大气多页实用商务ppt课件.ppt
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1、http:/ APPENDIX 1.2.3.4.5.Chapter 1在整堂课的教学中,刘教师总是让学生带着问题来学习,而问题的设置具有一定的梯度,由浅入深,所提出的问题也很明确41-1 (02.3Q ,)在整堂课的教学中,刘教师总是让学生带着问题来学习,而问题的设置具有一定的梯度,由浅入深,所提出的问题也很明确51-2 Furnace CVD 93 92 DRAM 193 Memory 1 95%在整堂课的教学中,刘教师总是让学生带着问题来学习,而问题的设置具有一定的梯度,由浅入深,所提出的问题也很明确6(Oxidation)(Oxidation)(Exposure)(Development
2、)(Etching)(CVD)(CVD)(PR)Wafer Source Gas Wafer 1-3 Wafer Wafer(Fabrication)(Packaging)(Test)在整堂课的教学中,刘教师总是让学生带着问题来学习,而问题的设置具有一定的梯度,由浅入深,所提出的问题也很明确71-4 ALD(Atomic Layer Deposition)-Al2 2O3 3/HfO2 2 -Nitride(Si3 3N4 4)-Oxide(SiO2 2)Batch TypeMMT(Modified Magnetron Type)-Stack Gate (Nitridation,Oxidati
3、on)Single TypeFurnace&CVDFurnace&CVD 200mm/300mm Wafer Furnace/CVD TAT(Turn Around Time)Wafer 1 Single Type RTP(Rapid Thermal Process)Ruthenium,High-k Ta2O5 Batch50150 Wafer Batch Type Oxide,Nitride,Anneal,D-PolyHTO(High Temperature Oxide)Alloy,BPSG reflow 在整堂课的教学中,刘教师总是让学生带着问题来学习,而问题的设置具有一定的梯度,由浅入深
4、,所提出的问题也很明确81-5 A/S,Total Service 200mm/300mm Diffusion Furnace&LP-CVD,LP-OXIDATION,ALD :63%,:9%:15%Set-up A/S :13%(2002(2002 3 3 )Chapter 21.2.3.在整堂课的教学中,刘教师总是让学生带着问题来学习,而问题的设置具有一定的梯度,由浅入深,所提出的问题也很明确10(:WSTS 2002.5,Data Quest 2002.7):WSTS 2002.5,Data Quest 2002.7)(B$)(B$)204204149149353562622-1 Fur
5、nace&CVD 0102 03 -2003 1220%,916%-DRAM,PC,2003 Furnace&CVD -70%-Furnace&CVD 20%(:Data Book 2001)(M$)(M$)5,2432,675397755在整堂课的教学中,刘教师总是让学生带着问题来学习,而问题的设置具有一定的梯度,由浅入深,所提出的问题也很明确112-2 ()()(:03.01 03.01 )03 IT,PC,22%($1,422$1,731,$309)03 .-300 Wafer Line -System LSI Line -03 5 53.63.64 43 3,LCD,Utility 0
6、3 12.4%(2001)-6.8%,36.1%,11.0%1,3241,32416316312.312.31,2611,26190907.17.12,1732,17321921910.110.11,0971,09717017015.515.5781781818110.410.4(%)%)02(F)02(F)0101000099999898(:)(%)(%)(:2002)2002)(M$)(M$)2,9381,3501,9334,0292,0452,21712.4%12.4%17.8%17.8%0510152025在整堂课的教学中,刘教师总是让学生带着问题来学习,而问题的设置具有一定的梯度,由
7、浅入深,所提出的问题也很明确122-3 (,)300mm Furnace&CVD 35%17%9%T 39%200mm Furnace&CVD 49%11%3%T 37%Chapter 31.Trend2.3.4.R&D 5.6.在整堂课的教学中,刘教师总是让学生带着问题来学习,而问题的设置具有一定的梯度,由浅入深,所提出的问题也很明确143-1 Trend (Maker)(Device Maker)(Maker)(Device Maker)(:+)R&D Device Maker Device Maker (JDP:Joint Development Project)在整堂课的教学中,刘教师
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