《半导体物理学》PPT课件.ppt
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1、Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1上海交通大学成教院电子科学与技术专业半导体物理学Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1电话:电话:36033332(H)(M)上海交通大学上海交通大学上海交通大学上海交通大学微纳科学技术研究院微纳科学技术研究院微纳科学技术研究院微纳科学技术研究院陆陆陆陆 鸣鸣鸣鸣E-mail:Semiconductor PhysicsSemiconductor Phys
2、icsChapter 1Chapter 1 So pleasure to meet you in classroom today!I hope we will be happy to co-operate on our new subject of Semiconductor Physics in this semester.Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1教学目标教学目标通通过过半半导导体体中中电电子子运运动动规规律律及及其其性性质质的的学学习习,引引导导学学生生了了解解半半导导体体物物理理的的基基本本分
3、分析析方方法法;从从半半导导体体中中载载流流子子的的运运动动规规律律出出发发,掌掌握握半半导导体体的的基基本本导导电电理理论论,为为学学习习半半导导体体器器件件基基础础和和从从事事电电子子科科学学技技术术相相关关的的专专业业工工作作打打好好扎实基础。扎实基础。Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1教学内容及基本要求教学内容及基本要求课程包含半导体晶体,平衡状态课程包含半导体晶体,平衡状态下半导体体材特性,非平衡状态下半导体体材特性,非平衡状态下半导体体材特性,平衡和偏置下半导体体材特性,平衡和偏置状态下状态下 P
4、N 结特性,结特性,PN 结伏结伏 安安特性,半导体表面和特性,半导体表面和 MIS 结构及结构及金属金属-半导体接触和异质结七章半导体接触和异质结七章Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1通过学习要求学生对半导体物理通过学习要求学生对半导体物理的基本分析方法有较深刻了解,的基本分析方法有较深刻了解,能从半导体中载流子运动的规律能从半导体中载流子运动的规律出发,分析处理半导体的基本导出发,分析处理半导体的基本导电理论,特别是电理论,特别是 PN 结理论,同结理论,同时对半导体表面,金属时对半导体表面,金属-半导体
5、半导体接触等相关问题有较好理解。接触等相关问题有较好理解。Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1陆陆 鸣鸣 半导体物理学半导体物理学 教材与参考书教材与参考书刘恩科等刘恩科等半导体物理学半导体物理学(第第6 6版版)国防工业出版社国防工业出版社Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1第一章第一章 导论导论半导体晶体半导体晶体 Chapter 1 Introduction Semiconductor CrystalSemiconduct
6、or PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1 半导体器件,或微电子半导体器件,或微电子器件,本质上是器件,本质上是材料取材料取向向(Materials oriented )的,即器件的特性基本的,即器件的特性基本上由半导体材料的性质上由半导体材料的性质决定。决定。Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1 半导体材料,正如半导体半导体材料,正如半导体 的词义所示,是一种的词义所示,是一种电导电导率率(electrical conductivity electric
7、al conductivity)介介于于导体导体与与绝缘体绝缘体之间的材之间的材料。料。Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1晶体的基本概念晶体的基本概念处处于于凝凝固固状状态态下下的的物物体体,我们称之为固体。我们称之为固体。固体按其结构可分为两类:固体按其结构可分为两类:一一类类是是晶晶体体,另另一一类类是是非非晶体晶体。Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1晶晶体体又又有有单单晶晶体体和和多多晶晶体体之之分分。一一般般所所说说
8、的的晶晶体体,主要是指单晶体。主要是指单晶体。半半导导体体器器件件和和集集成成电电路路采采用用的的半半导导体体材材料料都都是是接接近近完美的单晶材料。完美的单晶材料。Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1完美单晶半导体的研究,完美单晶半导体的研究,当然是材料学家或者结晶当然是材料学家或者结晶学家的职责,不过,一些学家的职责,不过,一些基本概念我们也应该知道。基本概念我们也应该知道。Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1人们在生产和生
9、活实践中人们在生产和生活实践中早就发现自然界中许多固早就发现自然界中许多固体具有高度对称的、规则体具有高度对称的、规则的外形,就把这类外形规的外形,就把这类外形规则的固体称为则的固体称为晶体晶体。Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1人们进人们进步发现晶体的许步发现晶体的许多物理性质都与它们外形多物理性质都与它们外形的规则性有关,如总沿的规则性有关,如总沿解解理面理面劈裂等,联想到晶体劈裂等,联想到晶体外形的规则性可能是它们外形的规则性可能是它们内部结构规则性的反映。内部结构规则性的反映。Semiconducto
10、r PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1另一方面,人们对组成物另一方面,人们对组成物质的基本单元质的基本单元原子和原子和分子逐渐有了较深入的认分子逐渐有了较深入的认识。识。十九世纪中期,布拉伐十九世纪中期,布拉伐(Bravias)提出了晶体结构提出了晶体结构的空间点阵学说。的空间点阵学说。Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1十九世纪末,费多洛夫等十九世纪末,费多洛夫等建立了晶体微观结构对称建立了晶体微观结构对称性的空间群理论。性的空间群理论。归纳起来,晶体
11、的主耍特归纳起来,晶体的主耍特征是内部原子征是内部原子(离子或分离子或分子子)排列具有排列具有规则性规则性和和周周期性期性。Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1整块材料中内部原子都是整块材料中内部原子都是有规则、周期地重复排列有规则、周期地重复排列起来的晶体称为起来的晶体称为单晶体单晶体。多多晶晶体体则则由由大大量量微微小小 (线线度度在在0.01毫毫米米以以下下)的的晶晶粒粒所组成,所组成,Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1
12、多晶体内,每个小晶粒中多晶体内,每个小晶粒中的原子排列是规则和周期的原子排列是规则和周期的,但各晶粒之间,原子的,但各晶粒之间,原子排列的取向并不相同。排列的取向并不相同。金属大都属于多晶体。金属大都属于多晶体。Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1 1 1,适当条件下生长的单适当条件下生长的单晶体,外形呈规则的几何晶体,外形呈规则的几何形状;形状;原子排列的规则性,宏观原子排列的规则性,宏观上决定了单晶体具有以下上决定了单晶体具有以下共性:共性:Semiconductor PhysicsSemiconducto
13、r PhysicsChapter 1Chapter 1 2 2,不同方向上原子排列不同方向上原子排列情况不一样,物理性质也情况不一样,物理性质也不相同,具有不相同,具有各向异性各向异性。锗、硅,砷化镓和其它制锗、硅,砷化镓和其它制作器件的半导体材料都是作器件的半导体材料都是人工拉制的单晶体。人工拉制的单晶体。Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1固体除晶体外,还有非晶固体除晶体外,还有非晶体。非晶体中的原子排列体。非晶体中的原子排列都是无规则的,非晶体有都是无规则的,非晶体有时也称时也称过冷液体过冷液体。玻璃、。
14、玻璃、塑料等都是非晶体。塑料等都是非晶体。Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1固体物理学是研究晶体中固体物理学是研究晶体中原子和电子运动规律及其原子和电子运动规律及其性质的学科。性质的学科。半导体物理学是固体物理半导体物理学是固体物理学的分支,研究半导体晶学的分支,研究半导体晶体中原子和电子的运动规体中原子和电子的运动规律及其性质。律及其性质。Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1晶体性质主要决定于它们晶体性质主要决定于它们的化学
15、组成和内部结构。的化学组成和内部结构。晶体组成的化学成分不同晶体组成的化学成分不同其性质当然不同;晶体化其性质当然不同;晶体化学成分相同,但内部结构学成分相同,但内部结构不同,性质也不相同。不同,性质也不相同。Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1表明内部结构对晶体性质表明内部结构对晶体性质有决定性影响。有决定性影响。下面以氢化钠晶体为例,下面以氢化钠晶体为例,筒单说明描述晶体结构周筒单说明描述晶体结构周期性的方法。期性的方法。Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsC
16、hapter 1Chapter 1 NaCl 晶晶体体由由氯氯和和钠钠两两种种元元素素的的原原子子组组成成。形形成成 NaCl 晶晶体体时时,每每个个 Na+离离子子的的近近邻邻是是 C1-离离子子,C1-离离子子的近邻是的近邻是 Na+离子。离子。Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1Na+Cl-0abcNaCl 晶体的空间晶格晶体的空间晶格Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1依依靠靠带带正正电电离离子子和和带带负负电电离离子子
17、间间的的静静电电吸吸引引形形成成的的结结构构,称称为为离离子子键键,由由离离子子键键构构成成的的晶晶体体称称为为离离子子晶晶体体。NaCl 是是典典型型的的离离子子晶体。晶体。Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1整整个个晶晶体体可可以以看看成成是是由由一一个个基基本本的的结结构构单单元元沿沿三三个个不不同同方方向向,各各自自按按一一定定间间距距,周周期期地地重重复复堆堆积积的的结结果。果。Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1xy
18、zSemiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1不不同同晶晶体体的的基基本本结结构构单单元元是不同的。是不同的。基基本本结结构构单单元元可可以以是是一一个个原原子子,也也可可是是若若干干个个原原子子组成的集团。组成的集团。NaCl 晶晶体体的的基基本本结结构构单单元元,由由一一个个 Na+离离子子和和一一个个 C1-离子组成。离子组成。Semiconductor PhysicsSemiconductor
19、 PhysicsChapter 1Chapter 1为为简简单单描描述述晶晶体体内内部部结结构构的的周周期期性性,可可把把每每个个最最小小的的重重复复单单元元用用一一个个点点来来表表示。示。每每个个基基本本结结构构单单元元的的代代表表点点,必必须须选选在在各各单单元元中中的的同同类类原原子子上上(NaCI 的的 Na 或或 Cl),Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1也也可可以以选选在在在在基基本本结结构构单单元的元的“重心重心”上。上。显显然然,这这些些代代表表点点空空间间分分布布的的周周期期性性与与晶晶体体
20、中中原原子子排列的周期性完全一致。排列的周期性完全一致。代表点的整体称为代表点的整体称为空间晶格空间晶格,或,或 布拉伐格子布拉伐格子(Bravias Lattice)。Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1布布拉拉伐伐格格点点是是晶晶体体基基本本结结构构单单元元的的代代表表点点,每每个个格格点是一个原子集团的代表。点是一个原子集团的代表。格格点点所所代代表表的的原原子子集集团团,彼彼此此之之间间有有相相同同的的结结构构,即即原原子子的的成成分分、排排列列和和取取向均相同。向均相同。Semiconductor P
21、hysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1需需要要特特别别注注意意的的是是,应应把把布布拉拉伐伐格格子子同同晶晶体体结结构构区区分分开开来来。晶晶体体结结构构是是指指晶晶体体中中的的原原子子排排列列,而而布布拉拉伐伐格格子子则则是是指指晶晶体体基基本本结结构构单单元元代代表表点点在在空空间间的的分分布。布。Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1任任何何晶晶体体,只只要要知知道道它它的的布布拉拉伐伐格格子子,那那么么,该该晶晶体体原原子子排排列列的的周周期期性性也也就
22、就充分清楚地反映出来了。充分清楚地反映出来了。因因为为布布拉拉伐伐格格点点的的排排列列情情况况与与实实际际原原子子相相同同,两两者者的周期性完全一致。的周期性完全一致。Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1那那么么一一定定晶晶体体的的基基本本结结构构单元包括多少个原子呢?单元包括多少个原子呢?如如果果把把化化学学成成分分不不同同或或者者所所处处环环境境不不同同的的原原子子看看成成类类型型不不同同的的原原子子,显显然然存存在下面的关系:在下面的关系:Semiconductor PhysicsSemiconducto
23、r PhysicsChapter 1Chapter 1基本结构单元中的原子数基本结构单元中的原子数 =晶体中的原子类型数晶体中的原子类型数NaCl 晶晶体体是是由由两两种种化化学学成成分分不不同同的的原原子子组组成成的的,每每个个基基元元应应包包含含一一个个 Na+离离子子和和一一个个 C1-离离子子。表表明明上面的等式是成立的。上面的等式是成立的。Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1单胞与原胞单胞与原胞 Unit Cell Primitive Cell描述晶体内部结构周期性描述晶体内部结构周期性的另一种方法是
24、把晶体划的另一种方法是把晶体划分成一些周期性的重复区分成一些周期性的重复区域域单胞单胞或或原胞原胞。Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1单单胞胞是是以以格格点点为为顶顶点点,以以三三个个独独立立方方向向上上的的周周期期为为边边长长构构成成的的平平行行六六面面体体,它它是是晶晶体体中中的的一一个个小小体体积积,一个周期性重复的区域。一个周期性重复的区域。Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1单单胞胞是是晶晶体体内内部部结结构构的的缩
25、缩影影。单单胞胞的的重重复复堆堆积积,可可以得到整个晶体。以得到整个晶体。原原胞胞也也是是单单胞胞,只只不不过过是是体积最小的单胞。体积最小的单胞。Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1每每个个原原胞胞只只能能包包含含一一个个基基元元,即即一一个个布布拉拉伐伐格格点点,且且该该布布拉拉伐伐格格点点只只能能在在原原胞胞的的顶顶角角上上,体体心心和和面面心心不能有布拉伐格点。不能有布拉伐格点。Semiconductor PhysicsSemiconductor PhysicsChapter 1Chapter 1由由于
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