的组成一、激光加工系统的组成(10)2023/1/7111激光打孔尺寸及其精度的控制激光打孔尺寸及其精度的控制(1)孔径尺寸控制)孔径尺寸控制采用小的发散角的微光器(采用小的发散角的微光器(0.0010.003rad),缩短焦距或降低输出能量可获得小的孔),缩短焦距或降低输出能量可获得小的孔径。对于熔点高、导热性好的材料可实现孔径径。对于熔点高、导热性好的材料可实现孔径0.011mm的微小孔加工,最小孔径可达的微小孔加工,最小孔径可达0.001mm。(2)孔的深度控制)孔的深度控制提高激光器输出能量,采用合理
14、提高激光器输出能量,采用合理的脉冲宽度(材料的导热性越好宜取越短的脉冲宽),应的脉冲宽度(材料的导热性越好宜取越短的脉冲宽),应用基模模式(光强呈高斯分布的单模)可获得大的孔深。用基模模式(光强呈高斯分布的单模)可获得大的孔深。对于孔径小的深孔宜用激光多次照射,并用短焦距(对于孔径小的深孔宜用激光多次照射,并用短焦距(1530mm)的物镜打孔。)的物镜打孔。二、激光加工的合理工作参数二、激光加工的合理工作参数(1)2023/1/712(3)提高激光加工孔的圆度)提高激光加工孔的圆度激光器模式采用基模加激光器模式采用基模加工,聚焦透镜用消球差物镜,且透镜光轴与激光束光轴工,聚焦透镜用消球差物镜,
15、且透镜光轴与激光束光轴重合,工件适当偏离聚焦点以及选择适当的激光能量等重合,工件适当偏离聚焦点以及选择适当的激光能量等可提高加工圆度。可提高加工圆度。(4)降低打孔的锥度)降低打孔的锥度通常孔的锥度随其孔深孔径比通常孔的锥度随其孔深孔径比增大而增加,采用适当的激光输出能量或小能量多次照增大而增加,采用适当的激光输出能量或小能量多次照射,较短的焦距,小的透镜折射率及减少入射光线与光射,较短的焦距,小的透镜折射率及减少入射光线与光轴间的夹角等措施可减小孔的锥度。轴间的夹角等措施可减小孔的锥度。二、激光加工的合理工作参数二、激光加工的合理工作参数(2)2023/1/713(5)硬脆材料激光打孔的实用
16、参数)硬脆材料激光打孔的实用参数用用YAG激光加激光加工机对红宝石和金刚石打孔,当孔径为工机对红宝石和金刚石打孔,当孔径为0.05mm时,时,所用的单个脉冲的激光能量分别为所用的单个脉冲的激光能量分别为0.051J,每秒的,每秒的脉冲数约为脉冲数约为20个;加工个;加工Si3N4、SiC和和Al2O3等陶瓷,等陶瓷,当孔径为当孔径为0.251.5mm时,所用单个脉冲激光能量在时,所用单个脉冲激光能量在58J,每秒的脉冲数为,每秒的脉冲数为510个,脉冲宽度个,脉冲宽度0.63ms,辅助气体用空气或,辅助气体用空气或N2。二、激光加工的合理工作参数二、激光加工的合理工作参数(3)2023/1/7
17、142激光切割的合理工作参数激光切割的合理工作参数除精细切割如切割硅片可用除精细切割如切割硅片可用YAGYAG固体激光器外,激光固体激光器外,激光切割一般采用切割一般采用COCO2 2以激光器,其工作参数主要有切割速以激光器,其工作参数主要有切割速度、切缝宽度和切割厚度。度、切缝宽度和切割厚度。(1)激光切割速度)激光切割速度它随激光功率和喷气压力增大它随激光功率和喷气压力增大而增加,而随被切材料厚度增加而降低。切割而增加,而随被切材料厚度增加而降低。切割6mm厚厚度碳素钢钢板的速度达到度碳素钢钢板的速度达到2.5mmin,而厚度为,而厚度为12mm的钢板仅为的钢板仅为0.8m/min。切割。
18、切割15.6mm厚的胶厚的胶合板为合板为4.5m/min,切割,切割35mm厚的丙烯酸酯板的速厚的丙烯酸酯板的速度则达度则达27m/min。二、激光加工的合理工作参数二、激光加工的合理工作参数(4)2023/1/715(2)切缝宽度)切缝宽度一般在一般在0.5mm左右,它与被切材料左右,它与被切材料性质及厚度、激光功率大小、焦距及焦点位置、激光束性质及厚度、激光功率大小、焦距及焦点位置、激光束直径、喷吹气体压力及流量等因素有关,其影响程度大直径、喷吹气体压力及流量等因素有关,其影响程度大致与对打孔直径的影响相似。切割精度可达致与对打孔直径的影响相似。切割精度可达0.020.01mm。(3)切割
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