热电阻式传感器课件.ppt

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1、6.2 热电阻式传感器6.2.1金属热电阻金属热电阻6.2.2半导体热敏电阻半导体热敏电阻6.2.3热电阻式传感器的应用热电阻式传感器的应用n利利用用导导体体或或半半导导体体材材料料的的电电阻阻率率随随温温度度变变化化的的特特性制成的传感器叫做热电阻式传感器。性制成的传感器叫做热电阻式传感器。n应用：应用：对温度和与温度有关的参量进行检测。对温度和与温度有关的参量进行检测。n测测温温范范围围：中中、低低温温区区域域（-200650）。低低温温方方面面也也应应用用于于1K3K的的温温度度测测量量，高高温温也也有有用于用于10001300n测测温温元元件件可可分分为为金金属属热热电电阻阻和和半半导

2、导体体热热敏敏电电阻阻两两大类。大类。6.2.1金属热电阻金属热电阻热电阻电阻体（最主要部分）绝缘套管接线盒热电阻电阻体（最主要部分）绝缘套管接线盒作为热电阻的材料要求：作为热电阻的材料要求：电阻温度系数要大，以提高热电阻的灵敏度；电阻温度系数要大，以提高热电阻的灵敏度；电阻率尽可能大，以便减小电阻体尺寸；电阻率尽可能大，以便减小电阻体尺寸；热容量要小，以便提高热电阻的响应速度；热容量要小，以便提高热电阻的响应速度；在测量范围内，应具有稳定的物理和化学性能；在测量范围内，应具有稳定的物理和化学性能；电阻与温度的关系最好接近于线性；电阻与温度的关系最好接近于线性；应有良好的可加工性，且价格便宜。

3、应有良好的可加工性，且价格便宜。使用最广泛的热电阻材料是铂和铜。使用最广泛的热电阻材料是铂和铜。1.1.常用热电阻常用热电阻铂热电阻铂热电阻主主要要作作为为标标准准电电阻阻温温度度计计，广广泛泛应应用用于于温温度度基准、标准的传递。基准、标准的传递。铜热电阻铜热电阻测量精度要求不高且温度较低的场合，测量测量精度要求不高且温度较低的场合，测量范围一般为范围一般为50150。铂热电阻铂热电阻目前最好材料目前最好材料长长时时间间稳稳定定的的复复现现性性可可达达10-4K，是是目目前前测测温温复现性最好的一种温度计。复现性最好的一种温度计。铂电阻的精度与铂的提纯程度有关铂电阻的精度与铂的提纯程度有关百

4、度电阻比百度电阻比W（100）越越高高，表表示示铂铂丝丝纯纯度度越越高高，国国际际实实用用温温标标规规定定，作作为为基基准准器器的的铂铂电电阻阻，W（100）1.3925。目目前前技技术术水水平平已已达达到到W（100）1.3930，工工业业用用铂铂电电阻阻的的纯纯度度W（100）为为1.3871.390。铂丝的电阻值与温度之间的关系，即特性方程如下：铂丝的电阻值与温度之间的关系，即特性方程如下：当温度当温度t在在200t 0时：时：当温度当温度t在在0t 650时：时：国国内内统统一一设设计计工工业业用用标标准准铂铂电电阻阻，W（100）1.391，R0分为分为50和和100两种，分度号分别

5、为两种，分度号分别为Pt50和和Pt100。铂铂热热电电阻阻不不同同分分度度号号有有相相应应分分度度表表，即即Rt-t的的关关系系表表，这这样样在在实实际际测测量量中中，只只要要测测得得热热电电阻阻的的阻阻值值Rt，便便可可从从分分度度表表上查出对应的温度值。上查出对应的温度值。铂电阻分度表铂电阻分度表u铂铂容容易易提提纯纯，其其物物理理、化化学学性性能能在在高高温温和和氧氧化化性性介介质质中中很很稳稳定定。铂铂电电阻阻的的输输出出输输入入特特性性接接近近线线性性，且且测测量量精精度度高高，所所以以它它能能用用作作工工业业测测温温元元件件和和作作为为温度标准。温度标准。u按国际温标按国际温标I

6、PTS-68规定，在规定，在-259.34630.73温域内，以铂电阻温度计作基准器。温域内，以铂电阻温度计作基准器。铜热电阻铜热电阻n应应用用：测测量量精精度度要要求求不不高高且且温温度度较较低的场合低的场合测量范围：测量范围：50150n优优点：点：温温度度范范围围内内线线性性关关系系好好，灵灵敏敏度度比比铂铂电电阻阻高高，容容易易提提纯纯、加加工工，价价格格便便宜宜，复复制性能好。制性能好。n缺缺点：点：易易于于氧氧化化，一一般般只只用用于于150以以下下的的低低温温测测量量和没有水分及无侵蚀性介质的温度测量。和没有水分及无侵蚀性介质的温度测量。与与铂铂相相比比，铜铜的的电电阻阻率率低低

7、，所所以以铜铜电电阻阻的的体体积积较较大大。热热惯惯性性较较大大，稳稳定定性性较较差差，在在100以以上上时时容容易易氧氧化化，因因此此只只能能用用于于低低温温及及没没有有浸浸蚀蚀性性的的介质中。介质中。铜电阻的阻值与温度之间的关系为铜电阻的阻值与温度之间的关系为关系是线性的关系是线性的工工业业上上使使用用的的标标准准化化铜铜热热电电阻阻的的R0按按国国内内统统一一设设计计取取50和和100两两种种，分分度度号号分分别别为为Cu50和和Cu100，相应的分度表可查阅相关资料。，相应的分度表可查阅相关资料。铜热电阻的分度表铜热电阻的分度表分度号：分度号：Cu50温度/01020304050607

8、08090电阻/050.0047.8545.7043.5541.4039.24050.0052.1445.2856.4258.5660.7062.8464.9867.1269.2610071.4073.5475.6877.8379.9882.132.2.热电阻的结构热电阻的结构普普通通工工业业用用热热电电阻阻式式温温度度传传感感器器铜热电阻结构示意图 铂热电阻结构示意图 TSP系列铂电阻温度传感器系列铂电阻温度传感器铂金电阻温度传感器铂金电阻温度传感器Pt100核级电阻温度传感器核级电阻温度传感器 核级电阻温度传感器核级电阻温度传感器用于核电站反应堆用于核电站反应堆-回路回路的温度传感器的温度

9、传感器精精度：度：PT100，B级，级，4线制，符合线制，符合IEC751-1983包括包括1986版补遗和版补遗和1995版补遗，版补遗，允差范围允差范围（0.30+0.005t）.绝缘电阻：测试电压绝缘电阻：测试电压100VDC，施加，施加5秒绝缘电阻秒绝缘电阻大于大于100M。漂漂移：一年内在正常工作条件下，不大于移：一年内在正常工作条件下，不大于0.3。最大允许电流：小于最大允许电流：小于10mA。自自热热值：不大于值：不大于3。测量范围：测量范围：0350工作压力：工作压力：15.2MPa正常累积辐照：正常累积辐照：250KGy安全壳内事故器件累积辐照：安全壳内事故器件累积辐照：60

10、0KGyWZP系列装配式铂电阻系列装配式铂电阻及铠装电阻芯及铠装电阻芯用于一般工业场测温用于一般工业场测温使用温度-200700高强度石英管测温铂电阻高强度石英管测温铂电阻温度范围温度范围-100C至至+500C适用于镀锌锅炉、耐酸、耐适用于镀锌锅炉、耐酸、耐碱等强腐蚀场合碱等强腐蚀场合注注:不耐氢氟酸及磷酸不耐氢氟酸及磷酸精密温度传感器精密温度传感器PtWD1A型-100300误差小于0.1，精度为超A级天燃气流量计天燃气流量计温度补偿用铂电阻温度补偿用铂电阻天燃气涡轮流量计等用天燃气涡轮流量计等用油浸变压器用铂电阻油浸变压器用铂电阻医疗器械铂电阻医疗器械铂电阻薄膜铂电阻元件薄膜铂电阻元件用

11、用于汽车工业、白色家电，食品加工业、医疗行业。于汽车工业、白色家电，食品加工业、医疗行业。尺寸：尺寸：2.3mm2.1mm0.9mm（长（长宽宽高）高）线长线长10mm防水封装铂电阻防水封装铂电阻核心元件：德国进口精密铂电阻（核心元件：德国进口精密铂电阻（PT100PT1000）元件精度：元件精度：0.15(A级级)0.30(B级级)封装材料：镀镍铜管或不锈钢管封装材料：镀镍铜管或不锈钢管管料尺寸：管料尺寸：4*25mm连接线：连接线：PVC包胶电缆线（可选择耐高温型的）包胶电缆线（可选择耐高温型的）铜电阻的特点铜电阻的特点电阻率小；容易氧化；价格便宜。WZC-111/12*1000mmCu5

12、0其它热电阻其它热电阻铁铁/镍热电阻：电阻温度系数比铂和铜高，电镍热电阻：电阻温度系数比铂和铜高，电阻率也较大，可做成体积小、灵敏度高的温阻率也较大，可做成体积小、灵敏度高的温度计，但易氧化，不宜提纯且电阻与温度非度计，但易氧化，不宜提纯且电阻与温度非线性，仅用于线性，仅用于-50100；用的较少。；用的较少。铟电阻：铟电阻：-269-258；测量精度高，灵敏度；测量精度高，灵敏度高，但重现性差。高，但重现性差。锰电阻：锰电阻：-271-210；灵敏度高，但脆性高，；灵敏度高，但脆性高，易损坏；易损坏；炭电阻：炭电阻：-273-268.5；热容量小，灵敏度；热容量小，灵敏度高，价格低，易操作，

13、但热稳定性较差。高，价格低，易操作，但热稳定性较差。3.热电阻测温线路热电阻测温线路两线制n这这种种引引线线方方式式简简单单、费费用用低低，但但是是引引线线电电阻阻以以及及引引线电阻的变化会带来附加误差。线电阻的变化会带来附加误差。n两线制适于引线不长、测温精度要求较低的场合。两线制适于引线不长、测温精度要求较低的场合。n工业用热电阻安装在生产现场，而其指示或记录工业用热电阻安装在生产现场，而其指示或记录仪表安装在控制室，其间的引线很长，如果仅用仪表安装在控制室，其间的引线很长，如果仅用两根导线接在热电阻两端，导线本身的阻值必然两根导线接在热电阻两端，导线本身的阻值必然和热电阻的阻值串联在一起

14、，造成测量误差。和热电阻的阻值串联在一起，造成测量误差。n如果每根导线的阻值是如果每根导线的阻值是r，测量结构总必然含有，测量结构总必然含有2r的绝对误差。的绝对误差。n这种误差因为导线阻值这种误差因为导线阻值r随环境温度变化而很难修随环境温度变化而很难修正，注定两线制不宜在工业热电阻上应用。正，注定两线制不宜在工业热电阻上应用。三线制三线制n图图中中热热电电阻阻Rt的的三三根根连连接接导导线线直直径径和和长长度度均均相相同同，阻阻值值都都是是r。其其中中一一根根串串联联在在电电桥桥电电源源上上，对电桥平衡没有影响。对电桥平衡没有影响。n另另外外两两根根分分别别串串联联在在电电桥桥的的相相邻邻

15、两两臂臂里里，这这相相邻邻两两臂臂的的阻阻值值都增加都增加r。n当电桥平衡时，满足下式：当电桥平衡时，满足下式：用于工业测量，一般精度用于工业测量，一般精度 由上式可得由上式可得 设计电桥时，如果满足设计电桥时，如果满足R1=R2，则，则r对桥路平衡无影响对桥路平衡无影响实验室用，高精度测量实验室用，高精度测量 四线制四线制四四线线制制就就是是热热电电阻阻两两端端各各用用两两根根导导线线连连到到仪仪表表上上，一一般般使使用用直直流流电电位位差差计计作作为为指指示示或或记记录录仪仪表表。由由恒恒流流源源供供给给已已知知电电流流I流流过过热热敏敏电电阻阻Rt，使使其其产产生生压压降降U，再再用用电

16、电位差计测出位差计测出U，利用欧姆定律：，利用欧姆定律：思考：引线电阻思考：引线电阻r为什么没有影响？为什么没有影响？电流在导线上形成的压降不在测量范围内，电压导线上虽有电阻但无电流，因为电位差计测量时不取电流，所以四根导线的电阻对测量均无影响。6.2.2半导体热敏电阻半导体热敏电阻利利用用半半导导体体的的电电阻阻值值随随温温度度显显著著变变化化的的特特性性制制成成。由由金属氧化物金属氧化物和和化合物化合物按不同的配方比例按不同的配方比例烧结。烧结。优优点：点：(1)热敏电阻的温度系数比金属大（热敏电阻的温度系数比金属大（49倍）倍）(2)电电阻阻率率大大，体体积积小小，热热惯惯性性小小，适适

17、于于测测量量点点温温、表面温度及快速变化的温度。表面温度及快速变化的温度。(3)结构简单、机械性能好。结构简单、机械性能好。缺点：缺点：线性度较差，复现性和互换性较差。线性度较差，复现性和互换性较差。热敏电阻分类：热敏电阻分类：正温度系数正温度系数(PTC)负温度系数负温度系数(NTC)临界温度系数临界温度系数(CTR)热敏电阻典型特性热敏电阻典型特性PTC热敏电阻正温度系数热敏电阻正温度系数钛钛酸酸钡钡掺掺合合稀稀土土元元素素烧烧结结而而成成，当当温温度度超超过过某某一一数数值值时，其电阻值朝正的方向快速变化。时，其电阻值朝正的方向快速变化。用用途途：彩彩电电消消磁磁，各各种种电电器器设设备

18、备的的过过热热保保护护，发发热热源源的定温控制，限流元件的定温控制，限流元件。CTR热敏电阻负温度系数热敏电阻负温度系数以三氧化二钒与钡、硅等氧化物，在磷、硅氧化物的以三氧化二钒与钡、硅等氧化物，在磷、硅氧化物的弱还原气氛中混合烧结而成，在某个温度上电阻急剧变弱还原气氛中混合烧结而成，在某个温度上电阻急剧变化，具有开关特性。化，具有开关特性。用途：温度开关。用途：温度开关。NTC热敏电阻很高的负电阻温度系数热敏电阻很高的负电阻温度系数主要由主要由Mn、Co、Ni、Fe、Cu等过渡金属氧化物混合等过渡金属氧化物混合烧结而成，特别适用于烧结而成，特别适用于-100300之间测温。之间测温。应用：点

19、温、表面温度、温差、温场等测量应用：点温、表面温度、温差、温场等测量自动控制及电子线路的热补偿线路自动控制及电子线路的热补偿线路NTC热敏电阻热敏电阻1.热敏电阻的主要特性2.热敏电阻的结构3.热敏电阻的主要参数4.热敏电阻的线性化1.1.热敏电阻的主要特性热敏电阻的主要特性 温度特性 伏安特性温度特性温度特性NTC型热敏电阻，在较小的温度范围内，电阻型热敏电阻，在较小的温度范围内，电阻-温度特性温度特性式中式中RT,R0热敏电阻在绝对温度热敏电阻在绝对温度T，T0时的阻值时的阻值()；T0,T 介质的起始温度和变化温度（介质的起始温度和变化温度（K）；）；t0,t 介质的起始温度和变化温度（

20、介质的起始温度和变化温度（）；）；B热敏电阻材料常数，一般为热敏电阻材料常数，一般为20006000K，其大小取决于热敏电阻的材料。其大小取决于热敏电阻的材料。若已知两个电阻值以及相应的温度值，就可求得若已知两个电阻值以及相应的温度值，就可求得B值。值。一般取一般取20和和100时的电阻时的电阻R20和和R100计算计算B值，值，即将即将T=373K，T0=293K代入上式，则代入上式，则将将B值及值及R0=R20代入式就确定了热敏电阻的温度特性代入式就确定了热敏电阻的温度特性:B和和值值是是表表征征热热敏敏电电阻阻材材料料性性能能的的两两个个重重要要参参数数，热热敏敏电电阻阻的电阻温度系数比

21、金属丝高很多，所以它的灵敏度很高。的电阻温度系数比金属丝高很多，所以它的灵敏度很高。热敏电阻的电阻温度系数热敏电阻的电阻温度系数热敏电阻在其本身温度变化热敏电阻在其本身温度变化1时，电阻值的相对变化量时，电阻值的相对变化量伏安特性伏安特性n在稳态情况下，通过热敏电阻的电流在稳态情况下，通过热敏电阻的电流I与其两端与其两端的电压的电压U之间的关系，之间的关系，当流过热敏电阻的电流很小时当流过热敏电阻的电流很小时:不不足足以以使使之之加加热热。电电阻阻值值只只决决定定于于环环境境温温度度，伏伏安安特特性是直线，遵循欧姆定律。主要用来性是直线，遵循欧姆定律。主要用来测温测温。伏安特性伏安特性当电流增

22、大到一定值时：当电流增大到一定值时：流流过过热热敏敏电电阻阻的的电电流流使使之之加加热热，本本身身温温度度升升高高，出出现负阻特性。现负阻特性。因因电电阻阻减减小小，即即使使电电流流增增大大，端端电电压压反反而而下下降降。其其所所能能升升高高的的温温度度与与环环境境条条件件(周周围围介介质质温温度度及及散散热热条条件件)有关。有关。当当电电流流和和周周围围介介质质温温度度一一定定时时，热热敏敏电电阻阻的的电电阻阻值值取取决决于于介介质质的的流流速速、流流量量、密密度度等等散散热热条条件件。可可用用它它来来测量流体速度和介质密度测量流体速度和介质密度。2.2.热敏电阻的结构热敏电阻的结构构成：构

23、成：热敏探头、引线、壳体热敏探头、引线、壳体二端和三端器件：二端和三端器件：为为直直热热式式，即即热热敏敏电电阻阻直直接接由由连连接接的的电电路获得功率；路获得功率；四端器件：四端器件：旁热式旁热式热敏电阻的结构形式 ABS材质外壳，材质外壳，PVC导线导线,用于电冰箱、冰柜。耐腐防用于电冰箱、冰柜。耐腐防潮潮1.耗散系数：耗散系数：5mW/2.热时间常数热时间常数:10S3.测温范围测温范围:-40+110铜质外壳，铜质外壳，PVC导线，导线，用于空调、饮水机用于空调、饮水机铜制、不锈钢外壳，铜制、不锈钢外壳，PVC导线，用于热水器导线，用于热水器MZ4系列加热用系列加热用PTC热敏电阻热敏

24、电阻MZ5汽车测温用汽车测温用PTC热敏电阻热敏电阻MZ41系列卷发器用系列卷发器用PTC热敏电阻热敏电阻MZ6系列电机保护用系列电机保护用PTC热检测器热检测器3.3.热敏电阻的主要参数热敏电阻的主要参数标标称称电电阻阻值值RH在在环环境境温温度度为为250.2时时测测得得的的电电阻阻值值，又又称称冷冷电电阻阻。其其大大小小取取决决于于热热敏敏电电阻阻的的材料和几何尺寸。材料和几何尺寸。耗耗散散系系数数H指指热热敏敏电电阻阻的的温温度度与与周周围围介介质质的的温温度度相相差差1时时热热敏敏电电阻阻所所耗耗散散的的功功率率，单单位位为为W/；热热容容量量C热热敏敏电电阻阻的的温温度度变变化化1

25、所所需需吸吸收收或或释释放的热量，单位为放的热量，单位为J。能量灵敏度能量灵敏度G（W）使热敏电阻的阻值变化使热敏电阻的阻值变化1所需耗散的功率。所需耗散的功率。时时间间常常数数温温度度为为T0的的热热敏敏电电阻阻突突然然置置于于温温度度为为T 的的介介质质中中，热热敏敏电电阻阻的的温温度度增增量量T=0.63(TT0)时所需的时间。时所需的时间。额额定定功功率率PE在在标标准准压压力力（750mmHg）和和规规定定的的最最高高环环境境温温度度下下，热热敏敏电电阻阻长长期期连连续续使使用用所所允允许许的的耗耗散散功功率率，单单位位为为W。在在实实际际使使用用时时，热敏电阻所消耗的功率不得超过额

26、定功率热敏电阻所消耗的功率不得超过额定功率4.4.热敏电阻的线性化热敏电阻的线性化对热敏电阻进行线性化处理的最简单方法对热敏电阻进行线性化处理的最简单方法:用用温温度度系系数数很很小小的的精精密密电电阻阻与与热热敏敏电电阻阻串串或或并并联联构构成成电电阻阻网网络络(常常称称为为线线性性化化网网络络)代代替替单单个个热热敏敏电电阻阻，其其等等效效电电阻阻与与温温度度呈呈一一定定的的线线性关系。性关系。图图中中热热敏敏电电阻阻R Rt t与与补补偿偿电电阻阻R Rx 串串联联,串串联联后后的的等等效效电电阻阻R R=R Rt t +R Rx，只只要要R Rx 的的阻阻值值选选择择适适当当，可可使使

27、温温度度在在某某一一范范围围内内与与电电阻阻的的倒倒数数成成线线性性关关系，所以电流系，所以电流I I与温度与温度T T成线性关系。成线性关系。E ER Rx xR Rt t串联补偿电路串联补偿电路R Rx xR Rt t+R Rx xR Rt t温度温度温度温度电阻电阻电阻电阻R Rt t/R Rx xR Rx xR Rt t电阻电阻电阻电阻温度温度温度温度并联补偿电路并联补偿电路R Rx xR Rt t 图图中中热热敏敏电电阻阻Rt与与补补偿偿电电阻阻Rx并并联联，其其等等效效电电阻阻R R=Rt /Rx 。由由图图可可知知，R R与与温温度度的的关关系系曲曲线线便便显显得得比比较较平平坦

28、坦。因因此此可可以以在在某某一一温温度度范围内得到线性的输出特性。范围内得到线性的输出特性。并联在热敏电阻中的并联在热敏电阻中的R的最佳值的最佳值6.2.3热电阻式传感器的应用热电阻式传感器的应用1 1、金属热电阻传感器金属热电阻传感器 200200+500+500范围的温度测量范围的温度测量 特点：精度高、适于测低温。特点：精度高、适于测低温。2 2、半导体热敏电阻传感器半导体热敏电阻传感器应应用用范范围围很很广广，可可在在宇宇宙宙航航船船、医医学学、工工业业及及家家用用电电器器等等方方面面用用作作测测温温、控控温温、温温度度补补偿偿、流流速速测测量量、液液面指示等。面指示等。1 1、金属热

29、电阻传感器金属热电阻传感器工业广泛使用，工业广泛使用，200+500范围温度测量。范围温度测量。在在特特殊殊情情况况下下，测测量量的的低低温温端端可可达达3.4K，甚甚至至更更低，低，1K左右。高温端可测到左右。高温端可测到1000。温度测量的特点：温度测量的特点：精度高、适于测低温。精度高、适于测低温。传感器的测量电路：经常使用传感器的测量电路：经常使用电桥电桥精度较高的是自动电桥。精度较高的是自动电桥。为为消消除除由由于于连连接接导导线线电电阻阻随随环环境境温温度度变变化化而而造造成成的测量误差，常采用的测量误差，常采用三线制三线制和和四线制四线制连接法。连接法。铂测温电阻传感器铂测温电阻

30、传感器n铂测温电阻缺点铂测温电阻缺点：响应速度慢、容易破损、：响应速度慢、容易破损、难于测定狭窄位置的温度。难于测定狭窄位置的温度。n现现逐逐渐渐使使用用能能大大幅幅度度改改善善上上述述缺缺点点的的极极细细型型铠铠装装铂测温电阻，因而使应用领域进一步扩大。铂测温电阻，因而使应用领域进一步扩大。n主要应用：主要应用：钢铁、石油化工的各种工艺过程；纤钢铁、石油化工的各种工艺过程；纤维等工业的热处理工艺；食品工业的各种自动装维等工业的热处理工艺；食品工业的各种自动装置；空调、冷冻冷藏工业；宇航和航空、物化设置；空调、冷冻冷藏工业；宇航和航空、物化设备及恒温槽备及恒温槽金属丝热电阻作为气体传感器的应用

31、 1连通玻璃管连通玻璃管2流通玻璃管流通玻璃管3铂丝铂丝（a）真空度测量方法对环境温度变化比较敏感，真空度测量方法对环境温度变化比较敏感，实际应用中有恒温或温度补偿装置。可测到实际应用中有恒温或温度补偿装置。可测到133.32210-5Pa。（b）可检测管内气体介质成分比例变化、热风流速变化可检测管内气体介质成分比例变化、热风流速变化2、半导体热敏电阻传感器 温度测量 温度控制 温度补偿 流量测量温度测量温度测量热敏电阻点温计热敏电阻点温计温度控制温度控制简简易易温温度度控控制制器器温度补偿温度补偿仪仪表表中中的的电电阻阻温温度度补补偿偿电电路路金金属属一一般般具具有有正正的的温温度度系系数数，采采用用负负温温度度系系数数的的热热敏敏电电阻阻进进行行补补偿偿，可可以以抵抵消消由由于于温温度度变化所产生的误差。变化所产生的误差。流量测量流量测量利用热敏电阻上的热量消耗和介质流速的关系利用热敏电阻上的热量消耗和介质流速的关系可以测量流量、流速、风速等。可以测量流量、流速、风速等。热热敏敏电电阻阻流流量量计计