制程测试项目及方法课件.pptx
《制程测试项目及方法课件.pptx》由会员分享,可在线阅读,更多相关《制程测试项目及方法课件.pptx(66页珍藏版)》请在淘文阁 - 分享文档赚钱的网站上搜索。
1、(1)孔径偏移度测试孔径偏移度测试 -NC目的:检测同等规格钻头、孔径大小、叠板厚度以及孔径间距的偏移度测试方法:取300*400mm基板nPNL同等板厚、钻头直径、叠板厚度一致钻孔时,区分每spindles所钻之板做代号;并区分面、中、低板按顺序检测、并记录相关数据仪器:二次元检测仪(2)吸尘器吸力测试吸尘器吸力测试-NC目的:检测吸尘器本身吸力是否达标吸尘器至钻孔机管口吸力是否达标测试方法:风速流量检测仪管控范围:吸尘器端口:1500-2000psi/15HP钻孔机吸管端口:1200-1500psi(3)孔壁粗糙度检测孔壁粗糙度检测-NC目的:检测钻头高速运转下,致使树脂纤维受热冲击过大而
2、所造成的粗糙度大小测试方法:金像显微镜管控范围:多层板粗糙度800u”双面板粗糙度1200u”(1)铜厚测试)铜厚测试-电镀目的:检验基铜箔或制程孔、面铜的厚度值鉴定测试方法:孔、面铜测厚仪(2 2)PTHPTH背光测试背光测试 -电镀目的:检验PTH化学铜沉积的厚度测试方法:金像显微镜管制范围:化铜沉积厚度:20-40u”(3)化铜自动添加泵流量测试)化铜自动添加泵流量测试-电镀目的:确保化铜A、B液添加比例相等,避免药水添加不平衡而失调,导致背光异常测试方法:取500mL容量的两量杯,分别将A、B液两输液管同时放入烧杯内打开自动添加控制器并计时,待运行10sec后,关闭添加器观察两容量是否
3、相等(4)蚀铜速率测试)蚀铜速率测试-电镀目的:检验蚀刻液咬铜处理量,测定每分钟咬铜的质量(g/min)测试方法:取10*10cm基板,温度150,烘烤10min;称其重量W1打开输送、喷淋,1min穿过蚀刻段,确认蚀刻段长度S温度150,烘烤10min;称其重量W2计算:(W1-W2)/1min=Xg/min(5)蚀刻均匀性测试)蚀刻均匀性测试-电镀目的:检测蚀刻段上下喷淋所咬铜量否均匀一致,而可确认校正上下喷淋压力值测试方法:取400*500mm基板打开蚀刻机输送(速度8.0m/min)将其基板过两段喷淋用孔、面铜测厚仪测量该基板上下两面厚度,并计算其差异值(6)电流均匀性测试)电流均匀性
4、测试-电镀目的:确保各阴极板电流承受均匀,提高镀铜层均匀度测试方法:钳表测量仪(7)挂具导电性测试)挂具导电性测试-电镀目的:检测各挂具导电性是否良好,确保所生产品质正常测试方法:钳表测量仪或用万能表检测其挂具阻值,阻值3(8)蚀刻因子测试)蚀刻因子测试-电镀目的:检验侧蚀大小,确保蚀刻之品质测试方法:取蚀刻后之板,切取线路部位并做切片分析(与线路纵向打磨抛光)观察线路两侧凹陷度仪器:金像显微镜管控范围:2XYYX(9)水平机水平测试)水平机水平测试-电镀目的:检验水平机传动是否正常,确保无卡板及叠板现象测试方法:取5PNL同等大小基板过水平机(只打开输送)用刻度尺确认该5PNL在水平机入口前
5、后左右间距用刻度尺确认该5PNL板在水平机出口间距,确认入口与出口之板所测量数据是否相等(10)(10)振动频率及振幅振动频率及振幅 -电镀电镀目的:检测振动马达本身频率及振幅,能有效驱超气泡及提高贯孔性测试方法:振动分析仪管制范围:频率40HZ,振幅:0.3mm以(11)11)除胶渣速率除胶渣速率 -电镀电镀目的:检测Desmear除胶效果,确保化铜沉积,不宜导致内开(OPEN)测试方法:取一块10*10cm的光板,在150烤箱中烘烤5min用电子天平称其重量w1,用绳子把实验板绑在飞靶上,过Desmear流程用烤箱150烘烤5min,称其重量w2计算公式:(w1-w2)/100/2=除胶渣
6、速率标准范围:0.15-0.3mg/cm3(12)(12)沉积速率沉积速率 -电镀电镀目的:检测化铜槽沉积效果,确保背光正常测试方法:取一块10*10cm的光板,在150烤箱中烘烤5min用电子天平称其重量w1,用绳子把实验板绑在飞靶上,过PTH流程用150烤箱中烘烤5min,称其重量w2计算公式:(w2-w1)/8.96/100/2*400000管制范围:15-30U”(13)(13)微蚀速率微蚀速率 -电镀电镀目的:铜箔表面处理,使其表面产生细密凹凸状,增强铜层的附着力测试方法:取一块10*10cm的光板,在150烤箱中烘烤5min用电子天平称其重量w1,用绳子把实验板绑在飞靶上,从平整到
7、微蚀槽流程用烤箱150烘烤5min,称其重量w2计算公式:(w1-w2)/8.96/100/2*400000管制范围:20-40U”(14)(14)镀铜均匀性测试镀铜均匀性测试 -电镀电镀目的:有效铜面达到均一效果,提高本身制程能力,满足客户要求测试方法:选取1PNL镀完CuI、CuII之板用孔面铜测厚测仪测量,分别测其板高低电流区各5个点的值计算方法:(最大值-5个点的平均值)/平均值(15)(15)镀铜延展性测试镀铜延展性测试 -电镀电镀目的:检测镀铜的密疏性测试方法:选取300*300mm钢板置于铜槽电镀30min用剥离器将钢板所镀之铜完整剥离用延展性测试仪测试(16 16)哈氏()哈氏
8、(HULLHULL)实验)实验 -电镀电镀目的:分析电镀液光剂含量方法:取电镀液267ml,置于哈氏槽内打开整流器电源、接通打气端口插入哈氏片(确保哈氏干净),接通阴阳电源;铜光剂分析用2A电流,锡光剂分析用1A电流,电镀5min观察哈氏片光量度贯穿力(贯穿力(throughing power)throughing power)-电镀电镀目的:PTH、CuI、CuII不同纵横比药水穿透力测试,确认孔壁厚度层达到标准要求测试方法:取其同等大小基板(350*400mm)分不同板厚、不同孔径经过以上3个流程做测试(孔面铜测厚仪)基板削铜法基板削铜法 -电镀目的:改善细线路板在投料生产前,做基板削铜处
9、理,提升蚀刻制程能力测试方法:电镀削铜机处理(1)(1)密合度测试密合度测试 -D/F目的:检测热压轮的平整度及水平效果测试方法:取三张同样宽度的纸条(宽5cm)水平放于两热压轮之间热压轮压力调节归于零点用均等力度抽取三张纸条(观察其效果)(2)干膜附着力)干膜附着力 -D/F目的:检测干膜与铜面的附着性测试方法:被压好干膜之板,静墨15min用3M胶带拉板面(观察有无脱落)(3)压膜机水平测试)压膜机水平测试 -D/F目的:检测压膜机热压轮安装后的水平调试测试方法:用一张白纸平整放置过压膜机,当白纸压膜后,看是否有起皱及偏斜现象(4)曝光能量测试)曝光能量测试 -D/F目的:确认曝光能量是否
10、达到SOP规定范围,确保无曝光不良及曝光过度之现象测试方法:用21格曝光尺放在1PNL干、湿膜板面,曝光显影后看板面曝光刻度值(5)水破试验)水破试验 -D/F目的:检测磨刷后之板干净状况测试方法:用约400*350mm的基板打开磨刷机所有控制开关,让板正常磨刷双手拿板边,让板子倾斜45左右,水在板面涂布均匀后观察其结果(水破开时间)管制范围:水破时间132sec(6)刷痕试验)刷痕试验 -D/F目的:检测磨板后铜面粗糙度,增强其感光膜及铜箔的附着力测试方法:打开输送,让其基板停留于1#磨刷轮中间打开磨刷轮停留动作5sec,关闭磨刷轮另外三支刷轮按以上2种方法逐步试验管制范围:刷痕132mm(
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词:
- 测试 项目 方法 课件
限制150内