传感器原理--温传感器课件.pptx
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1、第三章第三章 温度传感器温度传感器 第一节第一节 概概 论论 第二节第二节 热电偶温度传感器热电偶温度传感器 第三节第三节 热敏电阻温度传感器热敏电阻温度传感器 第四节第四节 集成温度传感器集成温度传感器 第五节第五节 其他温度传感器其他温度传感器通过本章的学习了解温度传感器的作用、地位、分类和通过本章的学习了解温度传感器的作用、地位、分类和发展趋势;掌握热电偶三定律及相关计算;掌握热敏电发展趋势;掌握热电偶三定律及相关计算;掌握热敏电阻不同类型的特点及应用场合;掌握集成温度传感器使阻不同类型的特点及应用场合;掌握集成温度传感器使用方法;了解其他温度传感器工作原理。用方法;了解其他温度传感器工
2、作原理。第一节第一节 概概 论论 温温度度传传感感器器是是实实现现温温度度检检测测和和控控制制的的重重要要器器件件。在在种种类类繁繁多多的的传传感感器器中中,温温度度传传感感器器是是应应用用最最广广泛泛、发发展展最最快快的传感器之一。的传感器之一。l温度是与人类生活息息相关的物理量。温度是与人类生活息息相关的物理量。l在在2000多年前,就开始为检测温度进行了各种努力,多年前,就开始为检测温度进行了各种努力,并开始使用温度传感器检测温度。并开始使用温度传感器检测温度。l人类社会中,工业、农业、商业、科研、国防、医学人类社会中,工业、农业、商业、科研、国防、医学及环保等部门都与温度有着密切的关系
3、。及环保等部门都与温度有着密切的关系。l工业生产自动化流程工业生产自动化流程,温度测量点要占全部测量点的一温度测量点要占全部测量点的一半左右。半左右。温度是反映物体冷热状态的物理参数。温度是反映物体冷热状态的物理参数。因此,人类离不开温度,当然也离不开温度传感器。因此,人类离不开温度,当然也离不开温度传感器。一、温度的基本概念一、温度的基本概念热平衡:温度是描述热平衡系统冷热程度的物理量。热平衡:温度是描述热平衡系统冷热程度的物理量。分子物理学:温度反映了物体内部分子无规则运动的剧分子物理学:温度反映了物体内部分子无规则运动的剧烈程度。烈程度。能量:温度是描述系统不同自由度间能量分配状况的物能
4、量:温度是描述系统不同自由度间能量分配状况的物理量。理量。表示温度大小的尺度是温度的标尺,简称温标。表示温度大小的尺度是温度的标尺,简称温标。u热力学温标热力学温标u国际实用温标国际实用温标u摄氏温标摄氏温标u华氏温标华氏温标如如果果在在式式中中再再规规定定一一个个条条件件,就就可可以以通通过过卡卡诺诺循循环环中中的的传传热热量量来来完完全全地地确确定定温温标标。1954年年,国国际际计计量量会会议议选选定定水水的的三三相相点点为为273.16,并并以以它它的的1/273.16定定为为一一度度,这样热力学温标就完全确定了,即这样热力学温标就完全确定了,即T=273.16(Q1/Q2)。1848
5、年年威威廉廉汤汤姆姆首首先先提提出出以以热热力力学学第第二二定定律律为为基基础础,建建立立温温度度仅仅与与热热量量有有关关,而而与与物物质质无无关关的的热热力力学学温温标标。因因是是开开尔尔文文总总结结出出来来的的,故故又又称称开开尔尔文文温温标标,用用符符号号K表表示。它是国际基本单位制之一示。它是国际基本单位制之一。根根据据热热力力学学中中的的卡卡诺诺定定理理,如如果果在在温温度度T1的的热热源源与与温温度度为为T2的冷源之间实现了卡诺循环,则存在下列关系式的冷源之间实现了卡诺循环,则存在下列关系式1 1热力学温标热力学温标Q1热源给予热机的传热量热源给予热机的传热量Q2热机传给冷源的传热
6、量热机传给冷源的传热量为为解解决决国国际际上上温温度度标标准准的的同同意意及及实实用用问问题题,国国际际上上协协商商决决定定,建建立立一一种种既既能能体体现现热热力力学学温温度度(即即能能保保证证一一定定的的准准确确度度),又又使使用用方方便便、容容易易实实现现的的温温标标,即即国国际际实实用用温温标标InternationalPracticalTemperatureScaleof1968(简称简称IPTS-68),又称国际温标。,又称国际温标。2 2国际实用温标国际实用温标注意:摄氏温度的分度值与开氏温度分度值相同,即温注意:摄氏温度的分度值与开氏温度分度值相同,即温度间隔度间隔1K=1。T
7、0是在标准大气压下冰的融化温度,是在标准大气压下冰的融化温度,T0=273.15K。水的三相点温度比冰点高出。水的三相点温度比冰点高出0.01K。1968年国际实用温标规定热力学温度是基本温度,用年国际实用温标规定热力学温度是基本温度,用t表示,其单位是开尔文,符号为表示,其单位是开尔文,符号为K。1K定义为水三相点定义为水三相点热力学温度的热力学温度的1/273.16,水的三相点是指纯水在固态、,水的三相点是指纯水在固态、液态及气态三项平衡时的温度,热力学温标规定三相点液态及气态三项平衡时的温度,热力学温标规定三相点温度为温度为273.16K,这是建立温标的惟一基准点。,这是建立温标的惟一基
8、准点。3 3摄氏温标摄氏温标是是工工程程上上最最通通用用的的温温度度标标尺尺。摄摄氏氏温温标标是是在在标标准准大大气气压压(即即101325Pa)下下将将水水的的冰冰点点与与沸沸点点中中间间划划分分一一百百个个等等份份,每每一一等等份份称称为为摄摄氏氏一一度度(摄摄氏氏度度,),一一般般用用小小写写字字母母t表示。与热力学温标单位开尔文并用。表示。与热力学温标单位开尔文并用。摄氏温标与国际实用温标温度之间的关系如下:摄氏温标与国际实用温标温度之间的关系如下:4 4华氏温标华氏温标目前已用得较少,它规定在标准大气压下冰的融点为目前已用得较少,它规定在标准大气压下冰的融点为32华氏度,水的沸点为华
9、氏度,水的沸点为212华氏度,中间等分为华氏度,中间等分为180份,份,每一等份称为华氏一度,符号用每一等份称为华氏一度,符号用,它和摄氏温度的关,它和摄氏温度的关系如下:系如下:T=t+273.15 Kt=T-273.15 m=1.8n+32 n=5/9(m-32)二、温度传感器的特点与分类二、温度传感器的特点与分类u随物体的热膨胀相对变化而引起的体积变化;随物体的热膨胀相对变化而引起的体积变化;u蒸气压的温度变化;蒸气压的温度变化;u电极的温度变化电极的温度变化u热电偶产生的电动势;热电偶产生的电动势;u光电效应光电效应u热电效应热电效应u介电常数、导磁率的温度变化;介电常数、导磁率的温度
10、变化;u物质的变色、融解;物质的变色、融解;u强性振动温度变化;强性振动温度变化;u热放射;热放射;u热噪声。热噪声。1 1 温度传感器的物理原理温度传感器的物理原理(11)(11)l特性与温度之间的关系要适中,并容易检特性与温度之间的关系要适中,并容易检 测和处理,测和处理,且随温度呈线性变化;且随温度呈线性变化;l除温度以外,特性对其它物理量的灵敏度要低;除温度以外,特性对其它物理量的灵敏度要低;l特性随时间变化要小;特性随时间变化要小;l重复性好,没有滞后和老化;重复性好,没有滞后和老化;l灵敏度高,坚固耐用,体积小,对检测对象的影响灵敏度高,坚固耐用,体积小,对检测对象的影响要小;要小
11、;l机械性能好,耐化学腐蚀,耐热性能好;机械性能好,耐化学腐蚀,耐热性能好;l能大批量生产,价格便宜;能大批量生产,价格便宜;l无危险性,无公害等。无危险性,无公害等。2.2.温度传感器应满足的条件温度传感器应满足的条件3.3.温度传感器的种类及特点温度传感器的种类及特点l接触式温度传感器接触式温度传感器l 非接触式温度传感器非接触式温度传感器接触式温度传感器的特点:传感器直接与被测物体接触接触式温度传感器的特点:传感器直接与被测物体接触进行温度测量,由于被测物体的热量传递给传感器,降进行温度测量,由于被测物体的热量传递给传感器,降低了被测物体温度,特别是被测物体热容量较小时,测低了被测物体温
12、度,特别是被测物体热容量较小时,测量精度较低。因此采用这种方式要测得物体的真实温度量精度较低。因此采用这种方式要测得物体的真实温度的前提条件是被测物体的热容量要足够大。的前提条件是被测物体的热容量要足够大。非接触式温度传感器主要是利用被测物体热辐射而发出非接触式温度传感器主要是利用被测物体热辐射而发出红外线,从而测量物体的温度,可进行遥测。其制造成红外线,从而测量物体的温度,可进行遥测。其制造成本较高,测量精度却较低。优点是:不从被测物体上吸本较高,测量精度却较低。优点是:不从被测物体上吸收热量;不会干扰被测对象的温度场;连续测量不会产收热量;不会干扰被测对象的温度场;连续测量不会产生消耗;反
13、应快等。生消耗;反应快等。物物理理现现象象体积热膨胀体积热膨胀电阻变化电阻变化温差电现象温差电现象导磁率变化导磁率变化电容变化电容变化压电效应压电效应超声波传播速度变化超声波传播速度变化物质物质颜色颜色PN结电动势结电动势晶体管特性变化晶体管特性变化可控硅动作特性变化可控硅动作特性变化热、光辐射热、光辐射种种类类铂测温电阻、热敏电阻铂测温电阻、热敏电阻热电偶热电偶BaSrTiO3陶瓷陶瓷石英晶体振动器石英晶体振动器超声波温度计超声波温度计示温涂料示温涂料液晶液晶半导体二极管半导体二极管晶体管半导体集成电路温度传感器晶体管半导体集成电路温度传感器可控硅可控硅辐射温度传感器辐射温度传感器光学高温计
14、光学高温计1.气体温度计气体温度计2.玻璃制水银温度计玻璃制水银温度计3.玻璃制有机液体温度计玻璃制有机液体温度计4.双金属温度计双金属温度计5.液体压力温度计液体压力温度计6.气体压力温度计气体压力温度计1热铁氧体热铁氧体2Fe-Ni-Cu合金合金热电偶、测温电阻器、热敏电阻、感温铁氧体、石英晶体振热电偶、测温电阻器、热敏电阻、感温铁氧体、石英晶体振动器、双金属温度计、压力式温度计、玻璃制温度计、辐射动器、双金属温度计、压力式温度计、玻璃制温度计、辐射传感器、晶体管、二极管、半导体集成电路传感器、可控硅传感器、晶体管、二极管、半导体集成电路传感器、可控硅分分类类特特征征传传感感器器名名称称超
15、高温用超高温用传感器传感器1500以上以上光学高温计、辐射传感器光学高温计、辐射传感器高温用高温用传感器传感器10001500光学高温计、辐射传感器、光学高温计、辐射传感器、热电偶热电偶中高温用中高温用传感器传感器5001000光学高温计、辐射传感器、光学高温计、辐射传感器、热电偶热电偶中温用中温用传感器传感器0500低温用低温用传感器传感器-2500极低温用极低温用传感器传感器-270-250BaSrTiO3陶瓷陶瓷晶体管、热敏电阻、晶体管、热敏电阻、压力式玻璃温度计压力式玻璃温度计见表下内容见表下内容测测温温范范围围温度传感器分类温度传感器分类(1)分分类类特特征征传传感感器器名名称称测温
16、范围宽、测温范围宽、输出小输出小测温电阻器、晶体管、热电偶测温电阻器、晶体管、热电偶半导体集成电路传感器、半导体集成电路传感器、可控硅、石英晶体振动器、可控硅、石英晶体振动器、压力式温度计、玻璃制温度计压力式温度计、玻璃制温度计线性型线性型测温范围窄、测温范围窄、输出大输出大热敏电阻热敏电阻指数型指数型函数函数开关型开关型特性特性特定温度、特定温度、输出大输出大感温铁氧体、双金属温度计感温铁氧体、双金属温度计测测温温特特性性温度传感器分类温度传感器分类(2)分分类类特特征征传传感感器器名名称称测定精度测定精度0.10.5铂测温电阻、石英晶体振动铂测温电阻、石英晶体振动器、玻璃制温度计、气体温器
17、、玻璃制温度计、气体温度计、光学高温计度计、光学高温计温度温度标准用标准用测定精度测定精度0.55热热电电偶偶、测测温温电电阻阻器器、热热敏敏电电阻阻、双双金金属属温温度度计计、压压力力式式温温度度计计、玻玻璃璃制制温温度度计计、辐辐射射传传感感器器、晶晶体体管管、二二极极管管、半半导导体集成电路传感器、可控硅体集成电路传感器、可控硅绝对值绝对值测定用测定用管理温度管理温度测定用测定用相对值相对值15测测定定精精度度温度传感器分类温度传感器分类(3)此外,还有此外,还有微波测温温度传感器、噪声测温微波测温温度传感器、噪声测温温度传感器、温度图测温温度传感器、热流计、温度传感器、温度图测温温度传
18、感器、热流计、射流测温计、核磁共振测温计、穆斯保尔效应测射流测温计、核磁共振测温计、穆斯保尔效应测温计、约瑟夫逊效应测温计、低温超导转换测温温计、约瑟夫逊效应测温计、低温超导转换测温计、光纤温度传感器计、光纤温度传感器等。这些温度传感器有的已等。这些温度传感器有的已获得应用,有的尚在研制中。获得应用,有的尚在研制中。公公元元1600年年,伽伽里里略略研研制制出出气气体体温温度度计计。一一百百年年后后,研研制制成成酒酒精精温温度度计计和和水水银银温温度度计计。随随着着现现代代工工业业技技术术发发展展的的需需要要,相相继继研研制制出出金金属属丝丝电电阻阻、温温差差电电动动式式元元件件、双双金金属属
19、式式温温度度传传感感器器。1950年年以以后后,相相继继研研制制成成半半导导体体热热敏敏电电阻阻器器。最最近近,随随着着原原材材料料、加加工工技技术术的的飞速发展、又陆续研制出各种类型的温度传感器。飞速发展、又陆续研制出各种类型的温度传感器。三、温度传感器的发展概况三、温度传感器的发展概况接触式温度传感器接触式温度传感器非接触式温度传感器非接触式温度传感器1常用热电阻常用热电阻范范围围:-260850;精精度度:0.001。改改进进后后可可连连续工作续工作2000h,失效率小于,失效率小于1,使用期为,使用期为10年。年。2管管缆缆热热电电阻阻测测温温范范围围为为-20500,最最高高上上限限
20、为为1000,精度为,精度为0.5级。级。()接触式温度传感器()接触式温度传感器3陶陶瓷瓷热热电电阻阻测测量量范范围围为为200+500,精精度度为为0.3、0.15级。级。4超超低低温温热热电电阻阻两两种种碳碳电电阻阻,可可分分别别测测量量268.8253-272.9272.99的温度。的温度。5热热敏敏电电阻阻器器适适于于在在高高灵灵敏敏度度的的微微小小温温度度测测量量场场合合使使用。经济性好、价格便宜。用。经济性好、价格便宜。l l辐辐射射高高温温计计用用来来测测量量1000以以上上高高温温。分分四四种种:光学高温计、比色高温计、辐射高温计和光电高温计。光学高温计、比色高温计、辐射高温
21、计和光电高温计。2 2光光谱谱高高温温计计前前苏苏联联研研制制的的YCII型型自自动动测测温温通通用用光光谱谱高高温温计计,其其测测量量范范围围为为4006000,它它是是采采用用电电子子化化自动跟踪系统自动跟踪系统,保证有足够准确的精度进行自动测量。保证有足够准确的精度进行自动测量。(二)非接触式温度传感器(二)非接触式温度传感器3 3超超声声波波温温度度传传感感器器特特点点是是响响应应快快(约约为为10ms左左右右),方向性强。目前国外有可测到方向性强。目前国外有可测到5000 的产品。的产品。4 4激激光光温温度度传传感感器器适适用用于于远远程程和和特特殊殊环环境境下下的的温温度度测测量
22、量。如如NBS公公司司用用氦氦氖氖激激光光源源的的激激光光做做光光反反射射计计可可测测很很高高的的温温度度,精精度度为为1。美美国国麻麻省省理理工工学学院院正正在在研研制制一一种种激激光光温温度度计计,最最高高温温度度可可达达8000,专专门门用用于于核核聚聚变变研研究究。瑞瑞士士BrowaBorer研研究究中中心心用用激激光光温温度度传传感感器器可测几千开可测几千开(K)的高温。的高温。1超超高高温温与与超超低低温温传传感感器器,如如+3000以以上上和和250以下的温度传感器。以下的温度传感器。2提高温度传感器的精度和可靠性。提高温度传感器的精度和可靠性。3研研制制家家用用电电器器、汽汽车
23、车及及农农畜畜业业所所需需要要的的价价廉廉的的温温度传感器。度传感器。4发发展展新新型型产产品品,扩扩展展和和完完善善管管缆缆热热电电偶偶与与热热敏敏电电阻阻;发发展展薄薄膜膜热热电电偶偶;研研究究节节省省镍镍材材和和贵贵金金属属以以及及厚厚膜膜铂铂的的热热电电阻阻;研研制制系系列列晶晶体体管管测测温温元元件件、快快速速高高灵灵敏敏CA型热电偶以及各类非接触式温度传感器。型热电偶以及各类非接触式温度传感器。5发展适应特殊测温要求的温度传感器。发展适应特殊测温要求的温度传感器。6发展数字化、集成化和自动化的温度传感器发展数字化、集成化和自动化的温度传感器。(三)温度传感器的主要发展方向(三)温度
24、传感器的主要发展方向热电偶是目前温度测量中使用最普遍的传感元件热电偶是目前温度测量中使用最普遍的传感元件之一。结构简单,测量范围宽、准确度高、热惯性小,之一。结构简单,测量范围宽、准确度高、热惯性小,输出信号为电信号输出信号为电信号,还用来测量,还用来测量流体的温度流体的温度、测量、测量固固体以及固体壁面的温度体以及固体壁面的温度。微型热电偶还可用于微型热电偶还可用于快速及动态温度快速及动态温度的测量。的测量。第二节第二节 热电偶温度传感器热电偶温度传感器热电偶的工作原理热电偶的工作原理热电偶回路的性质热电偶回路的性质热电偶的常用材料与结构热电偶的常用材料与结构冷端处理及补偿冷端处理及补偿各种
25、热电偶各种热电偶先看一个实验先看一个实验热电偶工作原理演示热电偶工作原理演示结论:当两个结点温度不相同时,回路中将产生电动势。结论:当两个结点温度不相同时,回路中将产生电动势。热电极热电极A A右端:右端:自由端自由端参考端参考端冷端冷端一、一、热电偶的工作原理热电偶的工作原理左端:左端:测量端测量端工作端工作端热端热端热电极热电极B B热电势热电势AB从实验到理论:从实验到理论:热电效应热电效应1821年年,德德国国物物理理学学家家西西拜拜克克用用两两种种不不同同金金属属组组成成闭闭合合回回路路,并并用用酒酒精精灯灯加加热热其其中中一一个个接接触触点点(称称为为结结点点),发发现现放放在在回
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