(第一章)半导体物理.ppt
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1、半导体物理学授课教师:刘晓宁授课教师:刘晓宁内容简介内容简介l半导体中的电子状态半导体中的电子状态l半导体中杂质和缺陷能级半导体中杂质和缺陷能级l半导体中载流子的统计分布半导体中载流子的统计分布l半导体的导电性半导体的导电性l非平衡载流子非平衡载流子lpnpn结结l金属和半导体的接触金属和半导体的接触l半导体表面及半导体表面及MISMIS结构结构l异质结异质结l半导体光学性质和光电与发光现象半导体光学性质和光电与发光现象 第一章第一章 半导体中的电子状态半导体中的电子状态 本本章章主主要要讨讨论论半半导导体体中中电电子子的的运运动动状状态态。介介绍绍了了半半导导体体中中能能带带的的形形成成,半
2、半导导体体中中电电子子的的状状态态和和能能带带特特点点,在在讲讲解解半半导导体体中中电电子子的的运运动动时时,引引入入了了有有效效质质量量的的概概念念。阐阐述述本本征征半半导导体体的的导导电电机机构构,引引入入了了空空穴穴的的概概念念。最最后后,介介绍绍了了SiSi、GeGe和和GaAsGaAs的能带结构。的能带结构。1 1、电子共有化运动、电子共有化运动l原子中的电子在原子核的势场和其它电子的作用下,原子中的电子在原子核的势场和其它电子的作用下,分列在不同的能级上,形成所谓分列在不同的能级上,形成所谓电子壳层电子壳层 不同支壳层的电子分别用不同支壳层的电子分别用1s;2s,2p;3s,3p,
3、3d;4s1s;2s,2p;3s,3p,3d;4s等符号表示,每一壳层等符号表示,每一壳层对应于确定的能量。对应于确定的能量。l当原子相互接近形成晶体时,不同原子的内外各电当原子相互接近形成晶体时,不同原子的内外各电子壳层之间就有了一定程度的交叠,相邻原子最子壳层之间就有了一定程度的交叠,相邻原子最外壳层交叠最多,内壳层交叠较少。外壳层交叠最多,内壳层交叠较少。1.11.1半导体中的电子状态和能带半导体中的电子状态和能带1.1.11.1.1晶体中的电子状态晶体中的电子状态原子组成晶体后,由于原子组成晶体后,由于电子壳层的交叠,电子电子壳层的交叠,电子不再完全局限在某一个不再完全局限在某一个原子
4、上,可以由一个原原子上,可以由一个原于转移到相邻的原子的于转移到相邻的原子的相同电子轨道上去,因相同电子轨道上去,因而,电子将可以在整个而,电子将可以在整个晶体中运动。这种运动晶体中运动。这种运动称为称为电子的共有化运动电子的共有化运动特点:特点:1.1.外层电子轨道重叠大,共有外层电子轨道重叠大,共有化运动显著化运动显著2.2.电子只能在能量相同的轨道电子只能在能量相同的轨道之间转移,引起相对应的共有之间转移,引起相对应的共有化化1.11.1半导体中的电子状态和能带半导体中的电子状态和能带1.1.11.1.1晶体中的电子状态晶体中的电子状态2 2、电子共有化运动使能级分裂为能带、电子共有化运
5、动使能级分裂为能带例如:两个原子例如:两个原子p 相距很远时,如同孤立原子,每个能级都有两个相距很远时,如同孤立原子,每个能级都有两个态与之相应,是二度简并的。态与之相应,是二度简并的。EAEAp 互相靠近时,原子中的电子除受本身原子的势场作互相靠近时,原子中的电子除受本身原子的势场作用,还受到另一个原子势场的作用结果每个能级都分用,还受到另一个原子势场的作用结果每个能级都分裂为二个彼此相距离很近的能级;两个原子靠得越近,裂为二个彼此相距离很近的能级;两个原子靠得越近,分裂得越厉害。分裂得越厉害。1.11.1半导体中的电子状态和能带半导体中的电子状态和能带1.1.11.1.1晶体中的电子状态晶
6、体中的电子状态分裂的能级数与支壳层的简并度有关:分裂的能级数与支壳层的简并度有关:两个原子组成晶体时两个原子组成晶体时2s2s能级分裂为二个能级;能级分裂为二个能级;2p2p能级本身是三度简并,分裂为六个能级。能级本身是三度简并,分裂为六个能级。l当当N N个个原原子子彼彼此此靠靠近近时时,原原来来分分属属于于N N个个原原子子的的相相同同的的价价电电子子能能级级必必然然分分裂裂成成属属于于整整个个晶晶体体的的N N个个能能量量稍有差别的稍有差别的能带能带。1.11.1半导体中的电子状态和能带半导体中的电子状态和能带1.1.11.1.1晶体中的电子状态晶体中的电子状态能带特点:能带特点:(1
7、1)分裂的)分裂的N N个能级组成了一个能带称为允带,个能级组成了一个能带称为允带,允带间的能量间隙称为禁带允带间的能量间隙称为禁带(2 2)内层电子受到的束缚强,共有化运动弱,)内层电子受到的束缚强,共有化运动弱,能级分裂小,能带窄;外层电子子受束缚弱,共能级分裂小,能带窄;外层电子子受束缚弱,共有化运动强,能级分裂明显,能带宽。有化运动强,能级分裂明显,能带宽。1.11.1半导体中的电子状态和能带半导体中的电子状态和能带1.1.11.1.1晶体中的电子状态晶体中的电子状态共有化状态数共有化状态数-每一个能带包含的能级数。与每一个能带包含的能级数。与孤立原子的简并度有关。孤立原子的简并度有关
8、。s s能级分裂为能级分裂为N N个能级(个能级(N N个共有化状态);个共有化状态);p p能级本身是三度简并,分裂为能级本身是三度简并,分裂为3N 3N 能级(能级(3N3N个个共有化状态)。共有化状态)。我们来观察一下金刚石型结构的价电子能带示我们来观察一下金刚石型结构的价电子能带示意图。意图。1.11.1半导体中的电子状态和能带半导体中的电子状态和能带1.1.11.1.1晶体中的电子状态晶体中的电子状态下面的能带填满了电子,它们相应于共价键上的电下面的能带填满了电子,它们相应于共价键上的电子,这个带通常称为满带(或价带);上面一个能子,这个带通常称为满带(或价带);上面一个能带是空的没
9、有电子(或含少量电子)称为导带。带是空的没有电子(或含少量电子)称为导带。1.11.1半导体中的电子状态和能带半导体中的电子状态和能带1.1.11.1.1晶体中的电子状态晶体中的电子状态1.11.1半导体中的电子状态和能带半导体中的电子状态和能带 1.1.21.1.2电子在周期场中的运动电子在周期场中的运动能带论能带论电子的运动状态电子的运动状态(1 1)孤立原子中的电子是在其原子核和其它电子的势场)孤立原子中的电子是在其原子核和其它电子的势场中运动中运动 (2 2)自由电子是在恒定为零的势场中运动)自由电子是在恒定为零的势场中运动 (3 3)晶体中的电子是在严格周期性重复排列的原子间运)晶体
10、中的电子是在严格周期性重复排列的原子间运动,它受到周期性势场的作用动,它受到周期性势场的作用绝热近似绝热近似认为晶格振动对电子运动影响很小而被忽认为晶格振动对电子运动影响很小而被忽略。就好像原子的整体运动和电子运动之间不交换能略。就好像原子的整体运动和电子运动之间不交换能量,因此可以认为原子都固定在平衡位置,形成一个量,因此可以认为原子都固定在平衡位置,形成一个周期性势能场周期性势能场单电子近似单电子近似晶体中的某一个电子是在周期性排列且晶体中的某一个电子是在周期性排列且固定不动的原子核的势场以及其它大量电子的平均势固定不动的原子核的势场以及其它大量电子的平均势场中运动,这个势场也是周期性变化
11、的,而且它的周场中运动,这个势场也是周期性变化的,而且它的周期与晶格周期相同。期与晶格周期相同。波函数波函数德布罗意假设德布罗意假设:一切微观粒子都具有波粒二象性。一切微观粒子都具有波粒二象性。自由粒子的波长、频率、动量、能量有如下关系自由粒子的波长、频率、动量、能量有如下关系 即:具有确定的动量和确定能量的自由粒子,相当即:具有确定的动量和确定能量的自由粒子,相当于频率为于频率为和波长为和波长为的平面波,二者之间的关系的平面波,二者之间的关系如同光子与光波的关系一样。如同光子与光波的关系一样。自由粒子的波函数为:自由粒子的波函数为:(r r,t)=Aexp i(,t)=Aexp i(k kr
12、 r-t)t)1.11.1半导体中的电子状态和能带半导体中的电子状态和能带 1.1.21.1.2电子在周期场中的运动电子在周期场中的运动能带论能带论l统一波和粒子的概念:用一波函数统一波和粒子的概念:用一波函数(r,t)(r,t)描写电描写电子的状态时,则波函数模的平方子的状态时,则波函数模的平方 表示表示t t时刻时刻在空间某处波的强度,或表示与在空间某处波的强度,或表示与t t时刻在空间某处时刻在空间某处单位体积内发现粒子的数目成正比,而波的强度单位体积内发现粒子的数目成正比,而波的强度为极大的地方,找到粒子的数目为极大,在波的为极大的地方,找到粒子的数目为极大,在波的强度为零的地方,找到
13、粒子的数目为零。一个粒强度为零的地方,找到粒子的数目为零。一个粒子的多次重复行为结果与大量粒子的一次行为相子的多次重复行为结果与大量粒子的一次行为相同,所以同,所以波函数模的平方表示在某处找到粒子的波函数模的平方表示在某处找到粒子的几率。几率。1.11.1半导体中的电子状态和能带半导体中的电子状态和能带 1.1.21.1.2电子在周期场中的运动电子在周期场中的运动能带论能带论l定态波函数和定态薛定谔方程定态波函数和定态薛定谔方程 若作用于粒子上的力场不随时间改变,波函数有较简若作用于粒子上的力场不随时间改变,波函数有较简单的形式:单的形式:(r r,t)=(,t)=(r r)exp(-it)e
14、xp(-it)定态波函数定态波函数(r r)为一个空间坐标函数(振幅波函数)为一个空间坐标函数(振幅波函数),整个波函数随时间的改变由整个波函数随时间的改变由exp(-it)exp(-it)因子决定。因子决定。定态薛定谔方程:定态薛定谔方程:1.11.1半导体中的电子状态和能带半导体中的电子状态和能带 1.1.21.1.2电子在周期场中的运动电子在周期场中的运动能带论能带论电子在周期场中的运动电子在周期场中的运动 考虑一维晶体中电子所遵守的薛定谔方程如下考虑一维晶体中电子所遵守的薛定谔方程如下:书中书中(1-13)(1-13)1.11.1半导体中的电子状态和能带半导体中的电子状态和能带 1.1
15、.21.1.2电子在周期场中的运动电子在周期场中的运动能带论能带论l布洛赫曾经证明,满足式布洛赫曾经证明,满足式(1-13)(1-13)的波函数一定具有的波函数一定具有如下形式:如下形式:l式中式中k k为波数,为波数,是一个与晶格同周期的周期性是一个与晶格同周期的周期性函数,即:函数,即:式中式中n n为整数,为整数,a a为晶格的周期。为晶格的周期。1.11.1半导体中的电子状态和能带半导体中的电子状态和能带 1.1.21.1.2电子在周期场中的运动电子在周期场中的运动能带论能带论书中书中(1-14)(1-14)式式(1-13)(1-13)具有式具有式(1-14)(1-14)形式的解,这一
16、结论称为布形式的解,这一结论称为布洛赫定理。具有式洛赫定理。具有式(1-14)(1-14)形式的波函数称为形式的波函数称为布洛赫布洛赫波函数波函数 晶体中的电子运动服从晶体中的电子运动服从布洛赫定理布洛赫定理:1.11.1半导体中的电子状态和能带半导体中的电子状态和能带 1.1.21.1.2电子在周期场中的运动电子在周期场中的运动能带论能带论l与自由电子相比,晶体中的电子在周期性的势场中与自由电子相比,晶体中的电子在周期性的势场中运动的波函数与自由电子波函数形式相似,不过这运动的波函数与自由电子波函数形式相似,不过这个波的振幅个波的振幅u uk k(x)(x)随随x x作周期性的变化,且变化周
17、期作周期性的变化,且变化周期与晶格周期相同。与晶格周期相同。被调幅的平面波被调幅的平面波l对于自由电子在空间各点找到电子的几率相同;而对于自由电子在空间各点找到电子的几率相同;而晶体中各点找到电子的几率具有周期性的变化规律。晶体中各点找到电子的几率具有周期性的变化规律。电子不再完全局限在某个原子上,而是进行共电子不再完全局限在某个原子上,而是进行共有化运动。外层电子共有化运动强,成为准自由电有化运动。外层电子共有化运动强,成为准自由电子。子。l布洛赫波函数中的波矢布洛赫波函数中的波矢k k与自由电子波函数中的一与自由电子波函数中的一样,描述晶体中电子的共有化运动状态。样,描述晶体中电子的共有化
18、运动状态。1.11.1半导体中的电子状态和能带半导体中的电子状态和能带 1.1.21.1.2电子在周期场中的运动电子在周期场中的运动能带论能带论1.2 1.2 克龙尼克克龙尼克-潘纳模型下的能带结构潘纳模型下的能带结构克龙尼克克龙尼克-潘纳模型一维周期性势函数潘纳模型一维周期性势函数l结论:结论:在在k=n/a处,即布里渊区边界上能量出现不连续性,处,即布里渊区边界上能量出现不连续性,形成允带和禁带;每个布里渊区对应于一个能带。形成允带和禁带;每个布里渊区对应于一个能带。E(k)是是k的周期性函数,周期为的周期性函数,周期为2/a,即:,即:E(k)=E(k+2/a),说明,说明k 和和k+2
19、/a表示相同状态。表示相同状态。只取第一布里渊区的只取第一布里渊区的k值描述电子的运动状态,其值描述电子的运动状态,其他区域移动他区域移动n2/a与第一区重合;也称第一布里渊与第一区重合;也称第一布里渊区为简约布里渊区。区为简约布里渊区。1.2 1.2 克龙尼克克龙尼克-潘纳模型下的能带结构潘纳模型下的能带结构在考虑能带结构时,只需考虑简约布里渊区,在该在考虑能带结构时,只需考虑简约布里渊区,在该区域,能量是波矢的多值函数,必须用区域,能量是波矢的多值函数,必须用En(k)标明是标明是第第n个能带。个能带。对于有边界的晶体,需考虑边界条件,根据周期性对于有边界的晶体,需考虑边界条件,根据周期性
20、边界条件,波矢只能取分立的数值,每一个能带中边界条件,波矢只能取分立的数值,每一个能带中的能级数(简约波矢数)与固体物理学原胞数的能级数(简约波矢数)与固体物理学原胞数N相等。相等。每一个能级可容纳每一个能级可容纳2个电子。个电子。能量越高的能带,其能级间距越大。能量越高的能带,其能级间距越大。1.2 1.2 克龙尼克克龙尼克-潘纳模型下的能带结构潘纳模型下的能带结构l对于有限的晶体,根据周期性边界条件,波矢对于有限的晶体,根据周期性边界条件,波矢k k只能只能取分立数值。取分立数值。对于边长为对于边长为L L的立方晶体的立方晶体lk kx x=2n=2nx x/L(n/L(nx x=0,=0
21、,1,1,2,2,)lk ky y=2n=2ny y/L(n/L(ny y=0,=0,1,1,2,2,)lk kz z=2n=2nz z/L(n/L(nz z=0,=0,1,1,2,2,)由上式可以证明每个布里渊区中有由上式可以证明每个布里渊区中有N N(其中(其中N=NN=N1 1N N2 2N N3 3)个)个k k状态(状态(N N为晶体的固体物理学原胞数)为晶体的固体物理学原胞数)1.2 1.2 克龙尼克克龙尼克-潘纳模型下的能带结构潘纳模型下的能带结构l导体、半导体、绝缘体的能带导体、半导体、绝缘体的能带 从能带论的角度来看,固体能够导电是由于在电从能带论的角度来看,固体能够导电是由
22、于在电场力作用下电子能量发生变化,从一个能级跃迁到另场力作用下电子能量发生变化,从一个能级跃迁到另一个能级上去。对于满带,能级全部为电子所占满,一个能级上去。对于满带,能级全部为电子所占满,所以满带中的电子不形成电流,对导电没有贡献;对所以满带中的电子不形成电流,对导电没有贡献;对于空的能带,由于没有电子,也同样对导电没有贡献;于空的能带,由于没有电子,也同样对导电没有贡献;而被电子部分占满的能带,在外电场作用下,电子可而被电子部分占满的能带,在外电场作用下,电子可以从电场中吸收能量跃迁到未被电子占据的能级上形以从电场中吸收能量跃迁到未被电子占据的能级上形成了电流,起导电作用。成了电流,起导电
23、作用。1.2 1.2 克龙尼克克龙尼克-潘纳模型下的能带结构潘纳模型下的能带结构l金属中,价电子占据的能带是部分占满的,所以金属是良金属中,价电子占据的能带是部分占满的,所以金属是良好的导体。好的导体。l绝缘体和半导体能带类似,在绝对零度时价带是全满的,绝缘体和半导体能带类似,在绝对零度时价带是全满的,价带之上是没有电子的空带所以不导电。但在通常温度下,价带之上是没有电子的空带所以不导电。但在通常温度下,价带顶部的少量电子可能会激发到空带底部,使原来的空价带顶部的少量电子可能会激发到空带底部,使原来的空带和价带都成为部分占满的能带,在外电场作用下这些部带和价带都成为部分占满的能带,在外电场作用
24、下这些部分占满的能带中的电子将参与导电。由于绝缘体的禁带宽分占满的能带中的电子将参与导电。由于绝缘体的禁带宽度很大,电子从价带激发到导带需要很大能量,所以通常度很大,电子从价带激发到导带需要很大能量,所以通常温度下绝缘体中激发到导带去的电子很少,导电性差;半温度下绝缘体中激发到导带去的电子很少,导电性差;半导体禁带比较小(数量级为导体禁带比较小(数量级为1eV),在通常温度下有不少),在通常温度下有不少电子可以激发到导带中去,所以导电能力比绝缘体要好。电子可以激发到导带中去,所以导电能力比绝缘体要好。1.2 1.2 克龙尼克克龙尼克-潘纳模型下的能带结构潘纳模型下的能带结构1.3 1.3 半导
25、体中电子(在外力下)的运动半导体中电子(在外力下)的运动 及有效质量及有效质量1.3.11.3.1半导体导带中半导体导带中E(k)E(k)与与k k的关系的关系l定性关系如图所示定性关系如图所示l定量关系必须找出定量关系必须找出E(k)E(k)函数函数1.3.11.3.1半导体导带底附近半导体导带底附近E E(k k)与)与k k的关系的关系l用泰勒级数展开可以近似求出极值附近的用泰勒级数展开可以近似求出极值附近的E(k)E(k)与与k k的的关系,以一维情况为例,设能带底位于关系,以一维情况为例,设能带底位于k k0 0,将,将E(k)E(k)在在k k0 0附近按泰勒级数展开,取至附近按泰
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- 第一章 半导体 物理
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