第10章数字式传感器及应用.ppt

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1、第第1010章数字式传感器及应用章数字式传感器及应用 1/21/20231引言引言n信号的检测、控制和处理已进入到数字化时代。信号的检测、控制和处理已进入到数字化时代。通常采用模拟式传感器获取模拟信号，利用通常采用模拟式传感器获取模拟信号，利用A/D转换器将模拟信号转换成数字信号，再用转换器将模拟信号转换成数字信号，再用微机和其他数字设备进行处理，这种方法简便微机和其他数字设备进行处理，这种方法简便易行，但系统的构成也很复杂。易行，但系统的构成也很复杂。n数字式传感器就是为了解决这些问题而出现的，数字式传感器就是为了解决这些问题而出现的，它能把被测模拟量直接转换成数字信号输出。它能把被测模拟量

2、直接转换成数字信号输出。n目前，常用的数字式传感器有目前，常用的数字式传感器有4大类：（大类：（1）栅）栅式数字传感器；（式数字传感器；（2）编码器式数字传感器；）编码器式数字传感器；（3）频率）频率/数字输出式数字传感器；（数字输出式数字传感器；（4）感）感应同步器式数字传感器。应同步器式数字传感器。1/21/20232主要章节主要章节n10.1栅式数字传感器栅式数字传感器n10.2编码器编码器n10.3感应同步器感应同步器n10.4频率式数字传感器频率式数字传感器1/21/2023310.1栅式数字传感器栅式数字传感器n根据工作原理，可分为光栅和磁栅两种。根据工作原理，可分为光栅和磁栅两种

3、。n光栅是由很多等节距的透光缝隙和不透光的刻线均匀光栅是由很多等节距的透光缝隙和不透光的刻线均匀相间排列构成的光电器件。相间排列构成的光电器件。n按其原理和用途，分为物理光栅和计量光栅。物理光按其原理和用途，分为物理光栅和计量光栅。物理光栅利用光的衍射现象，主要用于光谱分析和光波长等栅利用光的衍射现象，主要用于光谱分析和光波长等量的测量。计量光栅主要利用莫尔现象，测量位移、量的测量。计量光栅主要利用莫尔现象，测量位移、速度、加速度、振动等物现量。计量光栅又有透射光速度、加速度、振动等物现量。计量光栅又有透射光栅和反射光栅之分，具体制作时又可制作成线位移的栅和反射光栅之分，具体制作时又可制作成线

4、位移的长光栅和角位移的圆光栅。长光栅和角位移的圆光栅。n本节主要介绍透射式的长度计量光栅。它是利用光栅本节主要介绍透射式的长度计量光栅。它是利用光栅莫尔条纹现象，把光栅作为测量元件，具有结构原理莫尔条纹现象，把光栅作为测量元件，具有结构原理简单、测量精度高等优点，在数控机床和仪器的精密简单、测量精度高等优点，在数控机床和仪器的精密定位或长度、速度、加速度、振动测量等方面得到了定位或长度、速度、加速度、振动测量等方面得到了广泛应用。广泛应用。1/21/2023410.1.1光栅的类型和结构光栅的类型和结构n在计量工作中应用的光栅称为计量光栅。在计量工作中应用的光栅称为计量光栅。从光栅的光线走向来

5、看，可分为透射式从光栅的光线走向来看，可分为透射式光栅和反射式光栅两大类。透射式光栅光栅和反射式光栅两大类。透射式光栅一般用光学玻璃做基体，在其上均匀地一般用光学玻璃做基体，在其上均匀地刻划上等间距、等宽度的条纹，形成连刻划上等间距、等宽度的条纹，形成连续的透光区和不透光区。反射式光栅用续的透光区和不透光区。反射式光栅用不锈钢做基体，在其上用化学方法制作不锈钢做基体，在其上用化学方法制作出黑白相间的条纹，形成强反光区和不出黑白相间的条纹，形成强反光区和不反光区。反光区。1/21/20235尺身尺身尺身安装孔尺身安装孔 反射式扫描头反射式扫描头 （与移动部件固定）（与移动部件固定）扫描头安装孔扫

6、描头安装孔可移动电缆可移动电缆光栅的外形及结构防尘保护罩的内部为长磁栅防尘保护罩的内部为长磁栅1/21/20236扫描头扫描头（与移动部件固定）（与移动部件固定）光栅尺光栅尺可移动电缆可移动电缆光栅的外形及结构（续）1/21/20237光栅刻线光栅刻线1/21/20238计量光栅按其形状和用途分类计量光栅按其形状和用途分类n长光栅长光栅n又称为光栅尺，用于长度或直线位移的又称为光栅尺，用于长度或直线位移的测量。测量。n圆光栅圆光栅n又称为光栅盘，用来测量角度或角位移。又称为光栅盘，用来测量角度或角位移。1/21/20239长光栅长光栅黑白光栅黑白光栅 闪耀光栅刻线断面闪耀光栅刻线断面闪耀光栅是

7、对入射光波闪耀光栅是对入射光波的相位进行调制，也称的相位进行调制，也称为相位光栅，按其刻线为相位光栅，按其刻线的断面形状可分为对称的断面形状可分为对称和不对称两种。和不对称两种。1/21/202310圆光栅圆光栅圆光栅的两条相邻栅线的中心线之间的夹角称为角节距，每周圆光栅的两条相邻栅线的中心线之间的夹角称为角节距，每周的栅线数从较低精度的栅线数从较低精度100线到高精度等级的线到高精度等级的21600线不等线不等1/21/20231110.1.2光栅的工作原理光栅的工作原理n计量光栅的基本元件是主光栅和指示光栅。它计量光栅的基本元件是主光栅和指示光栅。它们是在一块长条形光学玻璃上，均匀刻上许多

8、们是在一块长条形光学玻璃上，均匀刻上许多明暗相间、宽度相等的刻线。主光栅的刻线一明暗相间、宽度相等的刻线。主光栅的刻线一般比指示光栅长。般比指示光栅长。n若将两块光栅（主光栅、指示光栅）叠合在一若将两块光栅（主光栅、指示光栅）叠合在一起，并且使它们的刻线之间成一个很小的角度起，并且使它们的刻线之间成一个很小的角度，由于遮光效应，两块光栅的刻线相交处形，由于遮光效应，两块光栅的刻线相交处形成亮带，而在一块光栅的刻线与另一块光栅的成亮带，而在一块光栅的刻线与另一块光栅的缝隙相交处形成暗带，在与光栅刻线垂直的方缝隙相交处形成暗带，在与光栅刻线垂直的方向，将出现明暗相间的条纹，这些条纹就称为向，将出现

9、明暗相间的条纹，这些条纹就称为莫尔条纹。莫尔条纹。1长光栅的莫尔条纹长光栅的莫尔条纹1/21/202312莫尔条纹演示1/21/202313光栅与莫尔条纹示意图光栅与莫尔条纹示意图当指示光栅沿着主光栅刻线的垂直方向移动时，莫尔条纹将当指示光栅沿着主光栅刻线的垂直方向移动时，莫尔条纹将会沿着这两个光栅刻线夹角的平分线的平行方向移动，光栅会沿着这两个光栅刻线夹角的平分线的平行方向移动，光栅每移动一个每移动一个W，莫尔条纹也移动一个间距，莫尔条纹也移动一个间距B。越小，则越小，则B越越大。大。1/21/2023142.横向莫尔条纹的特点横向莫尔条纹的特点n（1）放大作用）放大作用光栅具有位移放大作用

10、，光栅具有位移放大作用，提高了测量的灵敏度。提高了测量的灵敏度。n（2）平均效应）平均效应莫尔条纹由大量的光栅莫尔条纹由大量的光栅栅线共同形成，所以对光栅栅线的刻划栅线共同形成，所以对光栅栅线的刻划误差有平均作用。通过莫尔条纹所获得误差有平均作用。通过莫尔条纹所获得的精度可以比光栅本身栅线的刻划精度的精度可以比光栅本身栅线的刻划精度还要高。还要高。n（3）运动方向）运动方向1/21/202315光栅位移与光强关系光栅位移与光强关系n4）对应关系）对应关系两块光两块光栅沿栅线垂直方向作栅沿栅线垂直方向作相对移动时，莫尔条相对移动时，莫尔条纹的亮带与暗带将顺纹的亮带与暗带将顺序自上而下不断掠过序自

11、上而下不断掠过光敏元件。光敏元件光敏元件。光敏元件接受到的光强变化近接受到的光强变化近似于正弦波变化。光似于正弦波变化。光栅移动一个栅距栅移动一个栅距W，光强变化一个周期。光强变化一个周期。1/21/202316n（5）莫尔条纹移过的条纹数等于光栅移）莫尔条纹移过的条纹数等于光栅移过的栅线数过的栅线数例如采用例如采用100线线/mm光栅时，光栅时，若光栅移动了若光栅移动了xmm（即移过了（即移过了100 x条条光栅栅线），则从光电元件前掠过的莫光栅栅线），则从光电元件前掠过的莫尔条纹数也为尔条纹数也为100 x条。由于莫尔条纹间条。由于莫尔条纹间距比栅距宽得多，所以能够被光敏元件距比栅距宽得多

12、，所以能够被光敏元件识别。将此莫尔条纹产生的电脉冲信号识别。将此莫尔条纹产生的电脉冲信号计数，就可知道移动的实际位移。计数，就可知道移动的实际位移。1/21/20231710.1.3光栅式传感器的测量电路光栅式传感器的测量电路n计量光栅作为一个完整的测量装置包括计量光栅作为一个完整的测量装置包括光栅读数头、光栅数显表两大部分。光光栅读数头、光栅数显表两大部分。光栅读数头把输入量（位移量）转换成相栅读数头把输入量（位移量）转换成相应的电信号；光栅数显表是实现细分、应的电信号；光栅数显表是实现细分、辨向和显示功能的电子系统。辨向和显示功能的电子系统。1/21/2023181.光电转换光电转换n光电

13、转换装置（光栅读数头）主要由主光电转换装置（光栅读数头）主要由主光栅、指示光栅、光路系统和光电元件光栅、指示光栅、光路系统和光电元件等组成等组成。1光源光源2透镜透镜3主光栅主光栅4指示光栅指示光栅5光电元件光电元件1/21/202319输出电压反映了位移量的大小输出电压反映了位移量的大小n莫尔条纹是一个明暗相间的光带。两条莫尔条纹是一个明暗相间的光带。两条暗带中心线之间的光强变化是从最暗、暗带中心线之间的光强变化是从最暗、渐亮、最亮、渐暗直到最暗的渐变过程。渐亮、最亮、渐暗直到最暗的渐变过程。主光栅移动一个栅距主光栅移动一个栅距W，光强变化一个，光强变化一个周期，若用光电元件接收莫尔条纹移动

14、周期，若用光电元件接收莫尔条纹移动时光强的变化，则将光信号转换为电信时光强的变化，则将光信号转换为电信号，接近于正弦周期函数，如以电压输号，接近于正弦周期函数，如以电压输出，即出，即n1/21/202320光电元件输出波形光电元件输出波形1/21/2023212.辨向原理辨向原理n光栅是正向移动还是反向移动，莫尔条光栅是正向移动还是反向移动，莫尔条纹都做明暗交替变化，光电元件总是输纹都做明暗交替变化，光电元件总是输出同一规律变化的电信号，此信号只能出同一规律变化的电信号，此信号只能计数，不能辨向。为此，必须设置辨向计数，不能辨向。为此，必须设置辨向电路。电路。1/21/202322辨辨向向电电

15、路路1/21/2023233.细分技术细分技术n为了提高分辨力，可以采用增加刻线密为了提高分辨力，可以采用增加刻线密度的方法来减少栅距，但这种方法受到度的方法来减少栅距，但这种方法受到制造工艺或成本的限制。另一种方法是制造工艺或成本的限制。另一种方法是采用细分技术，可以在不增加刻线数的采用细分技术，可以在不增加刻线数的情况下提高光栅的分辨力，在光栅每移情况下提高光栅的分辨力，在光栅每移动一个栅距，莫尔条纹变化一周时，不动一个栅距，莫尔条纹变化一周时，不只输出一个脉冲，而是输出均匀分布的只输出一个脉冲，而是输出均匀分布的n个脉冲，从而使分辨力提高到个脉冲，从而使分辨力提高到W/n。由。由于细分后

16、计数脉冲的频率提高了，因此于细分后计数脉冲的频率提高了，因此细分又叫做倍频。细分又叫做倍频。1/21/202324细分的方法细分的方法n直接细分，细分数为直接细分，细分数为4，所以又称四倍频，所以又称四倍频细分。细分。n实现的方法有两种实现的方法有两种：1/21/202325四倍频细分原理四倍频细分原理1/21/202326光栅在机床上的安装位置（2个自由度）1/21/202327安装有直线光栅的数控机床加工实况 防护罩内为直线光栅防护罩内为直线光栅光栅扫描头光栅扫描头被加工工件被加工工件切削刀具切削刀具角编码器角编码器安装在夹安装在夹具的端部具的端部1/21/20232810.2编码器编码器

17、n将机械转动的模拟量（位移）转换成以数字代将机械转动的模拟量（位移）转换成以数字代码形式表示的电信号，这类传感器称为编码器。码形式表示的电信号，这类传感器称为编码器。编码器以其高精度、高分辨率和高可靠性被广编码器以其高精度、高分辨率和高可靠性被广泛用于各种位移的测量。泛用于各种位移的测量。n编码器主要分为脉冲盘式和码盘式两大类。编码器主要分为脉冲盘式和码盘式两大类。n码盘式编码器按其结构可分为接触式、光电式码盘式编码器按其结构可分为接触式、光电式和电磁式和电磁式3种，后两种为非接触式编码。种，后两种为非接触式编码。1/21/20232910.2.1接触式码盘编码器接触式码盘编码器n接触式码盘编

18、码器由码盘和电刷组成，接触式码盘编码器由码盘和电刷组成，适用于角位移测量。码盘利用制造印刷适用于角位移测量。码盘利用制造印刷电路板的工艺，在铜箔板上制作某种码电路板的工艺，在铜箔板上制作某种码制（如制（如8421码、循环码等）图形的盘式码、循环码等）图形的盘式印刷电路板。电刷是一种活动触头结构，印刷电路板。电刷是一种活动触头结构，在外界力的作用下，旋转码盘时，电刷在外界力的作用下，旋转码盘时，电刷与码盘接触处就产生某种码制的数字编与码盘接触处就产生某种码制的数字编码输出码输出1结构与工作原理结构与工作原理1/21/202330接触式四位二进制码盘接触式四位二进制码盘1/21/2023312消除

19、非单值误差的办法消除非单值误差的办法n（1）采用循环码（格雷码）采用循环码（格雷码）n循环码盘结构，采用循环码制可以消除循环码盘结构，采用循环码制可以消除非单值误差。非单值误差。n（2）扫描法）扫描法n扫描法有扫描法有V扫描、扫描、U扫描以及扫描以及M扫描扫描3种。种。1/21/20233210.2.2光电式编码器光电式编码器n接触式编码器的分辨率受电刷的限制不接触式编码器的分辨率受电刷的限制不可能很高；而光电式编码器由于使用了可能很高；而光电式编码器由于使用了体积小、易于集成的光电元件代替机械体积小、易于集成的光电元件代替机械的接触电刷，其测量精度和分辨率能达的接触电刷，其测量精度和分辨率能

20、达到很高水平。到很高水平。1/21/202333光电编码器示意图光电编码器示意图1光源光源2透镜透镜3码盘码盘4窄缝窄缝5光电元件组光电元件组1/21/20233410.2.3电磁式编码器电磁式编码器n主要由磁鼓与磁阻探头组成。多极磁鼓主要由磁鼓与磁阻探头组成。多极磁鼓常用的有两种：一种是塑磁磁鼓，在磁常用的有两种：一种是塑磁磁鼓，在磁性材料中混入适当的粘合剂，注塑成型；性材料中混入适当的粘合剂，注塑成型；另一种是在铝鼓外面覆盖一层黏结磁性另一种是在铝鼓外面覆盖一层黏结磁性材料而制成。多极磁鼓产生的空间磁场材料而制成。多极磁鼓产生的空间磁场由磁鼓的大小和磁层厚度决定，磁阻探由磁鼓的大小和磁层厚

21、度决定，磁阻探头由磁阻元件通过微细加工技术而制成，头由磁阻元件通过微细加工技术而制成，磁阻元件电阻值仅和电流方向成直角的磁阻元件电阻值仅和电流方向成直角的磁场有关，而与电流平行的磁场无关。磁场有关，而与电流平行的磁场无关。1/21/202335电磁编码器的基本结构电磁编码器的基本结构1磁鼓磁鼓2气隙气隙3磁敏传感部件磁敏传感部件4磁敏电阻磁敏电阻电磁式编码器电磁式编码器由于精度高，由于精度高，寿命长，工作寿命长，工作可靠，对环境可靠，对环境条件要求较低，条件要求较低，但成本较高。但成本较高。1/21/20233610.2.4脉冲盘式数字传感器脉冲盘式数字传感器n脉冲盘式编码器又称为增量编码器。

22、增脉冲盘式编码器又称为增量编码器。增量编码器一般只有量编码器一般只有3个码道，它不能直接个码道，它不能直接产生编码输出，故它不具有绝对码盘码产生编码输出，故它不具有绝对码盘码的含义，这是脉冲盘式编码器与绝对编的含义，这是脉冲盘式编码器与绝对编码器的不同之处。码器的不同之处。1/21/2023371.增量编码器的结构和工作原理增量编码器的结构和工作原理n增量编码器的圆盘上等角距地开有两道增量编码器的圆盘上等角距地开有两道缝隙，内外圈（缝隙，内外圈（A、B）的相邻两缝错开）的相邻两缝错开半条缝宽，另外在某一径向位置（一般半条缝宽，另外在某一径向位置（一般在内外两圈之外）开有一狭缝，表示码在内外两圈

23、之外）开有一狭缝，表示码盘的零位。在它们相对的两侧面分别安盘的零位。在它们相对的两侧面分别安装光源和光电接收元件装光源和光电接收元件n增量编码器的精度和分辨率与绝对编码增量编码器的精度和分辨率与绝对编码器一样，主要取决于码盘本身的精度。器一样，主要取决于码盘本身的精度。1/21/202338脉冲盘式编码器示意图脉冲盘式编码器示意图1/21/2023392.旋转方向的判别旋转方向的判别n码盘无论正转还是反转，计数器每次反码盘无论正转还是反转，计数器每次反映的都是相对于上次角度的增量，故这映的都是相对于上次角度的增量，故这种测量称为增量法。种测量称为增量法。1/21/202340辨向原理辨向原理1

24、/21/20234110.3感应同步器感应同步器n按其用途可分为两大类：（按其用途可分为两大类：（1）测量直线）测量直线位移的线位移感应同步器；（位移的线位移感应同步器；（2）测量角）测量角位移的圆盘感应同步器。直线式感应同位移的圆盘感应同步器。直线式感应同步器广泛应用于坐标镗床、坐标铣床及步器广泛应用于坐标镗床、坐标铣床及其他机床的定位、数控和数显。旋转式其他机床的定位、数控和数显。旋转式感应同步器常用于精密机床或测量仪器感应同步器常用于精密机床或测量仪器的分度装置等，也用于雷达天线定位跟的分度装置等，也用于雷达天线定位跟踪。踪。1/21/202342感应同步器类型和特性感应同步器类型和特性

25、类类 型型特特 性性直线式同步直线式同步器器标准型标准型精度高、可扩展，用途最广精度高、可扩展，用途最广窄型窄型精度较高，用于安装位置不宽敞的地方，精度较高，用于安装位置不宽敞的地方，可扩展可扩展带型带型精度较低，定尺长度达精度较低，定尺长度达3m以上，对安装以上，对安装面要求精度不高面要求精度不高旋转式同步器旋转式同步器精度高，极数多，易于误差补偿，精度精度高，极数多，易于误差补偿，精度与极数成正比与极数成正比1/21/20234310.3.1直线式感应同步器的结构直线式感应同步器的结构和工作原理和工作原理n感应同步器是应用电磁感应定律把位移感应同步器是应用电磁感应定律把位移量转换成电量的传

26、感器。它的基本结构量转换成电量的传感器。它的基本结构由两个平面矩形线圈组成，它们相当于由两个平面矩形线圈组成，它们相当于变压器的初、次级绕组，通过这两个绕变压器的初、次级绕组，通过这两个绕组间的互感值随位置变化来检测位移量。组间的互感值随位置变化来检测位移量。1/21/2023441.载流线圈所产生的磁场载流线圈所产生的磁场矩形载流线圈中通过直流电流矩形载流线圈中通过直流电流I时的磁场分布示意图时的磁场分布示意图1/21/202345探测线圈内的感应电动势探测线圈内的感应电动势1/21/2023462.直线式感应同步器的基本结构直线式感应同步器的基本结构n由定尺和滑尺两部分组成，定尺和滑尺由定

27、尺和滑尺两部分组成，定尺和滑尺可利用印刷电路板的生产工艺，用覆铜可利用印刷电路板的生产工艺，用覆铜板制成。滑尺上有两个绕组，一个是正板制成。滑尺上有两个绕组，一个是正弦绕组弦绕组11，另一个是余弦绕组，另一个是余弦绕组22，彼此相距，彼此相距/2或或3/4。当定尺栅。当定尺栅距为距为W2时，滑尺上的两个绕组间的距离时，滑尺上的两个绕组间的距离L1应满足如下关系：应满足如下关系：L1=（n/2+1/4）W2。n=0时相差时相差/2，n=1时相差时相差3/4，n=2时相差时相差5/4。1/21/202347感感应应同同步步器器的的绕绕组组结结构构1/21/2023483.直线式感应同步器的工作原理

28、直线式感应同步器的工作原理n滑尺上的正弦绕组和余弦绕组相对于定滑尺上的正弦绕组和余弦绕组相对于定尺绕组在空间错开尺绕组在空间错开1/4节距，工作时，节距，工作时，当在滑尺两个绕组中的任一绕组加上激当在滑尺两个绕组中的任一绕组加上激励电压时，由于电磁感应，在定尺绕组励电压时，由于电磁感应，在定尺绕组中会感应出相同频率的感应电压，通过中会感应出相同频率的感应电压，通过对感应电压的测量，可以精确地测量出对感应电压的测量，可以精确地测量出位移量。位移量。1/21/202349感应同步器工作原理图感应同步器工作原理图1/21/2023504.直线感应同步器输出信号的检测直线感应同步器输出信号的检测n由感

29、应同步器组成的检测系统，可以采由感应同步器组成的检测系统，可以采取不同的励磁方式，对输出信号采用不取不同的励磁方式，对输出信号采用不同的处理方法。从励磁方式来说，可分同的处理方法。从励磁方式来说，可分类两大类：一类是以滑尺（或定子）为类两大类：一类是以滑尺（或定子）为励磁，由定尺（或转子）取出感应电势励磁，由定尺（或转子）取出感应电势信号；另一类以定尺为励磁，由滑尺取信号；另一类以定尺为励磁，由滑尺取出感应电势信号。目前使用最多的是第出感应电势信号。目前使用最多的是第1类励磁方式。对输出感应电势信号可采类励磁方式。对输出感应电势信号可采取不同的处理方法来达到测量目的，一取不同的处理方法来达到测

30、量目的，一般分为鉴幅型和鉴相型两种检测系统。般分为鉴幅型和鉴相型两种检测系统。1/21/202351（1）鉴相型）鉴相型根据感应电动势的根据感应电动势的相位来鉴别位移量相位来鉴别位移量n相对位移量相对位移量x与相位角与相位角呈线性关系，只呈线性关系，只要能测出相位角要能测出相位角，就可求得位移量，就可求得位移量x。1/21/202352（2）鉴幅型）鉴幅型根据感应电动势的根据感应电动势的幅值来鉴别位移量幅值来鉴别位移量n滑尺上正弦、余弦绕组供以同频、同相，滑尺上正弦、余弦绕组供以同频、同相，但幅值不等的交流励磁电压，则可根据但幅值不等的交流励磁电压，则可根据感应电动势的幅值来鉴别位移量，称为感

31、应电动势的幅值来鉴别位移量，称为鉴幅型。鉴幅型。1/21/20235310.3.2旋转式感应同步器（圆感旋转式感应同步器（圆感应同步器）应同步器）n旋转式感应同步器由定子和转子两部分旋转式感应同步器由定子和转子两部分组成，它们呈圆片形状，用直线式感应组成，它们呈圆片形状，用直线式感应同步器的制造工艺制作两绕组。同步器的制造工艺制作两绕组。n定子、转子分别相当于直线式感应同步定子、转子分别相当于直线式感应同步器的定尺和滑尺。器的定尺和滑尺。1/21/202354n旋转式感应同步器的直径一般有旋转式感应同步器的直径一般有50mm、76mm、178mm和和302mm等几种。径等几种。径向导体数（极数

32、）有向导体数（极数）有360、720和和1080几种。转子是绕转轴旋转的，通常采用几种。转子是绕转轴旋转的，通常采用导电环直接耦合输出，或者通过耦合变导电环直接耦合输出，或者通过耦合变压器，将转子初级感应电势经气隙耦合压器，将转子初级感应电势经气隙耦合到定于次级上输出。旋转式感应同步器到定于次级上输出。旋转式感应同步器在极数相同情况下，同步器的直径越大，在极数相同情况下，同步器的直径越大，其精度越高。其精度越高。1/21/202355定子、转子绕组定子、转子绕组1有效导体有效导体2内端面内端面3外端面外端面1/21/20235610.3.3感应同步器位移测量系统感应同步器位移测量系统n鉴相测量

33、方式数字位移测量装置方框图鉴相测量方式数字位移测量装置方框图1/21/20235710.4频率式数字传感器频率式数字传感器n频率式传感器是将被测非电量转换为频频率式传感器是将被测非电量转换为频率量，即转换为一系列频率与被测量有率量，即转换为一系列频率与被测量有关的脉冲，然后在给定的时间内，通过关的脉冲，然后在给定的时间内，通过电子电路累计这些脉冲数，从而测得被电子电路累计这些脉冲数，从而测得被测量；或者用测量与被测量有关的脉冲测量；或者用测量与被测量有关的脉冲周期的方法来测得被测量。周期的方法来测得被测量。n体积小、重量轻、分辨率高，有数字化体积小、重量轻、分辨率高，有数字化技术的许多优点，技

34、术的许多优点，1/21/2023583种类型种类型n（1）利用力学系统固有频率的变化反映）利用力学系统固有频率的变化反映被测参数的值。被测参数的值。n（2）利用电子振荡器的原理，使被测量）利用电子振荡器的原理，使被测量的变化转化为振荡器振荡频率的改变。的变化转化为振荡器振荡频率的改变。n（3）将被测非电量先转换为电压量，然）将被测非电量先转换为电压量，然后再用此电压去控制振荡器的振荡频率，后再用此电压去控制振荡器的振荡频率，称为压控振荡器。称为压控振荡器。1/21/20235910.4.1改变力学系统固有频率的改变力学系统固有频率的频率传感器频率传感器n若激励力的频率与弹性体的固有频率相若激励

35、力的频率与弹性体的固有频率相同，大小刚好可以补充阻尼损耗时，该同，大小刚好可以补充阻尼损耗时，该弹性体即可作等幅连续振荡，振动频率弹性体即可作等幅连续振荡，振动频率为其自身的固有频率。弹性振动体频率为其自身的固有频率。弹性振动体频率式传感器就是利用这一原理来测量有关式传感器就是利用这一原理来测量有关物理量的。物理量的。n弹性振动体频率式传感器有振弦式、振弹性振动体频率式传感器有振弦式、振膜式、振筒式和振梁式等，下面以振弦膜式、振筒式和振梁式等，下面以振弦式频率传感器为例，式频率传感器为例，1/21/202360振弦张力传感器基本结构及激励振弦张力传感器基本结构及激励电路电路1/21/20236

36、110.4.2RC振荡器式频率传感器振荡器式频率传感器n温度温度频率传感器就是频率传感器就是RC振荡器式频率振荡器式频率传感器的一种类型。传感器的一种类型。n利用热敏电阻利用热敏电阻RT测量温度。测量温度。RT作为作为RC振荡器的一部分，该电路是由运算放大振荡器的一部分，该电路是由运算放大器和反馈网络构成一种器和反馈网络构成一种RC文氏电桥正弦文氏电桥正弦波发生器。当外界温度波发生器。当外界温度T变化时，变化时，RT的的阻值也随之变化，阻值也随之变化，RC振荡器的频率因此振荡器的频率因此而改变。而改变。RC振荡器的振荡频率由下式决振荡器的振荡频率由下式决定。定。1/21/202362RC振荡式

37、频率传感器振荡式频率传感器1/21/20236310.4.3压控振荡器式频率传感器压控振荡器式频率传感器热电偶压控振荡器热电偶压控振荡器将被测非电将被测非电量转换为电量转换为电压量，然后压量，然后去控制振荡去控制振荡器的频率。器的频率。1/21/20236410.4.4频率式传感器的基本测量频率式传感器的基本测量电路电路频率式传感器的基本测量电路频率式传感器的基本测量电路当被测非电量已当被测非电量已经转换为一系列经转换为一系列频率与被测量有频率与被测量有关的脉冲之后，关的脉冲之后，测量频率的方法测量频率的方法基本有两种，可基本有两种，可以是计数方式也以是计数方式也可以是计时方式。可以是计时方式。1/21/202365放松一会！放松一会！1/21/202366