第四章半导体物理拉扎维精选文档.ppt
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1、第四章半导体物理课件拉扎维1本讲稿第一页,共六十四页主要内容n玻璃的通性和玻璃的转变玻璃的通性和玻璃的转变n玻璃的形成玻璃的形成n玻璃的结构理论玻璃的结构理论n玻璃的类型玻璃的类型2本讲稿第二页,共六十四页一一.玻璃的通性和玻璃的转变玻璃的通性和玻璃的转变1 1、玻璃的通性、玻璃的通性2 2、玻璃的转变、玻璃的转变3本讲稿第三页,共六十四页1 1、玻璃的通性玻璃的通性 (1 1)各向同性)各向同性 (2 2)介稳性)介稳性 (3 3)由熔融态向玻璃态转化的过程是可逆的与渐变的,在一定的)由熔融态向玻璃态转化的过程是可逆的与渐变的,在一定的温度范围内完成,无固定熔点。温度范围内完成,无固定熔点。
2、(4 4)由熔融态向玻璃态转化时物理、化学性质随温度变化)由熔融态向玻璃态转化时物理、化学性质随温度变化的连续和渐变性的连续和渐变性 (5 5)物理、化学性质随成分变化的连续性)物理、化学性质随成分变化的连续性(玻璃性能的可设计性)(玻璃性能的可设计性)4本讲稿第四页,共六十四页 图图4-1 4-1 物质体积与内能随温度变化示意图物质体积与内能随温度变化示意图TmTm:物质熔点,:物质熔点,TgTg:玻璃转变温度:玻璃转变温度 101012-1312-13dPasdPas过冷液体玻璃快冷慢冷晶体abcdefhTg1Tg2TMTV、Q(2)介稳性(3)可逆渐变5本讲稿第五页,共六十四页 图图4-
3、3 4-3 玻璃性质随温度的变化玻璃性质随温度的变化 (T Tf f 软化温度,软化温度,10106-76-7dPasdPas)abcdabcdd”c”b”a”TgTf温度温度性性质质电导、比容、粘度电导、比容、粘度热容、膨胀系热容、膨胀系数、密度、折数、密度、折射率射率导热系数导热系数机械性质机械性质(4)连续和渐变性6本讲稿第六页,共六十四页 2 2、玻璃的转变、玻璃的转变玻璃转变温度玻璃转变温度Tg确定方法确定方法影响因素影响因素冷却速度、测试条件、冷却速度、测试条件、组成、样品形貌组成、样品形貌热膨胀曲线热膨胀曲线差热分析差热分析7本讲稿第七页,共六十四页玻璃转变过程和结晶过程的区别玻
4、璃转变过程和结晶过程的区别熔体熔体 晶体晶体有固定熔点有固定熔点物化性质发生不连续变化物化性质发生不连续变化热效应大热效应大形成新相形成新相熔体熔体 玻璃体玻璃体在一定温度范围内完成在一定温度范围内完成物化性质发生连续变化物化性质发生连续变化热效应小热效应小不形成新相不形成新相8本讲稿第八页,共六十四页 不同物质的熔点不同物质的熔点T Tm m和玻璃转变温度和玻璃转变温度T Tg g(液态液态玻璃态的温度)之间呈简单线性关系。即:玻璃态的温度)之间呈简单线性关系。即:T Tg g/T/Tm m2/32/30.667 0.667 Tg和和Tm的关系的关系9本讲稿第九页,共六十四页 图图4-7 4
5、-7 一些化合物的熔点一些化合物的熔点(T(Tm m)和转变温度和转变温度(T(Tg g)的关系的关系直线即为:直线即为:Tg/Tm2/3,直线上方:易于形成玻璃的物质,直线上方:易于形成玻璃的物质,直线下方:较难形成玻璃的物质。直线下方:较难形成玻璃的物质。10本讲稿第十页,共六十四页影响玻璃转变的因素影响玻璃转变的因素内因内因玻璃自身结构玻璃自身结构表现为结构调整速率表现为结构调整速率外因外因动力学动力学表现为冷却速率表现为冷却速率11本讲稿第十一页,共六十四页二二.玻璃的形成玻璃的形成1 1形成玻璃的物质及方法形成玻璃的物质及方法2 2玻璃形成的热力学条件玻璃形成的热力学条件3 3玻璃形
6、成的动力学条件玻璃形成的动力学条件4 4玻璃形成的结晶化学条件玻璃形成的结晶化学条件 (1 1)复合阴离子团大小与排列方式)复合阴离子团大小与排列方式 (2 2)键强)键强 (3 3)键型)键型12本讲稿第十二页,共六十四页1 1形成玻璃的物质及方法形成玻璃的物质及方法当今普遍认为,只要冷却速率足够快,几乎任何物质都能当今普遍认为,只要冷却速率足够快,几乎任何物质都能形成玻璃,参见表形成玻璃,参见表1 1、表、表2 2。目前形成玻璃的方法有很多种,总的说来分为目前形成玻璃的方法有很多种,总的说来分为熔融法和非熔融熔融法和非熔融法法。熔融法是形成玻璃的传统方法,即玻璃原料经加热、熔融和在常规。熔
7、融法是形成玻璃的传统方法,即玻璃原料经加热、熔融和在常规条件下进行冷却而形成玻璃态物质,在玻璃工业生产中大量采用这种方条件下进行冷却而形成玻璃态物质,在玻璃工业生产中大量采用这种方法。此法的不足之处是冷却速率较慢,工业生产一般为法。此法的不足之处是冷却速率较慢,工业生产一般为404060/h60/h,实,实验室样品急冷也仅为验室样品急冷也仅为1 110/s10/s,这样的冷却速率不能使金属、,这样的冷却速率不能使金属、合金或一些离子化合物形成玻璃。合金或一些离子化合物形成玻璃。13本讲稿第十三页,共六十四页 表表1 1 由熔融法形成玻璃的物质由熔融法形成玻璃的物质14本讲稿第十四页,共六十四页
8、 表表2 2 由非熔融法形成玻璃的物质由非熔融法形成玻璃的物质15本讲稿第十五页,共六十四页 2 2玻璃形成的热力学条件玻璃形成的热力学条件 熔融体是物质在液相温度以上存在的一种高能量状态。熔融体是物质在液相温度以上存在的一种高能量状态。随着温度降低,熔体释放能量大小不同,可以有随着温度降低,熔体释放能量大小不同,可以有三种冷却途三种冷却途径径:(1)结晶化,)结晶化,即有序度不断增加,直到释放全部多余即有序度不断增加,直到释放全部多余能量而使整个熔体晶化为止。能量而使整个熔体晶化为止。稳定态稳定态(2)玻璃化,)玻璃化,即过冷熔体在转变温度即过冷熔体在转变温度Tg硬化为固态玻璃硬化为固态玻璃
9、的过程。的过程。介稳态介稳态(3)分相,)分相,即质点迁移使熔体内某些组成偏聚,从而形即质点迁移使熔体内某些组成偏聚,从而形成互不混溶的组成成互不混溶的组成不同的两个玻璃相。不同的两个玻璃相。介稳态介稳态16本讲稿第十六页,共六十四页表表3 3 几种硅酸盐晶体与玻璃体的生成热几种硅酸盐晶体与玻璃体的生成热 玻璃和晶体的内能差值都很小,析晶驱动力小。从热力学数据难以判断形成玻璃玻璃和晶体的内能差值都很小,析晶驱动力小。从热力学数据难以判断形成玻璃的倾向。的倾向。17本讲稿第十七页,共六十四页3 3玻璃形成的动力学条件玻璃形成的动力学条件析晶分为晶核生成与晶体长大两个过程。析晶分为晶核生成与晶体长
10、大两个过程。均态核化均态核化:熔体内部自发成核。:熔体内部自发成核。非均态核化非均态核化:由表面、界面效应,杂质、或引入晶核剂等各种因:由表面、界面效应,杂质、或引入晶核剂等各种因素支配的成核过程。素支配的成核过程。晶核生成速率晶核生成速率I IV V是指单位时间内单位体积熔体中所生成的晶是指单位时间内单位体积熔体中所生成的晶核数目(个核数目(个/cm/cm3 3ss););晶体生长速率晶体生长速率u u是指单位时间内晶体的线增长速率(是指单位时间内晶体的线增长速率(cm/scm/s)。)。I Iv v与与u u均与过冷度(均与过冷度(T TT TM MT T)有关()有关(T TM M为熔点
11、)。为熔点)。图图4-64-6称为物质的析晶特征曲线。由图可见,称为物质的析晶特征曲线。由图可见,I IV V与与u u曲线上都存在极大值。曲线上都存在极大值。18本讲稿第十八页,共六十四页图图4-6 4-6 成核、生长速率与过冷度的关系成核、生长速率与过冷度的关系uuTIJIJuuTIvIv易析晶,不易形成玻璃易析晶,不易形成玻璃不易析晶,易形成玻璃不易析晶,易形成玻璃19本讲稿第十九页,共六十四页实验证明(乌尔曼):实验证明(乌尔曼):当晶体混乱地分布于熔体中时,当晶体混乱地分布于熔体中时,晶体的体积分数(晶体体积玻璃总体积晶体的体积分数(晶体体积玻璃总体积V V/V/V)为)为10106
12、 6时,刚好为仪器可探测出来的浓度。根据相变动力时,刚好为仪器可探测出来的浓度。根据相变动力学理论,通过式(学理论,通过式(4-14-1)估计防止一定的体积分数的晶)估计防止一定的体积分数的晶体析出所必须的冷却速率。体析出所必须的冷却速率。V VV V /3 I/3 Iv vu u3 3t t4 4 (4-14-1)式中式中 V V 析出晶体体积;析出晶体体积;VV熔体体积;熔体体积;I Iv v 成核速率;成核速率;uu晶体生长速率;晶体生长速率;t t 时间。时间。20本讲稿第二十页,共六十四页图图4-8 4-8 析晶体积分数为析晶体积分数为1010-6-6时具有不同熔点物质的时具有不同熔
13、点物质的T-T-TT-T-T曲线曲线A-Tm=356.6K B-Tm=316.6K C-Tm=276.6KABC1041021021041061081010112010080604020时间(时间(s)过冷度(过冷度(K)过冷度增加,晶核形成速率增加,而晶体生长速率下降,出现一个突出点,对应于整个冷却过程所需要的最大冷却速率。玻璃区域晶体区域乌尔曼乌尔曼(dT/dt)m Tn/n Tn=Tm-Tn21本讲稿第二十一页,共六十四页4 4 玻璃形成的结晶化学条件玻璃形成的结晶化学条件(1 1)复合阴离子团大小与排列方式)复合阴离子团大小与排列方式 从硅酸盐、硼酸盐、磷酸盐等无机熔体转变为玻璃时,熔
14、体的从硅酸盐、硼酸盐、磷酸盐等无机熔体转变为玻璃时,熔体的结构含有多种负离子集团,这些集团可能时分时合。这种大型负离结构含有多种负离子集团,这些集团可能时分时合。这种大型负离子集团可以看作由不等数目的子集团可以看作由不等数目的SiOSiO4 44 4以不同的连接方式歪扭地聚以不同的连接方式歪扭地聚合而成,宛如歪扭的链状或网络结构。合而成,宛如歪扭的链状或网络结构。不同不同O OSiSi比对应着一定的聚集负离子团结构,形成玻璃的倾向大小比对应着一定的聚集负离子团结构,形成玻璃的倾向大小和熔体中负离子团的聚合程度有关。聚合程度越低,越不易形成玻璃;和熔体中负离子团的聚合程度有关。聚合程度越低,越不
15、易形成玻璃;聚合程度越高,特别当具有三维网络或歪扭链状结构时,越容易形成玻聚合程度越高,特别当具有三维网络或歪扭链状结构时,越容易形成玻璃。璃。22本讲稿第二十二页,共六十四页 硼酸盐、锗酸盐、磷酸盐等无机熔体中,也可采用类硼酸盐、锗酸盐、磷酸盐等无机熔体中,也可采用类似硅酸盐的方法,根据似硅酸盐的方法,根据O/BO/B、O/GeO/Ge、O/PO/P比来粗略估计负离子比来粗略估计负离子集团的大小。根据实验,形成玻璃的集团的大小。根据实验,形成玻璃的O/BO/B、O/SiO/Si、O/GeO/Ge、O/PO/P比有最高限值,见下表。这个限值表明熔体中负离子集团比有最高限值,见下表。这个限值表明
16、熔体中负离子集团只有以高聚合的歪曲链状或环状方式存在时,方能形成玻只有以高聚合的歪曲链状或环状方式存在时,方能形成玻璃。璃。23本讲稿第二十三页,共六十四页 形成硼酸盐、硅酸盐等玻璃的形成硼酸盐、硅酸盐等玻璃的O OB B、O OSiSi等比值的等比值的最高限值最高限值24本讲稿第二十四页,共六十四页(2 2)键强)键强 孙光汉孙光汉于于19471947年提出氧化物的键强是决定其能否形成玻璃的重要条件,他认为可以用元素年提出氧化物的键强是决定其能否形成玻璃的重要条件,他认为可以用元素与氧结合的单键强度大小来判断氧化物能否生成玻璃根据单键能的大小,可将不同氧化物分与氧结合的单键强度大小来判断氧化
17、物能否生成玻璃根据单键能的大小,可将不同氧化物分为以下三类:为以下三类:l l)玻璃网络形成体)玻璃网络形成体(其中正离子为网络形成离子),其单键强度(其中正离子为网络形成离子),其单键强度335kJ335kJmolmol。这类氧化物能单。这类氧化物能单独形成玻璃。独形成玻璃。2)网络改变体)网络改变体(正离子称为网络改变离子),其单键强度(正离子称为网络改变离子),其单键强度335kJ/molO)335kJ/mol;成键时出现;成键时出现s sp p电子形成杂化轨道。这电子形成杂化轨道。这样的键型在能量上有利于形成一种低配位数的负离子团样的键型在能量上有利于形成一种低配位数的负离子团构造或结
18、构键,易形成无规则的网络,因而形成玻璃倾构造或结构键,易形成无规则的网络,因而形成玻璃倾向很大。向很大。30本讲稿第三十页,共六十四页三三.玻璃的结构理论玻璃的结构理论1 1、晶子学说、晶子学说2 2、无规则网络学说、无规则网络学说31本讲稿第三十一页,共六十四页1 1、晶子学说、晶子学说实验依据实验依据n折射率折射率-温度曲线温度曲线n钠硅双组分玻璃的钠硅双组分玻璃的X X射线散射强度曲线射线散射强度曲线n红外反射光谱红外反射光谱32本讲稿第三十二页,共六十四页硅酸盐玻璃折射率随温度变化曲线硅酸盐玻璃折射率随温度变化曲线 200400300100500100200-200-100n105T(
19、)520-590 石英 石英33本讲稿第三十三页,共六十四页 27Na27Na2 2O73SiOO73SiO2 2玻璃的玻璃的X X射线散射强度曲线射线散射强度曲线n1 1未加热;未加热;n2 2在在618618保温保温1 1小时小时n3 3在在800800保温保温1010分钟和分钟和670670保温保温2020小时小时150100 50 0 15010050 0 250 200 150 100 50 00.10.20.30.40.5sinI132认为:晶子平均尺寸为1nm34本讲稿第三十四页,共六十四页图图 33.3Na33.3Na2 2O66.7SiOO66.7SiO2 2玻璃的红外反射光
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