【教学课件】第一章半导体器件基础.ppt
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1、第一章第一章 半导体器件基础半导体器件基础 教学时数:教学时数:8 8学时学时重点与难点:重点与难点:1 1、PNPN结的原理和二极管的等效电路。结的原理和二极管的等效电路。2 2、半导体内部载流子运动规律。、半导体内部载流子运动规律。3 3、晶晶体体二二极极管管、晶晶体体三三极极管管、结结型型场场效效应应管管、绝绝缘缘栅栅型型场场应应管管的的工工作作原原理理和和特特性性曲曲线线。11.1 半导体基础知识半导体基础知识1.1 半导体基础知识半导体基础知识1.1.1 本征半导体本征半导体根据物体导电能力根据物体导电能力(电阻率电阻率)的不同,来划分导体、绝的不同,来划分导体、绝缘体和半导体。缘体
2、和半导体。1.1.导体:容易导电的物体。导体:容易导电的物体。2.2.绝缘体:几乎不导电的物体。绝缘体:几乎不导电的物体。23.半导体半导体 半导体是半导体是导电性能介于导体和绝缘体之间导电性能介于导体和绝缘体之间的物体。在一定条件下可导电。的物体。在一定条件下可导电。半导体的电阻率为半导体的电阻率为1010-3-310109 9 cmcm。典型的半导。典型的半导体有体有硅硅SiSi和和锗锗GeGe以及以及砷化镓砷化镓GaAsGaAs等。等。半导体半导体特点:特点:1)1)在外界能源的作用下,导电性能显著变在外界能源的作用下,导电性能显著变 化。光敏元件、热敏元件属于此类。化。光敏元件、热敏元
3、件属于此类。2)2)在纯净半导体内掺入杂质,导电性能显在纯净半导体内掺入杂质,导电性能显 著增加。二极管、三极管属于此类。著增加。二极管、三极管属于此类。3 本征半导体本征半导体1.1.本征半导体本征半导体化学成分纯净的半导体。化学成分纯净的半导体。制造半制造半导体器件的半导体材料的纯度要达到导体器件的半导体材料的纯度要达到99.9999999%99.9999999%,常称为常称为“九个九个9”9”。它在物理结构上呈单晶体形态。它在物理结构上呈单晶体形态。电子技术中用的最多的是电子技术中用的最多的是硅硅和和锗锗。硅硅和和锗锗都是都是4价元素,它们的外层电子都是价元素,它们的外层电子都是4个。其
4、个。其简化原子结构模型如下图:简化原子结构模型如下图:锗硅电子外层电子受原子核的束缚外层电子受原子核的束缚力最小,成为价电子。物力最小,成为价电子。物质的性质是由价电子决定质的性质是由价电子决定的的。42.本征半导体的共价键结构本征半导体的共价键结构 本征晶体中各原子之间靠得很近,使原分属于各本征晶体中各原子之间靠得很近,使原分属于各原子的四个价电子同时受到相邻原子的吸引,分别与原子的四个价电子同时受到相邻原子的吸引,分别与周围的四个原子的价电子形成周围的四个原子的价电子形成共价键共价键。共价键中的价。共价键中的价电子为这些原子所共有,并为它们所束缚,在空间形电子为这些原子所共有,并为它们所束
5、缚,在空间形成排列有序的晶体。如下图所示:成排列有序的晶体。如下图所示:硅晶体的空间排列 共价键结构平面示意图5共价键性质共价键性质 共价键上的两个电子是由相邻原子各用一个电子共价键上的两个电子是由相邻原子各用一个电子组成的,这两个电子被成为组成的,这两个电子被成为束缚电子束缚电子。束缚电子同时受两个原子的约束,如果没有足够束缚电子同时受两个原子的约束,如果没有足够的能量,不易脱离轨道。的能量,不易脱离轨道。因此,在绝对温度因此,在绝对温度T=0 K(-273 C)时,由于时,由于共价键中的电子被束缚着,本征半导体中没有自由电共价键中的电子被束缚着,本征半导体中没有自由电子,不导电。只有在激发
6、下,本征半导体才能导电。子,不导电。只有在激发下,本征半导体才能导电。63.3.电子与空穴电子与空穴+4+4+4+4自由电子空穴束缚电子共价键 当当导导体体处处于于热热力力学学温温度度0 K时时,导导体体中中没没有有自自由由电电子子。当当温温度度升升高高或或受受到到光光的的照照射射时时,价价电电子子能能量量增增高高,有有的的价价电电子子可可以以挣挣脱脱原原子子核核的的束束缚缚,而而参参与与导导电电,成成为为自由电子自由电子。这一现象称为本征激发,也称热激发。7电子与空穴电子与空穴 自由电子产生的同时,在其原来的共价键自由电子产生的同时,在其原来的共价键中就出现了一个空位,原子的电中性被破坏,中
7、就出现了一个空位,原子的电中性被破坏,呈现出正电性,其正电量与电子的负电量相等,呈现出正电性,其正电量与电子的负电量相等,人们常称呈现正电性的这个空位为人们常称呈现正电性的这个空位为空穴空穴。8电子与空穴的复合电子与空穴的复合 可见因热激发而出现的自由电子和空穴是同可见因热激发而出现的自由电子和空穴是同时成对出现的,称为时成对出现的,称为电子空穴对电子空穴对。游离的部分自由电。游离的部分自由电子也可能回到空穴中去,称为子也可能回到空穴中去,称为复合,复合,如图所示。本征如图所示。本征激发和复合在一定温度下会达到动态平衡。激发和复合在一定温度下会达到动态平衡。本征激发和复合的过程(动画)9空穴的
8、移动空穴的移动由于共价键中出现了空穴,在外加能源的激发由于共价键中出现了空穴,在外加能源的激发下,邻近的价电子有可能挣脱束缚补到这个空位上,下,邻近的价电子有可能挣脱束缚补到这个空位上,而这个电子原来的位置又出现了空穴,其它电子又有而这个电子原来的位置又出现了空穴,其它电子又有可能转移到该位置上。这样一来在共价键中就出现了可能转移到该位置上。这样一来在共价键中就出现了电荷迁移电荷迁移电流。电流。空穴在晶体中的移动(动画)电流的方向与电子移动的电流的方向与电子移动的方向相反,与空穴移动的方向相反,与空穴移动的方向相同。本征半导体中,方向相同。本征半导体中,产生电流的根本原因是由产生电流的根本原因
9、是由于共价键中出现了空穴。于共价键中出现了空穴。由于空穴数量有限,所以由于空穴数量有限,所以其电阻率很大。其电阻率很大。101.1.3 1.1.3 杂质半导体杂质半导体 在本征半导体中掺入某些微量元素作为杂质,在本征半导体中掺入某些微量元素作为杂质,可使半导体的导电性发生显著变化。掺入的杂质主要可使半导体的导电性发生显著变化。掺入的杂质主要是三价或五价元素。掺入杂质的本征半导体称为是三价或五价元素。掺入杂质的本征半导体称为杂质杂质半导体半导体。(1)N型半导体(2)P型半导体111.1.N型半导体型半导体 在本征半导体中掺入五价杂质元素,例如磷在本征半导体中掺入五价杂质元素,例如磷可形成可形成
10、 N N型半导体型半导体,也称也称电子型半导体电子型半导体。因五价杂质。因五价杂质原子中只有原子中只有四个价电子四个价电子能与周围四个半导体原子中的能与周围四个半导体原子中的价电子形成共价键,而多余的价电子形成共价键,而多余的一个价电子一个价电子因无共价键因无共价键束缚而很容易形成自由电子。束缚而很容易形成自由电子。自由电子 在在N N型半导体型半导体中中自由自由电子是多数载电子是多数载流子流子,它主要由它主要由杂质原杂质原子提供;子提供;另外,硅晶另外,硅晶体体由于热激发由于热激发会产生会产生少量的电子空穴对,少量的电子空穴对,所以所以空穴是少数载流空穴是少数载流子。子。12N型半导体结构型
11、半导体结构 提供自由电子的五价杂质原子因失去一个电子而带提供自由电子的五价杂质原子因失去一个电子而带单位正电荷而成为单位正电荷而成为正离子正离子,因此五价杂质原子也称为,因此五价杂质原子也称为施主杂质施主杂质。N N型半导体的结构示意图如下图所示。型半导体的结构示意图如下图所示。磷原子核自由电子所以,所以,N型半导体中的导电粒子有两种:型半导体中的导电粒子有两种:自由电子自由电子多数载流子(由两部分组成)多数载流子(由两部分组成)空穴空穴少数载流子少数载流子132.P型半导体型半导体 在本征半导体中掺入三价杂质元素,如硼、镓、在本征半导体中掺入三价杂质元素,如硼、镓、铟等形成了铟等形成了P型半
12、导体型半导体,也称为也称为空穴型半导体空穴型半导体。因三价杂质原子在与硅原子形成共价键时,缺少一因三价杂质原子在与硅原子形成共价键时,缺少一个价电子而在共价键中留下一个空穴。当相邻共价键上个价电子而在共价键中留下一个空穴。当相邻共价键上的电子因受激发获得能量时,就可能填补这个空穴,而的电子因受激发获得能量时,就可能填补这个空穴,而产生新的空穴。空穴是其主要载流子。产生新的空穴。空穴是其主要载流子。14P型半导体结构型半导体结构 在在P型半导体中,硼原子很容易由于俘获一个电子型半导体中,硼原子很容易由于俘获一个电子而成为一个带单位负电荷的而成为一个带单位负电荷的负离子,负离子,三价杂质三价杂质
13、因而也因而也称为称为受主杂质受主杂质。而硅原子的共价键由于失去一个电子而硅原子的共价键由于失去一个电子而形成空穴。所以而形成空穴。所以P型半导体的结构示意图如图所示。型半导体的结构示意图如图所示。硼原子核空穴P型半导体中:型半导体中:空穴是多数载流子空穴是多数载流子,主要由掺杂形成;主要由掺杂形成;电子是少数载流子,电子是少数载流子,由热激发形成。由热激发形成。15本节中的有关概念本节中的有关概念 本征半导体、杂质半导体本征半导体、杂质半导体 自由电子、空穴自由电子、空穴 N型半导体、型半导体、P型半导体型半导体 多数载流子、少数载流子多数载流子、少数载流子 施主杂质、受主杂质施主杂质、受主杂
14、质162.2 PN结及其特性结及其特性 PN结的形成 PN结的单向导电性PN结的电容效应17PN结的形成结的形成当扩散和漂移运动达到平衡后,空间电荷区的当扩散和漂移运动达到平衡后,空间电荷区的宽度和内电场电位就相对稳定下来。此时,有多少个宽度和内电场电位就相对稳定下来。此时,有多少个多子扩散到对方,就有多少个少子从对方飘移过来,多子扩散到对方,就有多少个少子从对方飘移过来,二者产生的电流大小相等,方向相反。因此,在相对二者产生的电流大小相等,方向相反。因此,在相对平衡时,流过平衡时,流过PN结的电流为结的电流为0。内电场空间电荷区耗尽层电子空穴P区N区18PN结的形成结的形成 对于对于P型半导
15、体和型半导体和N型半导体结合面,离子薄层形型半导体结合面,离子薄层形成的成的空间电荷区空间电荷区称为称为PN结结。在空间电荷区,由于缺少。在空间电荷区,由于缺少多子,所以也称多子,所以也称耗尽层耗尽层。由于耗尽层的存在,。由于耗尽层的存在,PN结的结的电阻很大。电阻很大。PN结的形成过程(动画)PN结的形成过程中结的形成过程中的两种运动:的两种运动:多数载流子扩散多数载流子扩散 少数载流子飘移少数载流子飘移19PN结的单向导电性结的单向导电性 PN结具有单向导电性结具有单向导电性,若外加电压使电流从,若外加电压使电流从P区流到区流到N区,区,PN结呈低阻性,所以电流大;反之是结呈低阻性,所以电
16、流大;反之是高阻性,电流小。高阻性,电流小。如果外加电压使如果外加电压使PN结中:结中:P区的电位高于区的电位高于N区的电位,称为加区的电位,称为加正向电压正向电压,简称简称正偏正偏;P区的电位低于区的电位低于N区的电位,称为加区的电位,称为加反向电压反向电压,简称简称反偏反偏。20(1)PN结加正向电压时的导电情况结加正向电压时的导电情况 外加的正向电压有一部分降落在外加的正向电压有一部分降落在PN结区,方向与结区,方向与PN结结内电场方向相反,削弱了内电场。于是内电场方向相反,削弱了内电场。于是,内电场对多子扩散内电场对多子扩散运动的阻碍减弱,扩散电流加大。扩散电流远大于漂移电运动的阻碍减
17、弱,扩散电流加大。扩散电流远大于漂移电流,可忽略漂移电流的影响,流,可忽略漂移电流的影响,PN结呈现低阻性。结呈现低阻性。PN结加正向电压时的导电情况(动画)内电场方向PN结的伏安特性结的伏安特性 低电阻低电阻 大的正向扩散电流大的正向扩散电流21(2)PN结加反向电压时的导电情况结加反向电压时的导电情况 外加的反向电压方向与外加的反向电压方向与PN结内电场方向相同,加强了内电结内电场方向相同,加强了内电场。内电场对多子扩散运动的阻碍增强,扩散电流大大减小。场。内电场对多子扩散运动的阻碍增强,扩散电流大大减小。此时此时PN结区的少子在内电场的作用下形成的漂移电流大于扩散结区的少子在内电场的作用
18、下形成的漂移电流大于扩散电流,可忽略扩散电流,电流,可忽略扩散电流,PN结呈现高阻性。结呈现高阻性。PN结加反向电压时的导电情况(动画)内电场方向PN结的伏安特性结的伏安特性 在一定的温度条件下,由本征激发决定的少子浓度是一定的,故少子形成的漂移电流是恒定的,基本上与所加反向电压的大小无关,这个电流也称为反向饱和电流。高电阻高电阻 很小的反向漂移电流很小的反向漂移电流22(3)PN结的伏安特性结的伏安特性 PN结加正向电压时,呈现低电阻,具有较大的正结加正向电压时,呈现低电阻,具有较大的正向扩散电流;向扩散电流;PN结加反向电压时,呈现高电阻,具有结加反向电压时,呈现高电阻,具有很小的反向漂移
19、电流。由此可以得出结论:很小的反向漂移电流。由此可以得出结论:PN结具有结具有单向导电性。单向导电性。233.PN结方程结方程 根据理论分析,根据理论分析,PN结两端的电压结两端的电压V与流过与流过PN结的电流结的电流I之间的关系为:之间的关系为:其中:其中:IS为为PN结的反向饱和电流;结的反向饱和电流;UT称称为温度电压当量,在温度为为温度电压当量,在温度为300K(27C)时,时,UT约为约为26mV;所以上式常写为:所以上式常写为:24PN结方程结方程PN结正偏时,如果结正偏时,如果V VT 几倍以上,上式可改写为:几倍以上,上式可改写为:即即I随随V按指数规律变化。按指数规律变化。P
20、N结反偏时,如果结反偏时,如果V VT几倍以上,上几倍以上,上式可改写为:式可改写为:其中负号表示为反向。其中负号表示为反向。254.PN结的击穿特性结的击穿特性 如图所示,当加在如图所示,当加在PN结上的反向电压增加到一定数值时,结上的反向电压增加到一定数值时,反向电流突然急剧增大,反向电流突然急剧增大,PN结产生电击穿结产生电击穿这就是这就是PN结的结的击穿特性。击穿特性。发生击穿时的反偏电压称为发生击穿时的反偏电压称为PN结的反向击穿电压结的反向击穿电压VBR。PN结被击穿后,PN结上的压降高,电流大,功率大。当PN结上的功耗使PN结发热,并超过它的耗散功率时,PN结将发生热热击穿击穿。
21、这时PN结的电流和温度之间出现恶性循环,最终将导致PN结烧毁。热击穿热击穿不可逆不可逆 雪崩击穿雪崩击穿 齐纳击穿齐纳击穿 电击穿电击穿可逆可逆265.PN结的电容效应结的电容效应PN结除了具有单向导电性外,还有一定的结除了具有单向导电性外,还有一定的电容效应。按产生电容的原因可分为:电容效应。按产生电容的原因可分为:势垒电容势垒电容CB,扩散电容扩散电容CD。27(1)势垒电容势垒电容CB 势垒电容是由空间电荷区的离子薄层形成的。势垒电容是由空间电荷区的离子薄层形成的。当外加电压使当外加电压使PN结上压降发生变化时,离子薄层的结上压降发生变化时,离子薄层的厚度也相应地随之改变,这相当厚度也相
22、应地随之改变,这相当PN结中存储的电荷结中存储的电荷量也随之变化,犹如电容的充放电。势垒电容的示量也随之变化,犹如电容的充放电。势垒电容的示意图如下图。意图如下图。势垒电容示意图28(2)扩散扩散电容电容CD 扩散电容是由多子扩扩散电容是由多子扩散后,在散后,在PN结的另一侧面结的另一侧面积累而形成的。因积累而形成的。因PN结正结正偏时,由偏时,由N区扩散到区扩散到P区的区的电子,与外电源提供的空电子,与外电源提供的空穴相复合,形成正向电流。穴相复合,形成正向电流。刚扩散过来的电子就堆积刚扩散过来的电子就堆积在在 P 区内紧靠区内紧靠PN结的附近,结的附近,形成一定的多子浓度梯度形成一定的多子
23、浓度梯度分布曲线。分布曲线。扩散电容示意图反之,由反之,由P区扩散到区扩散到N区的空穴,在区的空穴,在N区内也形成类似区内也形成类似的浓度梯度分布曲线。扩散电容的示意图如图所示。的浓度梯度分布曲线。扩散电容的示意图如图所示。29扩散扩散电容电容CD当外加正向电压不同时,当外加正向电压不同时,扩散电流即外电路电流扩散电流即外电路电流的大小也就不同。所以的大小也就不同。所以PN结两侧堆积的多子的结两侧堆积的多子的浓度梯度分布也不同,浓度梯度分布也不同,这就相当电容的充放电这就相当电容的充放电过程。势垒电容和扩散过程。势垒电容和扩散电容均是非线性电容。电容均是非线性电容。扩散电容示意图PN结在反偏时
24、主要考虑结在反偏时主要考虑势垒电容。势垒电容。PN结在正偏时主要考虑扩散结在正偏时主要考虑扩散电容。电容。301.2.1 1.2.1 半导体二极管的结构类型半导体二极管的结构类型 在在PN结上加上引线和封装,就成为一个二极结上加上引线和封装,就成为一个二极管。二极管按结构分有管。二极管按结构分有点接触型、面接触型和平面点接触型、面接触型和平面型型三大类。它们的结构示意图如下图所示。三大类。它们的结构示意图如下图所示。(1)点接触型二极管点接触型二极管 PN结面积小,结电容小,用于检波和变频等高频电路。点接触型二极管的结构示意图31二极管的结构二极管的结构平面型(3)平面型二极管平面型二极管 往
25、往用于集成电路制造工艺中。PN 结面积可大可小,用于高频整流和开关电路中。(2)面接触型二极管面接触型二极管 PN结面积大,用于工频大电流整流电路。面接触型321.2.2 半导体二极管的伏安特性曲线半导体二极管的伏安特性曲线 半导体二半导体二极管的伏安极管的伏安特性曲线如特性曲线如图所示。处图所示。处于第一象限于第一象限的是正向伏的是正向伏安特性曲线,安特性曲线,处于第三象处于第三象限的是反向限的是反向伏安特性曲伏安特性曲线。线。33二极管的伏安特性曲线二极管的伏安特性曲线根据理论推导,二极管的伏安特性曲线可用下式表示根据理论推导,二极管的伏安特性曲线可用下式表示 式中式中IS 为反向饱和电流
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