SEM-2扫毛电镜教学ppt课件.ppt

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1、火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去扫描电子显微镜 -第二部分火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去内容回顾电镜法的理论基础是研究电子与物质的相互作用。1、电子与物质的相互作用 由电子束轰击固体样品而激发产生。具一定能量的电子，入射固体样品时，与样品内原子核和核外电子发生弹性和非弹性散射，激发固体样品产生多种物理信号。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去特征特征X X射线射线火灾袭来

2、时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去 小 结火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去滴状作用体积中各种信息产生的范围滴状作用体积中各种信息产生的范围5-10nm0.5-2nm500nm-5mm火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去扫描电镜的主要性能1 1、放大倍数、放大倍数 2 2、分辨本领、分辨本领3 3、景深、景深 (20-20万倍）火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立

3、断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去 影响SEM的分辨本领的主要因素：入射电子束斑直径；入射电子束在样品中的扩展效应；操作方式及其所用的调制信号；信号噪音比；杂散磁场；机械振动将引起束斑漂流等，使分辨率下降。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去七、扫描电子显微镜的几种电子像分析七、扫描电子显微镜的几种电子像分析像衬原理 电子像明暗程度取决于电子束的强弱，当两区域中电子强度不同时将出现图像的明暗差异，这种差异就叫衬度。SEM可以通过样品上方的电子检测器检测到具有不同能量的信号电子有背散射电子、二次电子、吸收电子

4、、俄歇电子等。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去1 1、二次电子像衬度及特点、二次电子像衬度及特点 二次电子信号主要来自样品表层5-10nm深度范围，能量较低(小于50eV)。影响二次电子衬度的因素主要有：(1)表面凹凸引起形貌衬度；(2)材料的原子序数差别引起成分衬度；(3)电位差引起电压衬度；火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去二次电子像是表面形貌衬度，它是利用对样品表面形貌变化敏感的物理信号作为调节信号得到的一种像衬度。它的强度与原子序数没有明

5、确的关系，但对微区表面相对于入射电子束的方向却十分敏感，二次电子像分辨率比较高，所以适用于显示形貌衬度。注意注意注意注意在扫描电镜中，二次电子在扫描电镜中，二次电子在扫描电镜中，二次电子在扫描电镜中，二次电子检测器一般是装在入射电子束检测器一般是装在入射电子束检测器一般是装在入射电子束检测器一般是装在入射电子束轴线垂直的方向上轴线垂直的方向上轴线垂直的方向上轴线垂直的方向上。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去（一）形貌衬度 1、倾斜衬度；2、阴影衬度；3、漫射衬度；火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机

6、立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去 1、倾斜衬度 表面倾斜衬度是由样品表面被扫描部位的倾斜角对SE的产额的影响形成的。斜角越大的部位，产额则越大，SE发射数量越多，该部位的图像就越亮。为入射电子与样品表面法线之间的夹角为入射电子与样品表面法线之间的夹角火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去样品倾斜对二次电子信号的影响火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛

7、毯、湿被褥勇敢地冲出去2、阴影衬度 二次电子信号对样品表面法线的方位角（相对与探测器的方位）有依赖关系，表面突起物背后处或空洞内部位的SE信号将受到抑制，即阴影衬度。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去3、漫射衬度 通过样品表面积增大区（如突起物边缘）可使BSE和由BSE激发的SE增多，这就是与背散射有关的漫射衬度。在样品表面上突起物或台阶边缘处表现出明显的漫射衬度。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去在扫描电镜中样品表面形状的变化和二次电子数量的变化

8、在扫描电镜中样品表面形状的变化和二次电子数量的变化火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去（二）成分衬度SE本身对原子序数(Z)不敏感，但其产额随（BSE产额）增大而略有上升。当入射电子的能量小于5kev时，电子在样品中的射程已降到100nm，这时背散射电子的影响减少，所得SE能反映出表面薄层中的成分变化。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去（三）电压衬度当观察某试样时，其表面存在电位分布，正电位区发射的二次电子少，该区在图像上为暗区，而负电位区发射的二次

9、电子多，图像上形成亮区，从而形成电压衬度。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去二次电子像衬度的特点：二次电子像衬度的特点：（1）分辨率高；（2）景深大，立体感强；（3）主要反应形貌衬度。最大用处：观察断口形貌，也可用作抛光腐蚀后的金像表面及烧结样品的自然表面分析。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去2 2、背散射电子像衬度及特点、背散射电子像衬度及特点 影响背散射电子产额的因素：影响背散射电子产额的因素：(1)原子序数Z(2)入射电子能量E0(3)样品

10、倾斜角 背散电子信号既可以显示形貌衬度也可显示成分衬度火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去（一）成分衬度（一）成分衬度样品中原子序数较高的区域中由于收集到的电子束较多，故荧光屏上的图像较亮。因此可以利用原子序数造成的衬度变化对各种合金定性分析。重元素在图像上是亮区，轻元素是暗区。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去背散射系数与原子序数的关系背散射系数与原子序数的关系背散射系数与原子序数的关系背散射系数与原子序数的关系 火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥

11、而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去（二）（二）形貌衬度形貌衬度 背散射电子的发射不仅与原子序数有关，样品表面的形貌对其也有一定的影响。、样品表面不同的倾斜角会引起发射BSE数 量的不同。、由于样品表面各个微区相对于探测器的方位 不同，使收集到的背散射电子数目不同。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去背散射电子像的衬度特点：背散射电子像的衬度特点：（1）分辨率低；（2）背散射电子检测效率低，衬度小；（3）主要反映原子序数衬度。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断

12、，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去(a)(a)二次电子像二次电子像(b)(b)背散射电子像背散射电子像 火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去锡铅镀层的表面图像锡铅镀层的表面图像（a a）二次电子图像（）二次电子图像（b b）背散射电子图像）背散射电子图像ab火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去背散射电子像同二次电子像一样，其成分衬度与形貌衬度常常同时存在，粗糙表面的成分衬度往往被形貌衬度所掩盖，为避免形貌衬度的干扰，用于显示成分衬度的样品

13、，一般只需抛光，不必侵蚀。对于既要进行成分分析又要进行形貌分析的样品可采用双探头检测系统。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去背散射电子像衬度的应用背散射电子像衬度的应用 背散射电子像衬度应用最广泛的是它的成分衬度，与二次电子的形貌像（或BSE形貌相）相配合，根据BSE的原子序数衬度，可以很方便地研究元素在样品中的分布状态。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去吸收电子成像吸收电子成像吸收电子产生与背散射电子正好相反，样品原子序数越小背射电子越少，吸收电

14、子越多，反之亦然。背射电子图像上亮区在相应的吸收电子图像上必定是暗区。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去奥氏体铸铁的显微组织奥氏体铸铁的显微组织 (a)(a)背散射电子像背散射电子像(b)(b)吸收电子像吸收电子像 火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去八、影响扫描电镜图像的形成和图像质量的因素1、影响图像形成的因素：（1）倾斜角效应；（2）边缘效应；（3）原子序数效应；（4）充放电效应；（5）加速电压效应；（6）焦深。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂

15、拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去（1）倾斜角效应影响图像衬度：电子束的入射角将影响二次电子图像的衬度。（2）边缘效应 在样品边缘和尖端部位射入一次电子时，由于尖端和边缘的二次电子容易脱离样品，所以产生二次电子数量多，图惊异常明亮，称为边缘效应。边缘效应造成反差不自然，降低图像质量。若降低加速电压，减少二次电子的发生量，就可以使边缘效应相对减轻。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去（3）原子序数效应 在观察生物样品时，在样品表面均匀喷镀一层原子序数高的金属膜，可提高图像质量。（4）

16、充放电效应 生物样品大多数是高绝缘性的，入射电子不能在样品中构成回路导入大地，堆积在样品上的入射电子形成负电荷区，产生放电现象或排斥后续入射电子，严重影响二次电子图像的质量。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去（5）加速电压 用低加速电压进行高倍率观察表面显微结构时，就必须用短的工作距离和细的电子弹针。反之，加速电压愈高，电子探针越易变细，分辨率越高，适用于高倍放大图像。（6）焦点深度 焦点深度是对高低不平试样各部分聚焦的最大限度的能力，是扫描电镜中一个重要的和可控的性能指标。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财

17、物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去2 2、影响图像质量的因素：、影响图像质量的因素：（1）扫描电子束斑直径；（2）像元的数目；（3）信噪比；（4）分辨率；（5）宽容度；（6）反差；火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去（1）扫描电子束斑直径 一般认为扫描电镜能分辨的最小距离(分辨率)不可能小于扫描电子束斑直径，它主要取决于电子光学系统，尤其是电子枪的类型和性能、束流大小、末级聚光镜光阐孔径大

18、小及其污染程度等。（2）像元的数目 在实际观察中，通常扫描时间是预先规定好的，再配合改变放大器的时间常数来控制像元的数目。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去（2）像元的数目 像元：最终电子束斑和样品相互作用发射有用信号的作用区域的面积。在实际观察中，通常扫描时间是预先规定好的，再配合改变放大器的时间常数来控制像元的数目。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去（3）信号噪音比 信号强度是扫描电镜成像的关键，主要取决于入射电子能量和束流等；噪音则干扰成像，

19、使荧光屏上出现像下雪似的、时隐时现的细小亮斑点，图像变得模糊。噪音的大小主要取决于所用的检测器和样品情况等。信号噪音比越高，分辨率越高，一般要求信噪比100。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去（4）宽容度 宽容度代表能显示出图像中明暗层次差异的级数，故它是反映图像质量的重要指标之一。如果图像的原衬度效应的反差和信噪比大，则相应图像具有较大的宽容度。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去（5）操作方式及其所用的调制信号 由于各种成像操作方式所用的调制信号

20、不同，因而所得图像的分辨率也不一样。（6）杂散磁场 无论是机内的还是周围环境的杂散磁场都可能使扫描电子束形状发生畸变，改变样品发射的二次电子运动轨迹，降低图像质量，从而使分辨率下降。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去（7）机械振动 若电镜的安装环境靠近公路、工厂等，就会产生机械振动或静电场作用，将引起束斑漂移等。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去九、样品制备1 1、SEMSEM样品制备一般原则为样品制备一般原则为:A.适当的大小。B.表面导电性良好

21、，需能排除电荷。C.不得有松动的粉末或碎屑(以避免抽真空时粉末 飞扬污染镜柱体)。D.需耐热，不得有熔融蒸发的现象。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去E.不能含液状或胶状物质，以免挥发。F.非导体表面需镀金(影像观察)或镀碳(成份分 析)。G.保持样品表面的干净，干燥;H.生物样品则须经冷冻或脱水处理；火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去2 2、粉末样品制备：、粉末样品制备：粉末的量：用刮刀挑到双面导电胶（2mm宽，8mm长），均匀铺开，略压紧，多余

22、的轻叩到废 物瓶，或用洗耳球吹，后者易污染。若样品 少，用乙醇或合适溶剂分散，毛细管滴加到导 电胶上，晾干。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去 铺开程度：粉末如果均匀，很少一点足已，否 则易导致粉末在观察时剥离表面。喷金集中在 表面，下面样品导电性不佳，观察对比度差，建议采用分散方式。粘结情况：指导电胶带的粘结，对于粉末，一 般采用分散方式，但乙醇量如果比较多，会让 导电胶粘性下降。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去喷金：一般采用真空镀膜或离子溅射

23、膜的方法，使用热传导良好而且二次电子发射率高的Au,Ag,Cu,Al或碳做导电膜，膜的厚度原则上在保证导电性良好的前提下越薄越好，一般为5-20nm。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去3 3、块状样品的制备、块状样品的制备 一般金属样品不需太多处理，最多用无水乙醇擦拭一下表面，电吹风吹干。对于块状样品，主要在粘结，如果高度比较大，可用导电胶从顶端拉到底部粘结在样品座上。粘结时一定要牢，松动就会造成观察时的晃动，图像模糊。粘结的时候尽量降低样品的高度，否则喷金，观察都不利。对于韧性物体的截面，可以用液氮冷却，掰断即可，若用

24、剪刀，手术刀都容易引起拉伸变形。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去十、扫描电镜参数的选择1、加速电压选择；2、聚光镜电流的选择；3、工作距离的选择；4、物镜光阑的选择；5、扫描速度的选择。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去1加速电压选择 普通扫描电镜加速电压一般为0.530kv(通常用1020 kV左右)。应根据样品的性质、图像要求和观察倍率等来选择加速电压。对于：金相试样、断口试样等尽可能用高的加速电压。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留

25、恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去如果观察的样品是凹凸的表面或深孔，为了减 小入射电子探针的贯穿和散射体积，采用较低 的加速电压可改善 图像的清晰度。对于容易发生充电的非导体试样或容易烧伤的 生物试样，也应该采用低的加速电压。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去图 分别加速电压为1kV，10kV，30kV 的SEM 像 火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上

26、浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去2聚光镜电流的选择 聚光镜电流大小与电子束的束斑直径、图像亮度、分辨率紧密相关。聚光镜电流大，束斑缩小，分辨率提高，焦深增大，但亮度不足。亮度不足时激发的信号弱，信噪比降低，图像清晰度下降，分辨率也受到影响。因此，选择聚光镜电流时应兼顾亮度、反差，考虑综合效果。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去3工作距离的选择 工作距离是指样品与物镜下端的距离，通常其变动范围为：548mm

27、。形貌观察常用的工作距离一般为2535mm，兼顾景深和分辨率。工作距离与图像质量的关系工作距离与图像质量的关系火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去4物镜光阑的选择 通过选用不同孔径的光阑可调整孔径角，吸收杂散电子等，从而达到调整焦深、分辨率和图像亮度的目的。一般观察5000倍左右可用300m的光阑孔径，万倍以上用200 m光阑孔径，要求高分辨率时用100m的光阑孔径。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，

28、要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去5扫描速度的选择 一般低倍观察的扫描时间常用50s，高倍观察用100s，以免试样表面过分污染。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去十一、观察图像的操作方法1、选择视野 一张高质量的扫描电镜图：细节清晰；图像富有立体感；层次分明；反 差与亮度适中，主题突出且构图完美。2、选择放大倍数 确保图像的整个图面既具有研究的内容，又没有遗漏或杂散景物的干扰。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去3、调整聚焦和

29、消像散4、反差和亮度的调整 反差或亮度过大图像细节会丢失，过小图像 模糊。5、调节倾斜角 倾斜角的大小因放大倍数和样品表面性质而异。一般放大倍数低，倾斜角度小；放大倍数大，倾斜角度大。样品凹凸明显，倾斜角度小，样品比较平坦，倾斜角度大。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去6、调节扫描速率 根据样品研究目的要求选择扫描速度。一般观察1000倍以上的用慢扫描，1000倍以下用快扫描。7、拍照 在比计划摄像高一档的倍率上调整聚焦、亮度和反差后，将倍率缩小一档，用选区扫描检查是否获得理想图像，然后拍照并记录。火灾袭来时要迅速疏散逃

30、生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去8、关机 将放大倍数按钮调至最低倍数，灯丝电流调至0位，关高压开关，关显示器开关，关调压器开关，真空系统停止工作，待扩散泵冷却后停止供水。工作中突然断水时，可采用强制方式冷却扩展泵，以防泵油挥发，污染镜筒。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去十二、扫描电镜应用 应用范围非常广泛，主要目的为将微小物体放大至能观察的范围，所以观察种类包括：(1)生物种子、花粉、细菌(2)医学 血球、病毒(3)动物 大肠、绒毛、细胞、纤维(4)材料 陶磁、高分

31、子、粉末、环氧树脂(5)化学、物理、地质、冶金、矿物、污泥、机械、电机及导电性样品品如半导体、电子材料等。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去(1)(1)生物生物观察观察:甘甘兰菜的花粉颗粒兰菜的花粉颗粒火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去(2)(2)医学观察医学观察:红血球外观红血球外观火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去(3)(3)动物观察动物观察:青青徽徽菌外菌外观观火灾袭来

32、时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去()材料材料观察：碳纤维观察：碳纤维火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去()化学物质：分子筛化学物质：分子筛火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去()化学物质：氧化铝结晶化学物质：氧化铝结晶火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去()半导体观察：光阻表面半导体观察：光阻表面火灾袭来时要迅速

33、疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去不同组成不同组成PA1010/TPU PA1010/TPU 共混物的冲击断面整体形貌的扫描电镜共混物的冲击断面整体形貌的扫描电镜(A)PA1010/TPU=100/0;(B)PA1010/TPU=90/10；(C)PA1010/TPU=80/20火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去 (1)PVC/ABS/nano-CaCO(1)PVC/ABS/nano-CaCO3 3（100/20/10100/20/10）(2)PVC/ABS (2

34、)PVC/ABS（100/20100/20)(3)PVC/nano-CaCO(3)PVC/nano-CaCO3 3（100/10100/10）复合材料冲击断面复合材料冲击断面SEMSEM照片照片火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去 复合材料断裂面扫描电镜照片复合材料断裂面扫描电镜照片(b)(b)加载速率加载速率2 mm/min (c)2 mm/min (c)加载速率加载速率10 mm/min10 mm/min在加载速率为在加载速率为10mm/min10mm/min的条件下，的条件下，PVC/ABS/nano-CaCOPVC

35、/ABS/nano-CaCO3 3复合体系的断裂表面变复合体系的断裂表面变 得更加粗糙。明显的，这种表面的产生需要消耗更多的能量。得更加粗糙。明显的，这种表面的产生需要消耗更多的能量。火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去a.a.塑性断裂，塑性断裂，b.b.脆性断裂，脆性断裂，c.c.塑性和脆性断裂同时存在塑性和脆性断裂同时存在10181018号钢在不同温度下的断裂形貌号钢在不同温度下的断裂形貌火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去 （a）陶瓷烧结体的表面

36、图像 （b）多孔硅的剖面图二次电子像二次电子像火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去ZnO火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去水泥浆体断口水泥浆体断口火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去Optimization synthesis of carbon nanotubes-anatase TiO2 compositephotocatalyst by response surface methodology for photocatalytic degradation of gaseous styrene火灾袭来时要迅速疏散逃生，不可蜂拥而出或留恋财物，要当机立断，披上浸湿的衣服或裹上湿毛毯、湿被褥勇敢地冲出去